{企业通用培训}去工序培训

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1、企业通用培训去工序培 训 企业通用培训去工序培 训 去 PSG（磷硅玻璃）去 PSG（磷硅玻璃） 1.目的目的：去除硅片表面的 P-Si 玻璃层（PSG）,为加镀减反射膜做准备在形成 PN 结的扩散 过程中，在硅片表面形成一层一定厚度的磷硅玻璃，磷硅玻璃不导电，为了形成良好的欧姆 接触，减少光的反射，在沉积减反射膜之前，将磷硅玻璃腐蚀。 磷硅玻璃使硅片在空气中容易受潮，导致电流的降低和功率的衰减 死层的存在大大增加了发射区电子的复合，会导致少子寿命的降低 磷硅玻璃的存在使得 PECVD 后产生色差 2.磷硅玻璃的来源磷硅玻璃的来源： 4POCl3+ 3O22P2O5+ 6Cl2 2P2O5+

2、5Si5SiO2+ 4P 硅片表面形成一层含有磷元素的 SiO2，成为磷硅玻璃，主要成分 P、P2O5、SiO2。 3.反应原理 原理：原理：利用 HF 和硅片表面的 P-Si 玻璃层反应，并使之络合剥离，以达到清洗的目的。 HF+SiO2H2SiF6+H2O 4.工艺设备 序号工序辅助处理液时间温度 1HF鼓泡HF 酸120RT 2溢流漂洗鼓泡DI120RT 3溢流漂洗鼓泡DIRT 4溢流漂洗鼓泡DIRT 5.异常现象异常现象：清洗好的硅片表面有水珠或水成股流下，硅片表面疏水性不好。 分析原因分析原因：HF 的浓度太低，清洗的时间过短或过长。 解决办法解决办法：及时补充或更换 HF；若 HF

3、 足量该调节 HF 中的清洗时间，时间过长或过 短都会影响硅片表面状态，最终影响电池的性能。 6.注意事项 及时甩干，避免水纹印 注意硅片正反方向不要插错。 7.工艺要求检查硅片表面的情况，是否染色、有水纹印等; 操作规程操作规程 1.1将刻蚀好的硅片插入花篮 1.2 开启去 PSG 机总电源，开启各单元控制器电源（附图 1） ，开启甩干机电源，并让甩干机 无篮运行一次 1.3 开启 1#、2#、3#、4#槽加水开关：1#槽注水至半槽水位关闭进水阀，2#槽注水至溢流口 关闭进水阀，3#、4#槽注水至副槽水位到达溢流口处关闭进水阀。 1.4 戴好护目镜，3M 口罩，防酸手套（附图 2） ，在 1

4、#加入规定量的 HF，然后再开启进水阀， 注水至水位离溢流口 5cm 处关闭进水阀，并手动开启鼓泡，35 分钟后关闭鼓泡开关。 1.5 将去 PSG 机器开启自动运行状态。 1.6 在上料台上先放上一个母篮，按下“上料确认” ，第二个母篮开始既可投入待去 PSG 的 片子进行自动操作。(附图 3) 1.7 待下料蜂鸣响后，即刻将母篮从下料台上抬出放于推车上。 1.8 甩干机操作：首先按“开门”按钮，等到门完全打开后，将花篮有挡板的一面朝上，依 次放入六个槽内，之后双手分别同时按住 2 个“关门”按钮。等到门完全关闭后，再按“启 动”按钮。甩干结束后机器自动发出提示音，此时可以按“开门”按钮，然

5、后取片。外表不 符合要求的重复再洗。 （附图 4） 1.9 做好各项记录，将生产报表和工艺流程卡放入传递窗。 1.10生产结束后，停止自动运行，调到手动状态，将各槽液体排放干净，并做好 6S 工 作。 2.注意事项 6.1 使用劳防用品前，要认真检查，确认完好、可靠、有效，严防误用，或使用不符 合安全要求的护具，禁止违章使用或擅自代用。进入生产岗位，必须按规定穿戴劳动 防护用品，并正确使用劳动防护用品；防毒面具使用前需仔细检查是否有效，并按国 家标准，定期更换滤毒盒； 6.2 注意甩干机操作，若未满 8 篮进行甩干，需对称放置花篮； 6.3 从去磷硅机器中取出的硅片应立即放入甩干机中甩干，不可

6、暴露在空气中； 6.4 HF 都具有强腐蚀性、强刺激性、可致人体灼伤。操作时注意先加水后加酸。操作人员 需佩戴自吸过滤式防毒面具（全面罩） ，穿橡胶耐酸碱服，戴橡胶耐酸碱手套。紧急事 态抢救或撤离时，建议佩戴氧气呼吸器； 6.5 HF 的注意事项及应急处理详见相应的 MSDS。 7.应急处理 7.1 停电、水、气 7.1.1应立即停止向设备输入硅片，待恢复供电、水、气后，按照操作规程操作。 会同工艺员讨论在线生产硅片处理方案。 化学品安全技术说明书化学品安全技术说明书 氢氟酸氢氟酸 第一部分：化学品名称第一部分：化学品名称 【中文名称中文名称】：氢氟酸 【英文名称英文名称】hydrofluor

7、icacid 【分子式分子式】：HF 【分子量分子量】：20.01 第二部分：成分/组成信息第二部分：成分/组成信息 【含量含量】：高 55%;低 40% 【CASNo.CASNo.】：7664-39-3 第三部分：危险性概述第三部分：危险性概述 【健康危害健康危害】 ： 对皮肤有强烈的腐蚀作用。灼伤初期皮肤潮红、干燥。创面苍白， 坏死，继而呈紫黑色或灰黑色。深部灼伤或处理不当时，可形成难以愈合的深溃 疡，损及骨膜和骨质。本品灼伤疼痛剧烈。眼接触高浓度本品可引起角膜穿孔。 接触其蒸气，可发生支气管炎、肺炎等。慢性影响：眼和上呼吸道刺激症状，或 有鼻衄，嗅觉减退。可有牙齿酸蚀症。骨骼线异常与工业

