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1、有限元方法在导电胶互连可靠性分析中的应用,1,目录,2,聚合物导电颗粒模型,金属导电颗粒模型,ACF 的导电颗粒结构,引言,3,电子封装技术的发展使消费类电子产品越来越呈现高功能和微型化趋势。新一代玻璃覆晶(Chip-on-Glass，COG)等封装技术迅速发展。在 COG 封装过程中，常用的互连材料有各向异性导电胶(ACF)。在玻璃覆晶封装过程中，残余应力分布是重要的可靠性问题，当产品产生严重的残余应力时，容引起对位偏差、界面分层与产品寿命降低等问题。封装过程中环氧树脂发生固化反应，压力、体积、温度、固化度、固化时间等工艺参数对玻璃覆晶封装的残余应力分布有着重要影响。,引言,4,各向异性导电
2、胶的结构示意图,5,6,ACF 的导电颗粒结构,金属导电颗粒的变形示意图,7,聚合物导电颗粒变形示意图,8,基于 ACF 的 COG 封装模型,9,采用有限元分析方法分析 COG 封装的残余应力分布具有效率高，精度高的优点，通过有限元分析软件ANSYS 建立 ACF 型的 COG 封装模型，并分析压力、温度等多工艺参数对应力的影响。,10,COG 封装金属导电颗粒模型的建立,11,12,13,导电颗粒的直径为 3um，施加的压力载荷为 7MPa，分析凸点宽度尺寸对金属导电颗粒残余应力的影响。,14,15,宽度为 12um，压力 7MPa，导电颗粒直径 3um，分析凸点高度尺寸对金属导电颗粒残余
3、应力的影响,16,17,高度为 4um, 宽度为 12um，导电颗粒直径 3um，分析键合压力对金属导电颗粒残余应力的影响,18,19,COG 封装聚合物导电颗粒模型的建立,20,21,22,23,设键合头和玻璃基板温度都是恒定不变的。选择键合压力分别为 3N，3.5N 和 4N，且键合头和玻璃基板温度分别为 180和 160,24,键合头的温度设定为 180，200，220和 240，且玻璃基板温度和键合压力分别为 140，3.5N。,25,键合头温度和键合压力都是固定的，而玻璃基板的温度设定在 100，120，140和 160。,26,小结,通过建立了 COG 封装的两种导电颗粒模型，并采用有限元分析方法对两种模型的残余应力进行了分析，分析了凸点的宽度、高度和键合压力对金属导电颗粒模型残余应力的影响，并分析了 COG 封装过程中不同工艺参数下聚合物导电颗粒模型残余应力的影响，其中包括键合压力、键合温度、基板温度，为优化残余应力分布提供了定性的预测。,27,Thank you！,
