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1、第一部分 压电式传感器,第一节 压电效应及压电材料 第二节 压电传感器的等效电路及测量电路 第三节 压电传感器的应用,第二部分 压磁式传感器,第一节 压磁效应与压磁元件 第二节 压磁传感器工作原理及其结构 第三节 压磁传感器的应用,压电式传感器的原理： 是以某些电介质的压电效应为基础，在外力作用下，在电介质的表面上产生电荷，从而实现非电量测量。,特点：压电式传感器具有响应频带宽，灵敏度高、信噪比大、结构简单、工作可靠、重量轻等优点。,应用领域：压电传感元件是力敏感元件，它可以测量最终能变换为力的非电物理量，例如动态力、动态压力、振动加速度，在工程力学、生物医学、石油勘探、声波测井、电声学等领域
2、得到了广泛的应用。,第一节 压电效应及压电材料,一、压电效应,二、石英晶体（SiO2）的压电效应,三、陶瓷的压电效应,四、压电材料,一、压电效应,顺（正）压电效应： 某些电介质，当沿着一定方向对其施力而使它变形时，内部就产生极化现象，同时在它的一定表面上便产生符号相反的电荷；当外力去掉后，又重新恢复到不带电状态；当作用力方向改变时，电荷极性也随之改变。这种机械能转化为电能的现象称为正压电效应或顺压电效应。,返回,逆压电效应（电致伸缩效应）,当在电介质的极化方向施加电场，这些电介质就在一定方向上产生机械变形或机械压力，当外加电场撤去时，这些变形或应力也随之消失，这种将电能转变为机械能的现象。,正
3、压电效应,电能,机械能,逆压电效应,压电元件,返回,二、石英晶体（SiO2）的压电效应,纵向轴ZZ称为光轴,经过正六面体棱线，并垂直于光轴的XX轴称为电轴,与XX轴和ZZ轴同时垂直的YY轴（垂直于正六面体的棱面）称为机械轴,(a) 晶体外形； (b) 切割方向； (c) 晶片,石英坐标,1、石英晶体产生压电效应原理,“”代表Si4+， “”代表2O2-。,F =0时 正、负离子在正六边形顶角 P1、P2、P3互成120夹角 正负电荷中心重合 电偶极矩的矢量和等于零 P1P2P30 此时晶体表面不产生电荷，即呈中性。,受X方向压力时 正、负电荷重心不再重合 P1减小，P2、P3增大 (P1+P2
4、+P3)X0,（P1+P2+P3）Y=0 （P1+P2+P3）Z=0,这种沿X轴施加力，而在垂直于X轴晶面上产生电荷的现象即为纵向压电效应。,受Y轴压力 与X方向拉力相同 (P1+P2+P3)X0 X轴的正向: 负电荷 Y、Z轴方向无电荷,这种沿Y轴施加力，而在垂直于X轴晶面上产生电荷的现象即为横向压电效应。,受Z轴力: 无论是压力还是拉力作用都会使晶体在x方向和y方向产生完全相同的形变，所以，正、负电荷重心保持重合，电偶极矩矢量和等于零。这就表明，在沿z(即光轴)方向的力Fz 作用下，晶体不产生压电效应。（切向压电效应）,石英压电效应,返回,2、纵向压电效应,d11为x方向受力的压电系数 d
5、11=2.3110-12C/N FX为作用力,返回,3、横向压电效应,d12y轴方向受力的压电系数；石英晶体对称性， 有d12= -d11； a-长度；b-厚度。,返回, 当晶片受到x方向的压力作用时，qx只与作用力Fx成正比，而与晶片的几何尺寸无关； 沿机械轴y方向向晶片施加压力时，产生的电荷是与几何尺寸有关的； 石英晶体不是在任何方向都存在压电效应； 晶体在哪个方向上有正压电效应，则在此方向上一定存在逆压电效应； 无论是正或逆压电效应，其作用力（或应变）与电荷（或电场强度）之间皆呈线性关系。,结论：,返回,三、陶瓷的压电效应,无外电场作用时 总极化强度为零,施加外电场时 电畴自发极化方向与