8、性氟病少见。 【燃爆危险燃爆危险】：本品不燃，具强腐蚀性、强刺激性，可致人体灼伤。 第四部分：急救措施第四部分：急救措施 【皮肤接触皮肤接触】：立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗至少 15 分钟。就医。 【眼睛接触眼睛接触】：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少 15 分 钟。就医。 【吸入吸入】 ： 迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。 如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。 【食入食入】：用水漱口，给饮牛奶或蛋清。就医。 第五部分：消防措施第五部分：消防措施 【危险特性危险特性】：本品不燃，但能与大多数金属反应，生成氢气而引起爆炸。遇 发泡剂立即燃

9、烧。腐蚀性极强。 【有害燃烧产物有害燃烧产物】氟化氢。 【灭火方法灭火方法】：灭火剂：雾状水、泡沫。 第六部分：泄露应急处理第六部分：泄露应急处理 【应急处理应急处理】 ： 迅速撤离泄漏污染区人员至安全区，并进行隔离，严格限制出入。 建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器， 穿防酸碱工作服。 不要直接接触泄漏物。 尽可能切断泄漏源。小量泄漏：用砂土、干燥石灰或苏打灰混合。也可以用大量 水冲洗，洗水稀释后放入废水系统。大量泄漏：构筑围堤或挖坑收容。用泵转移 至槽车或专用收集器内，回收或运至废物处理场所处置。 第七部分：操作处置与储存第七部分：操作处置与储存 【操作注意事项操作注意事项】：密闭操作，注

10、意通风。操作尽可能机械化、自动化。操作人 员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴自吸过滤式防毒面 具（全面罩） ，穿橡胶耐酸碱服，戴橡胶耐酸碱手套。防止蒸气泄漏到工作场所 空气中。避免与碱类、活性金属粉末、玻璃制品接触。搬运时要轻装轻卸，防止 包装及容器损坏。配备泄漏应急处理设备。倒空的容器可能残留有害物。 【储存注意事项储存注意事项】：储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不超过 30，相对湿度不超过 85。保持容器密封。应与碱类、活性金属粉末、玻璃制 品分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。 第八部分：接触控制/个体防护第八部分：接触控制/个

11、体防护 【监测方法监测方法】：离子选择性电极法；氟试剂镧盐比色法 【工程控制工程控制】：密闭操作，注意通风。尽可能机械化、自动化。提供安全淋浴和 洗眼设备。 【呼吸系统防护呼吸系统防护】：可能接触其烟雾时，佩戴自吸过滤式防毒面具（全面罩）或 空气呼吸器。紧急事态抢救或撤离时，建议佩戴氧气呼吸器。 【眼睛防护眼睛防护】：呼吸系统防护中已作防护。 【身体防护身体防护】：穿橡胶耐酸碱服。 【手防护手防护】：戴橡胶耐酸碱手套。 【其他防护其他防护】：工作现场禁止吸烟、进食和饮水。工作完毕，淋浴更衣。单独存 放被毒物污染的衣服，洗后备用。保持良好的卫生习惯。 第九部分：理化特性第九部分：理化特性 【主要

12、成分主要成分】：含量:高浓度 55.0；低浓度 40。 【外观与性状外观与性状】：无色透明有刺激性臭味的液体。商品为 40%的水溶液。 【沸点()沸点()】：120(35.3%) 【熔点()熔点()】：-83.1(纯) 【相对密度（水=1）相对密度（水=1） 】：1.26(75%) 【相对蒸气密度（空气=1）相对蒸气密度（空气=1） 】：1.27 【溶解性溶解性】：与水混溶。 【主要用途主要用途】 ： 用作分析试剂、高纯氟化物的制备、玻璃蚀刻及电镀表面处理等。 其他一些特殊理化性质 第十部分：稳定性和反应性第十部分：稳定性和反应性 【禁配物禁配物】：强碱、活性金属粉末、玻璃制品。 【应避免接触

13、的条件应避免接触的条件】： 【聚合危害聚合危害】： 【分解产物分解产物】： 第十一部分：毒理学资料第十一部分：毒理学资料 第十二部分：生态学资料第十二部分：生态学资料 第十三部分：废弃处置第十三部分：废弃处置 【废弃处置方法废弃处置方法】：用过量石灰水中和，析出的沉淀填埋处理或回收利用，上清 液稀释后排入废水系统。 第十四部分：运输信息第十四部分：运输信息 【包装方法包装方法】：装入铅桶或特殊塑料容器内，再装入木箱中。空隙用不燃材料填 充妥实；装入塑料瓶，特种电木、橡胶或铅容器，严封后再装入坚固木箱中。木 箱内用不燃材料衬垫，每箱净重不超过 20 公斤，35 公斤包装每箱限装 4 瓶。 第十五部分：法规信息第十五部分：法规信息 【法规信息法规信息】：化学危险物品安全管理条例(1987 年 2 月 17 日国务院发布)，化 学危险物品安全管理条例实施细则(化劳发1992677 号)，工作场所安全使用化 学品规定(1996劳部发 423 号)等法规，针对化学危险品的安全使用、生产、储 存、 运输、 装卸等方面均作了相应规定 ； 常用危险化学品的分类及标志(GB13690-92) 将该物质划为第 8.1 类酸性腐蚀品。 感谢阅读感谢阅读 多年企业管理咨询经验，专注为企业和个人提供精品 管理方案，企业诊断方案，制度参考模板等 欢迎您下载，均可自由编辑