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1、,小组成员： 安顺 12011125 陈高 12011127 唐诗浩 12011128 汤倩玉 12011202,目录,概念、分类 原理及生产应用实例 发展趋势,敏感材料是对电、光、声、力、热、磁、气体分布等场 的微小变化而表现出性能明显改变的功能材料（通常称之为第二代材料） 敏感元件是传感器的核心元件。 敏感元件要求：灵敏度高、稳定性和可靠性高，互换性和生产重复性好，在某些情况下还要求有高的响应速率,目录,概念、分类 原理及生产应用实例 发展趋势,光敏电阻：利用光电导效应检测光强度的光敏元件 光致抗蚀剂：抗蚀涂层用的感光性树脂,本征光电导 杂质光电导,+,光致抗蚀剂,光致抗蚀剂，又称光刻胶，
2、由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体。,主要用途： 大规模集成电路中细微图形加工的关键材料之一。,气敏材料的电阻值将随所处环境的气氛而改变，其阻值随材料类型和气体的浓度作有规则的变化,O2气敏元件所用材料： ZrO2、TiO2 H2、CO2、烃类气敏元件 所用材料：SnO2、ZnO,ZrO2气敏陶瓷材料,材料又具有多孔性， 可制成测定氧分压的传感器,ZnO气敏材料,应用：气敏检漏仪,可用于矿井、工厂、家庭的还原性有害气体的检测。,特点： 灵敏度高达百万分之一的数量级，且出现最高灵敏度的温度较低，对气体的检测是可逆的，吸附、解析时间短，对气体的选择性强。,制备方法： 纯Z
3、nSO4H2O用蒸馏水溶解后，分别加入适量的(控制pH=89)，草酸铵，碳酸钠和尿素溶液,充分搅拌，静置，洗涤干净后抽滤，将得到的沉淀在l1O干燥,再分别于500和800热处理即可。,利用材料吸附效应直接吸附大气中的水分子，使材料的电学特性（水电离引起离子传输，使固体材料电阻率降低）等物理特性发生变化进行测量,电解质型 陶瓷型 半导体结型 高分子型,利用陶瓷烧结时形成的多孔结构，吸附和凝聚水分子作为导电通路，改变陶瓷本身的电导率或电容量,陶瓷湿敏材料,特点： 材料来源丰富 相对湿度 范围宽 湿滞回差小 响应速度快,富含开口气孔，易于吸收水蒸气,目录,概念、分类 原理及生产应用实例 发展趋势,现
4、在小量程范围内高精度、快响应和微型化 对现有敏感材料, 近可能地提高其测量上限或测量下限 开发某些具有特殊气压敏感原理的新型敏感材料 开发气体压力敏感材料领域的计算机模拟技术, 对敏感材料的物理性能进行模拟计算,气敏材料,光敏材料-新型的抗蚀剂,水溶性光致抗蚀剂vs传统的光致抗蚀剂,1 环境友好化 2成像过程简单化 3”溶胀现象“,1 涉及高危险的溶液 2 对环境有较大污染 3溶胀现象不明显,电解质类 陶瓷和多孔金属类 高分子类,湿敏材料-高分子型,电解质易被稀释和流出，影响感湿性能,优异的耐热性能 对湿度的响应迅速 再现和互换性较差，不耐污染,材料来源丰富 湿度范围大 响应快 受限于高分子材料自身的性质,谢谢观赏！,
