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1、第11章化学传感器,化学传感器的概念,11.1 气敏传感器 11.2 湿敏传感器,化学传感器：能将各种化学物质特性的变化定性或定量地转化为电信号的传感器 气体的成份与浓度 离子或电解质浓度 空气湿度,气敏传感器的定义： 是能够感知环境中某种气体及其浓度的一种敏感器件 它将气体种类及其浓度有关的信息转换成电信号，根据这些电信号的强弱便可获得与待测气体在环境中存在情况有关的信息。,11.1 气敏传感器,气敏传感器的性能要求,对被测气体具有较高的灵敏度 对被测气体以外的共存气体或物质不敏感 性能稳定，重复性好 动态特性好，对检测信号响应迅速 使用寿命长 制造成本低，使用与维护方便等,专一性,气敏传感
2、器的主要参数及特性,灵敏度：对被测气体(种类)的敏感程度 响应时间 ：对被测气体浓度的响应速度 选择性：指在多种气体共存的条件下，气敏元件区分气体种类的能力 稳定性：当被测气体浓度不变时，若其他条件发生改变，在规定的时间内气敏元件输出特性保持不变的能力 温度特性：气敏元件灵敏度随温度变化而变化的特性 湿度特性：气敏元件灵敏度随环境湿度变化而变化的特性 电源电压特性：指气敏元件灵敏度随电源电压变化而变化的特性 时效性：反映元件气敏特性稳定程度的时间，就是时效性； 互换性：同一型号元件之间气敏特性的一致性，反映了其互换性,气敏传感器的分类,11.1.2 半导体式气敏传感器的工作原理,半导体式气敏传
3、感器概念： 利用半导体气敏元件同气体接触，造成半导体性质发生变化的原理来检测特定气体的成分或者浓度 半导体式气敏传感器可分为： 电阻式 非电阻式,（1）电阻式气敏传感器,基本原理 是利用气体在半导体表面的氧化还原反应导致敏感元件阻值变化而制成的。 当半导体器件被加热到稳定状态，在气体接触半导体表面而被吸附时，被吸附的分子首先在表面物性自由扩散（物理吸附），失去运动能量，其间一部分分子被蒸发掉，残留分子产生热分解而固定在吸附处（化学吸附）。 当半导体的功函数小于吸附分子的亲和力时， 吸附分子将从器件夺得电子而变成负离子吸附， 半导体表面呈现电荷层。氧气、NO2等具有负离子吸附倾向的气体被称为氧化
4、型气体或电子接收性气体。 如果半导体的功函数大于吸附分子的离解能，吸附分子将向器件释放出电子，而形成正离子吸附。具有正离子吸附倾向的气体有H2、CO、碳氢化合物和醇类，它们被称为还原型气体或电子供给性气体。,电阻式气敏传感器的阻值变化规律,当氧化型气体吸附到N型半导体（SnO2, ZnO)上，还原型气体吸附到P型半导体(CrO3)上时，将使半导体载流子减少，而使电阻值增大 当还原型气体吸附到N型半导体上，氧化型气体吸附到P型半导体上时，则载流子增多，使半导体电阻值下降。,N型半导体吸附气体时器件阻值变化图,SnO2的灵敏度特性和温湿度特性,SnO2气敏电阻的基本检测电路,电阻式气敏元件通常工作
5、于高温状态，一般温度范围在200450，有利于去除油污、尘埃，并加速气体与金属氧化物的氧化还原反应，从而提高灵敏度和呼应速度,主要类型,烧结型气敏器件 薄膜型气敏器件 厚膜型气敏器件,烧结型气敏器件,烧结型气敏器件的制作是将一定比例的敏感材料（SnO2、ZnO等）和一些掺杂剂（Pt、Pb等）用水或粘合剂调合，经研磨后使其均匀混合，然后将混合好的膏状物倒入模具，埋入加热丝和测量电极，经传统的制陶方法烧结。最后将加热丝和电极焊在管座上，加上特制外壳就构成器件。 该类器件分为两种结构：直热式和旁热式。,直热式气敏器件,直热式器件管芯体积很小，加热丝直接埋在金属氧化物半导体材料内，兼作一个测量极 缺点
6、： 热容量小，易受环境气流的影响 测量电路与加热电路之间相互干扰，影响其测量参数 加热丝在加热与不加热两种情况下产生的膨胀与冷缩，容易造成器件接触不良,旁热式气敏器件,旁热式气敏器件是把高阻加热丝放置在陶瓷绝缘管内，在管外涂上梳状金电极，再在金电极外涂上气敏半导体材料，就构成了器件 克服了直热式结构的缺点，器件的稳定性得到提高,薄膜型气敏器件,制作采用蒸发或溅射的方法，在处理好的石英基片上形成一层金属氧化物薄膜（如SnO2、ZnO等），再引出电极。实验证明：SnO2和ZnO薄膜的气敏特性较好 优点：灵敏度高、响应迅速、机械强度高、互换性好、产量高、成本低等,厚膜型气敏器件,厚膜型气敏器件是将S
7、nO2和ZnO等材料与315重量的硅凝胶混合制成能印刷的厚膜胶，把厚膜胶用丝网印制到装有铂电极的氧化铝基片上，在400800高温下烧结12小时制成 优点：一致性好，机械强度高，适于批量生产,电阻式气敏传感器的特点,优点： 工艺简单，价格便宜，使用方便； 气体浓度发生变化时响应迅速； 即使是在低浓度下，灵敏度也较高。 缺点： 稳定性差，老化较快，气体识别能力不强，各器件之间的特性差异大（即互换性差）等。,气敏传感器QM-N5为对瓦斯敏感元件。闭合开关S，4V电源通过R1对气敏元件QM-N5预热。 当矿井无瓦斯或瓦斯浓度很低时，气敏元件的A与B间等效电阻很大，经与电位器RP分压，其动触点电压 0.