6、外电场一致,外电场去掉后 具剩余极化强度,人造多晶体：经极化处理后的人工多晶铁电体,电畴,剩余极 化强度, , , ,自由电荷,束缚电荷,无外力作用时电压表不能测出陶瓷片内的极化程度,束缚电荷会吸附自由电荷 陶瓷片对外不表现极性,这种由机械效应转变为电效应，或者由机械能转变为电能的现象，就是正压电效应。,d33 :压电陶瓷压电系数 F：作用力,加外力, , , ,极化方向,F,电畴偏转，极化强度变小，自由电荷释放, , , ,返回,逆压电效应：由于电效应而转变为机械效应或者由电能转变为机械能的现象。,返回,（a）纵向变形,d33:压电陶瓷的压电系数； F z :作用力。,转换性能。要求具有较大
7、的压电常数。 机械性能。机械强度高、刚度大。具有较高的固 有振动频率。 电性能。高电阻率和大介电常数。 为了减少电荷的泄漏以及外部分布电容的影响。 环境适应性。温度和湿度稳定性要好，要求具有 较高的居里点，获得较宽的工作温度范围。 时间稳定性。要求压电性能不随时间褪化。,压电材料具备主要特性：,四、压电材料,指压电材料开始丧失压电特性的温度。,返回,1、石英晶体 石英（SiO2）是一种具有良好压电特性的压电晶体。其介电常数和压电系数的温度稳定性相当好。 在20200范围内，温度每升高1，压电系数仅减少0.016。但是当到573时，它完全失去了压电特性，这就是它的居里点。,优点： 性能非常稳定，
8、机械强度高，绝缘性能也相当好。 缺点： 价格昂贵，且压电系数比压电陶瓷低得多。用于标准仪器或要求较高的传感器中。,切割： 各向异性晶体，按不同方向切割，物理性质（如弹性、压电效应、温度特性等）相差很大。根据不同使用要求正确地选择石英片的切型。,组成： 天然和人工培养两种类型。因其物理和化学性质几乎没有区别，广泛应用成本较低的人造石英晶体。,天然形成的石英晶体外形,人工合成水晶,双面镀银并封装,压电晶片,石英晶体薄片,石英晶体切片及封装,（2）水溶性压电晶体,属于单斜晶系的有酒石酸钾钠(NaKC4H4O64H2O)，硫酸锂(Li2SO4H2O)；属于正方晶系的有磷酸二氢钾(KH2PO4，简称KD
9、P)等。压电灵敏度和介电常数较高但易受潮，机械强度较低，电阻率低。只限于在室温和湿度低的环境下使用。,（3）铌酸锂晶体（LiNbO2）,通过人工提拉法制成。与石英晶体相似，也是一种单晶体，无色或浅黄色，透明。因为是单晶体，所以时间稳定性比多晶体的压电陶瓷好得多。是一种压电性能良好的电-声换能材料。熔点1250，居里点1210 。在耐高温的传感器上应用广泛。比石英晶体脆弱，而且热冲击性很差，所以在加工装配和使用中必须小心谨慎，避免用力过猛和急冷急热。, 钛酸钡压电陶瓷 钛酸钡（BaTiO3）是由碳酸钡（BaCO3）和二氧化钛（TiO2）按1：1分子比例在高温下合成的压电陶瓷。 它具有很高的介电常
10、数和较大的压电系数约为石英晶体的50倍。不足之处是居里温度低（120），温度稳定性和机械强度不如石英晶体。,2、压电陶瓷, 锆钛酸铅系压电陶瓷（PZT） 锆钛酸铅是由PbTiO3和PbZrO3组成的固溶体Pb（Zr、Ti）O3。它与钛酸钡相比，压电系数更大，居里温度在300以上，各项机电参数受温度影响小，时间稳定性好。此外，在锆钛酸中添加一种或两种其它微量元素（如铌Nb、锑Sb、锡Sn、锰Mn、钨W等）还可以获得不同性能的PZT材料。因此锆钛酸铅系压电陶瓷是目前压电式传感器中应用最广泛的压电材料。,(3)铌酸盐系压电陶瓷 这一系中是以铁电体铌酸钾(KNbO3)和铌酸铅 (PbNb2O6)为基础
11、的。铌酸钾和钛酸钡十分相似，但所有的转变都在较高温度下发生，在冷却时又发生同样的对称程序：立方、四方、斜方和菱形。居里点为 435。铌酸铅的特点是能经受接近居里点(570)的高温而不会去极化，有大的 d33d31比值和非常低的机械品质因数QM。铌酸钾特别适用于作1040MHz的高频换能器。近年来铌酸盐系压电陶瓷在水声传感器方面受到重视。由于它的性能比稳定，适用于深海水听器。,(4)铌镁酸铅压电陶瓷（PMN）,它由铌镁酸铅 、锆酸铅（PbZrO3）和钛酸铅（PbTiO3）三种化合物按不同比例配出不同性能的压电陶瓷。具有极高的压电系数（d33=80010-1290010-12C/N）和较高的居里点
