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1、机械轴承式分子泵,磁悬浮轴承式分子泵,分子泵的发展历史,在分子流状态下工作，使用机械动能，将气体分子定向压缩、流动的真空泵。,分子泵的定义,分子泵的分类,一.从转子结构特征上区分,分子泵的分类,分子泵的基本特征,1.运行时泵内涡轮回转的高速性 通常其泵内转子工作时的回转速度为10000 60000rpm；最高可达到90000rpm.其泵的叶片 顶端线速度通常在200m/s以上。所以运行时如 果有异物进入或在进气、排气方向有超出其许容 范围的突变气压，都将造成泵本体的损坏。有些 甚至是不可逆转的。,2.高真空性能 通常其泵的真空压可以到达103 109 pa,3.组合性 在真空系统中，分子泵通常
2、必须同辅助泵（干泵、 油旋转真空泵）组合后才能运行。（如下图）,分子泵的内部结构,分子泵的系统组成（泵本体）,分子泵的系统组成（在真空系中）,V3,V2,V1,分子泵的工作原理（一）,一。按气体分子理论,1.在正常的大气压下。每cm3空间气体分子为 2.5-E19，此时其压力为760Torr=101325Pa 2.大气环境下由于空间的气体分子密集，各气体分子间的平均自由程MFP仅为0.07微米，因而气体为粘滞流状态，气体分子几乎是在原地振动。,分子泵的工作原理（一）,1.随着真空度的提高，单位体积内气体分子的数量逐渐减少，MFP变大。当真空度达到1X10 3Torr之后，其MFP接近5cm.气
3、体分子呈现出“分子流状态”,一。按气体分子理论,分子泵的工作原理（一）,分子泵的排气原理（一）,a,b,a,分子泵的排气原理（一）,在泵内堆积的生成物。,生成舞易堆积区,分子泵的轴控制原理,五轴控制原理图,分子泵的轴控制原理,增幅回路,补偿回路,检出回路,高频发生器,径向位置检知Sensor,轴向位置检知Sensor,X2-Y2检测平面,X1-Y1检测平面,Z检测平面,控 制 器,分子泵的N2 PURGE.,分子泵N2 purge回路 与主pumping回路,TMP PUMP 启动顺序,机械轴分子泵 泵内结构图,马 达,陶瓷轴承,推进叶片,机械轴承分子泵的 Grease up,底部,上部,泵的轴承为什么会失效?,润滑不足- 太多- 太少- 污染 载荷过大:- 不对中 动平衡不好 - 轴弯曲 - 等. 安装和操作的不当 老化,