8、7V，不能触发晶闸管VT。因此，由LC179和R2组成的警笛振荡器无供电，扬声器不发声； 如果瓦斯浓度超过安全标准，气敏元件的A和B间的等效电阻迅速减小，致使 0.7V而触发VT导通，接通警笛电路的电源，警笛电路产生振荡，扬声器发出报警声。 电位器RP设定报警浓度。,矿井瓦斯超限报警器工作原理图,11.1.3 气敏传感器的应用,自动通风扇的原理框图,TGSl09型气敏传感器结构图,自动通风扇,家用有毒气体报警器电路图,家用有毒气体报警器,11.2 湿敏传感器,11.2.1 湿敏传感器的基本概念及分类 11.2.2 常用湿敏传感器的基本原理 11.2.3 湿敏传感器的应用,湿度的定义及其表示方法
9、,所谓湿度，是指大气中水蒸气的含量 它通常有如下几种表示方法： 绝对湿度（AH） 相对湿度（%RH） 露点,绝对湿度（AH）,绝对湿度是指单位体积空气内所含水蒸气的质量，其数学表达式为 绝对湿度给出了水分在空气中的具体含量。,相对湿度（RH）,相对湿度是指待测空气中实际所含的水蒸气分压与相同温度下饱和水蒸气压比值的百分数。其数学表达式为： 相对湿度给出了大气的潮湿程度。实际中常用。,露点（温度）,在一定大气压下，将含有水蒸气的空气冷却，当温度下降到某一特定值时，空气中的水蒸气达到饱和状态，开始从气态变成液态而凝结成露珠，这种现象称为结露，这一特定温度就称为露点温度,湿敏传感器的定义,就是一种能
10、将被测环境湿度转换成电信号的装置 主要由两个部分组成：湿敏元件和转换电路，除此之外还包括一些辅助元件，如辅助电源、温度补偿、输出显示设备等,对理想湿敏传感器的性能要求,使用寿命长，稳定性好 灵敏度高，线性度好，温度系数小 使用范围宽，测量精度高 响应迅速 湿滞回差小，重现性好 能在恶劣环境中使用，抗腐蚀、耐低温和高温等特性好 器件的一致性和互换性好，易于批量生产，成本低 器件感湿特征量应在易测范围内,湿敏传感器的主要参数及特性,感湿特性 感湿特性为湿敏传感器特征量(如：电阻值、电容值等)随湿度变化的特性 湿度量程 湿敏传感器的感湿范围 灵敏度 湿敏传感器的感湿特征量(如：电阻值、电容值等)随环
11、境湿度变化的程度，即湿敏传感器感湿特性曲线的斜率 湿滞特性 同一湿敏传感器吸湿过程（相对湿度增大）和脱湿过程（相对湿度减小）感湿特性曲线不重合的现象就称为湿滞特性。 响应时间 指在一定环境温度下，当被测相对湿度发生跃变时，湿敏传感器的感湿特征量达到稳定变化量的规定比例所需的时间。一般以相应的起始湿度到终止湿度这一变化区间的90%的相对湿度变化所需的时间来进行计算。 感湿温度系数 当被测环境湿度恒定不变时，温度每变化1，引起湿敏传感器感湿特征量的变化量，就称为感湿温度系数。 老化特性 老化特性是指湿敏传感器在一定温度、湿度环境下存放一定时间后，其感湿特性将会发生改变的特性。,湿敏传感器的分类,1
12、1.2.2 常用湿敏传感器的基本原理,电阻式湿敏传感器 电容式湿敏传感器,电阻式湿敏传感器,电阻式湿敏传感器是利用器件电阻值随湿度变化的基本原理来进行工作的，其感湿特征量为电阻值。 根据使用感湿材料的不同，电阻式湿敏传感器可分为： 电解质式 陶瓷式 高分子式,电解质式（氯化锂）电阻湿敏传感器 氯化锂湿敏电阻是利用吸湿性盐类潮解，离子导电率发生变化而制成的测湿元件。它由引线、基片、感湿层与电极组成。 氯化锂通常与聚乙烯醇组成混合体，在氯化锂（LiCl）溶液中，Li和Cl均以正负离子的形式存在，而Li对水分子的吸引力强，离子水合程度高，其溶液中的离子导电能力与浓度成正比。 原理：当溶液置于一定温湿