12、（260）， 而且能承受较高的压力（7107Pa）。 因此可作为工作在高温下的测力传感器的压电元件。,打火用压电陶瓷,压电陶瓷蜂鸣器,压电陶瓷外形,超声波美容仪器用压电陶瓷晶片,医用B超换能器用晶片,3.压电半导体材料,如硫化锌ZnS、硫化镉CdS 、氧化锌ZnO 、碲化镉CdTe、碲化锌ZnTe、砷化镓CaAs，既具有压电特性，又具有半导体特性，有利于将元件和线路集成于一体，研制新型集成压电传感器测试系统。这种力敏器件具有灵敏度高，响应时间短等优点。此外用ZnO作为表面声波振荡器的压电材料，可测取力和温度等参数。,3、高分子压电材料,某些合成高分子聚合物薄膜经延展拉伸和电场极化后，具有一定的
13、压电性能，压电薄膜有聚二氟乙烯PVF2、聚氟乙烯PVF、聚氯乙烯PVC、聚甲基-L谷氨酸脂PMG等。高分子压电材料是一种柔软的压电材料，不易破碎，可以大量生产和制成较大的面积。,第二节 压电传感器的等效电路及测量电路,一、压电晶片的连接方式,二、压电传感器的等效电路,三、压电传感器的测量电路,一、压电晶片的连接方式,1、并联连接,+,-,并联接法输出电荷大，本身电容大， 时间常数大，适宜用在测量慢变信号并且以电荷作为输出量的场合。,2、串联连接,-,+,串联接法输出电压大，本身电容小，适宜用于以电压作输出信号，并且测量电路输入阻抗很高、频率较高的场合。,返回,受力和变形,(a) 厚度变形,(b
14、) 长度变形,(c) 体积变形,(d)面切变形,(e) 剪切变形,效应类型,二、压电传感器的等效电路,静电发生器,电容器,压电传感器可等效为电压源Ua和一个电容器Ce的串联电路，如图(a)；也可等效为一个电荷源q和一个电容器Ce的并联电路，如图(b)。,q UCe,Ce,（b）电荷等效电路,Cc ：连接电缆等效电容 Ri ：放大器输入电阻 Ci ：放大器输入电容 Rd ：传感器泄漏电阻,实际等效电路,三、压电传感器的测量电路,压电式传感器的前置放大器有两个作用： 把压电式传感器的高输出阻抗变换成低阻 抗输出； 放大压电式传感器输出的微弱信号。,前置放大器形式： 电压放大器，用电阻反馈，其输出电
15、压与输入电压（传感器 的输出电压）成正比； 电荷放大器，用电容板反馈，其输出电压与输入电荷成正比。,1、电压放大器,若压电元件材料受正弦力作用，则产生的电压值为,Fm作用力的幅值,电压幅值,可得放大器输入端的电压Ui，其复数形式为,ui的幅值Uim为,输入电压与作用力之间的相位差为,其中,在理想情况下，传感器的Ra电阻值与前置放大器输入电阻Ri都为无限大，即(Ca+Cc+Ci)R1，那么由式（6-8）可知，理想情况下输入电压幅值Uim为,上式表明前置放大器输入电压Uim与频率无关，一般在/03时，就可以认为Uim与无关，0表示测量电路时间常数之倒数，即,电压灵敏度,讨论：,灵敏度与被测信号频率
16、无关,即输入电压与作用力的频率无关，这说明压电式传感器的高频响应相当好，所以用于高频较便利的测量。,压电传感器不能测静态量。, 为了得到好的低频响应特性，,灵敏度与连接电缆有关，更换电缆需要重新标定,其中,返回,（2）/03,(1+A)CfCe+Cc+Ci时,2、电荷放大器,返回,第三节 压电传感器的应用,一、压电式压力传感器,二、压电式力传感器,三、压电加速度传感器,四、交通监测,五、压电式玻璃破碎报警器,六、压电式声传感器,七、压电式流量计,八、压电式传感器在测漏中的应用,1 压电式压力传感器,1、压电式压力传感器,2、单向测力传感器,传感器上盖为传力元件，它的外缘壁厚为0.10.5mm，外力作用使它产生弹性变形，将力传递到石英晶片上。石英晶片采用xy切型， 利用其纵向压电效应， 通过d11实现力电转换。该传感器的测力范围为050N，最小分辨