13、场中，若环境相对湿度高，溶液将吸收水分，使浓度降低，因此，其溶液电阻率增高。反之，环境相对湿度变低时，则溶液浓度升高，其电阻率下降，从而实现对湿度的测量。,湿敏电阻结构示意图,氯化锂湿度电阻特性曲线,结构与特性曲线,氯化锂湿敏元件的优点：滞后小，不受测试环境风速影响， 检测精度高达% 缺点：耐热性差，不能用于露点以下测量， 器件性能重复性不理想，使用寿命短,陶瓷式电阻湿敏传感器 通常，用两种以上的金属氧化物半导体材料混合烧结而成为多孔陶瓷。 这些材料有ZnO-LiO2-V2O5系、Si-Na2O-V2O5系、 TiO2-MgO-Cr2O3系、Fe3O4等 前三种材料的电阻率随湿度增加而下降，故
14、称为负特性湿敏半导体陶瓷，最后一种的电阻率随湿度增加而增大，故称为正特性湿敏半导体陶瓷,1. 负特性湿敏半导体陶瓷的导电机理 由于水分子中的氢原子具有很强的正电场，当水在半导体陶瓷表面吸附时，就有可能从半导瓷表面俘获电子，使半导体陶瓷表面带负电 若该半导体陶瓷是型半导体，则由于水分子吸附使表面电势下降，将吸引更多的空穴到达其表面，其表面层的电阻下降 若该半导体陶瓷为型半导体，则由于水分子的附着使表面电势下降，如果表面电势下降较多，不仅使表面层的电子耗尽， 同时吸引更多的空穴达到表面层，有可能使到达表面层的空穴浓度大于电子浓度，出现所谓表面反型层，这些空穴称为反型载流子。 它们同样可以在表面迁移
15、而表现出电导特性，使N型半导瓷材料的表面电阻下降 不论是型还是型半导体陶瓷，其电阻率都随湿度的增加而下降,几种负特性半导体陶瓷式湿敏传感器感湿特性,2. 正特性湿敏半导瓷的导电机理 正特性湿敏半导瓷的导电机理的解释可以认为这类材料的结构、电子能量状态与负特性材料有所不同。 当水分子附着半导体陶瓷的表面使电势变负时，导致其表面层电子浓度下降，但这还不足以使表面层的空穴浓度增加到出现反型程度，此时仍以电子导电为主。于是，表面电阻将由于电子浓度下降而加大，这类半导瓷材料的表面电阻将随湿度的增加而加大。 通常湿敏半导瓷材料都是多孔的，表面电导占的比例很大，故表面层电阻的升高， 必将引起总电阻值的明显升
16、高。,Fe3O4半导体陶瓷的正湿敏特性,半导体陶瓷材料的导电机理分类,几种典型陶瓷湿敏传感器（自学） （1）MgCr2O4-TiO2湿敏元件 氧化镁复合氧化物-二氧化钛湿敏材料通常制成多孔陶瓷型“湿电”转换器件，它是负特性半导瓷，MgCr2O4为型半导体，它的电阻率低，阻值温度特性好,MgCr2O4-TiO2陶瓷,MgCr2O4-TiO2陶瓷湿度传感器感湿特性,（2）ZnO-Cr2O3陶瓷湿敏元件 ZnO-Cr2O3湿敏元件的结构是将多孔材料的金电极烧结在多孔陶瓷圆片的两表面上，并焊上铂引线，然后将敏感元件装入有网眼过滤的方形塑料盒中用树脂固定,ZnO-Cr2O3陶瓷湿敏传感器结构,陶瓷式电阻湿敏传感器的特点,传感器表面与水蒸气的接触面积大，易于水蒸气的吸收与脱却； 陶瓷烧结体能耐高温，物理、化学性质稳定，适合采用加热去污的方法恢复材料的湿敏特性； 可以通过调整烧结体表面晶粒、晶粒界和细微气孔的构造，改善传感器湿敏特性。,高分子式电阻湿敏传感器,利用高分子电解质吸湿而导致电阻率发生变化的基本原理来进
