《(2020年){生产管理知识}生产单晶硅制备及其应用工艺技术》由会员分享，可在线阅读，更多相关《(2020年){生产管理知识}生产单晶硅制备及其应用工艺技术（17页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、生产管理知识生产单晶硅制备及其应用工艺技术1.1单晶硅晶片及单晶硅的制造方法81.6绝缘体上的单晶硅(SOI)材料的制造方法81.0分离单晶硅埚底料中石英的工艺37.3单晶硅衬底上可动微机械结构单片集成的制作方法01.0直径300mm及300mm以上的单晶硅晶片及其制造方法92.6抑制长的大直径单晶硅生长条纹的直拉生长装置86掺金、掺铂单晶硅互换热敏电阻及其制作方法87.9单晶硅的制造方法和设备89.4一种单晶硅压力传感器制造方法及其结构791.9单晶硅生产装置475.9制造单晶硅的设备921.4单晶硅直径测定法及其设备922.2单晶硅直径控制法及其设备924.9单晶硅生产设备923.0单晶硅
2、生产设备532.4单晶硅生产设备343.7制造单晶硅的装置376.7单晶硅上大面积(100)取向的金刚石膜的生长方法527.1单晶硅锭及其制造方法523.1提拉单晶硅的装置661.9直拉生长单晶硅期间实时监测和控制氧的一氧化硅探针626.6双电极单晶硅电容加速度传感器及其制造方法416.4通过控制拉速分布制造单晶硅锭和晶片的方法及其产品827.2单晶硅纳米晶立方氮化硼薄膜类PN结及其制作方法737.4低浓度钙杂质的石墨支撑容器及其在制造单晶硅中的应用350.2单晶硅片抗机械力的提高859.7生长富空位单晶硅的热屏蔽组件和方法993.3用于单晶硅生长的非Dash缩颈法049.9形成单晶硅层的方法
3、和制造半导体器件的方法088.X热退火后的低缺陷密度单晶硅709.9从低缺陷密度的单晶硅上制备硅绝缘体结构737.X标定单晶硅晶圆晶向的方法335.7制备具有均匀热过程的单晶硅的方法221.5单晶硅片衬底的磁控溅射铁膜合成二硫化铁的制备方法581.6单晶硅高效复合切割方法及其切割系统776.9新型铝背发射结N型单晶硅太阳电池002.3过渡金属多重掺杂负温度系数单晶硅热敏电阻125.6单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池126.0单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池123.7单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池124.1单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池175.
4、3超声波清洗单晶硅片方法及其装置631.3使用金属污染及热处理识别单晶硅中的晶体缺陷区的方法854.5可反射出色域的电极结构以及单晶硅面板与显示装置178.6单晶硅的生长方法889.6单晶硅薄膜及其组件的制备方法803.1单晶硅棒制造方法和单晶硅棒结构644.5提高单晶硅太阳能电池减反射膜质量的方法274.4改善半导体单晶硅研磨硅片平行度的方法及其装置591非线性磁场中单晶硅拉制方法及其装置856制备单晶硅片表面完整层的新途径654.2一种直拉法生长单晶硅用硅籽晶夹持器391.0区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构611.6单晶硅太阳电池微电机风扇凉帽137.2单晶硅片各向异性腐蚀夹具595.7用于制备
5、薄膜的单晶硅辐射式加热器008.1单晶硅炉传动轴用磁性液体密封装置737.2单晶硅衬底双面抛光片900.1单晶硅炉传动轴用磁性流体密封装置431.0低氧碳单晶硅复投料自卸机构053.X一种单晶硅太阳能电池绒面腐蚀槽576.8超声波清洗单晶硅片装置027.4一种锌掺杂的负温度系数单晶硅热敏电阻749.4一种锰掺杂的负温度系数单晶硅热敏电阻670.4具有均匀空位缺陷的单晶硅锭和晶片及其制备方法和设备958.0单晶硅的制造方法及单晶硅以及硅晶片538.1单晶硅晶片及外延片以及单晶硅的制造方法460.7单晶硅片表面制备巯基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法461.1单晶硅片表面制备磺酸基硅烷-稀土纳米复合薄
6、膜的方法379.X提拉单晶硅用石英玻璃坩埚和制造该坩埚的方法693.8涂覆有金属电镀层的单晶硅基片和垂直磁记录介质736.7直拉单晶硅用砷掺杂剂及其制造方法以及使用该掺杂剂的单晶硅的制造方法798.X单晶硅及SOI基板、半导体装置及其制造方法、显示装置132.1平板单晶硅表面的改性方法381.2用于制备低铁污染单晶硅的装置和方法895.3用于控制空位为主的单晶硅热过程的方法185.4一种直拉法生长单晶硅用硅籽晶夹持器207.7用于制备具有改善的栅氧化层完整性的单晶硅的方法236.3单晶硅太阳能电池的表面结构及其制作方法043.0硅片和生产单晶硅的方法382.6单晶硅膜的制造方法926.4单晶硅
7、基片表面自组装稀土纳米膜的制备方法860.8通过控制拉速分布制造单晶硅锭和晶片的方法及其产品207.9单晶硅片表面自组装聚电解质-稀土纳米薄膜的制备方法057.4一种生产硅铁、硅钙和单晶硅的原料的加工方法987.1单晶硅液晶显示面板的驱动系统与方法753.3单一轴向排布的单晶硅纳米线阵列制备方法603.4单晶硅微机械加工的电容式麦克风及其制造方法335.5用于纳米光子技术的单晶硅纳米膜的制备方法350.8单晶硅片表面制备巯基硅烷-稀土自润滑复合薄膜的方法349.5单晶硅片表面制备磺酸基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法526.9纳米晶硅/单晶硅异质结太阳能电池及其制备方法637.2利用坩埚旋转以控制
8、温度梯度的制备单晶硅的方法609.5一种单晶硅抛光片热处理工艺981.9单晶硅片表面氨基硅烷-稀土纳米薄膜的制备方法980.4单晶硅片表面磷酸基硅烷-稀土纳米薄膜的制备方法855.7单晶硅片表面自洁性二氧化钛纳米薄膜的制备方法099.9对称结构双级解耦单晶硅微机械陀螺仪245.8p型单晶硅片的表面处理方法.2n型单晶硅片的表面处理方法.5单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭隔热屏的制备方法.X单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭加热器的制备方法.1掺杂单晶硅硅化电熔丝及其形成方法.4单晶硅拉制炉用热场炭/炭坩埚的制备方法.9单晶硅拉制炉用热场炭/炭导流筒的制备方法.1单晶硅锭和硅片、及其生长装置和
9、方法.0单片单晶硅微机械加工的电容式压力传感器.2反射式单晶硅液晶面板以及使用此液晶面板的投影装置.1一种在单晶硅基底表面直接制备Cr-Si硅化物电阻薄膜的方法.6单晶硅切方机构.2制作单晶硅太阳电池绒面的方法.1单晶硅太阳电池绒面的制备方法.4单晶硅制备中稀土镧系基合金吸气剂提纯氩气与氩气回收工艺.5生产单晶硅的方法.7基于霍夫变换的直拉单晶硅棒直径的测量方法.1直拉法单晶硅生长过程中的熔体液面位置检测方法.7在单晶硅片表面制备碳纳米管复合薄膜的方法.6单晶硅片表面磷酸基硅烷-碳纳米管复合薄膜的制备方法.3单晶硅拉制炉用炭/炭保温罩的制备方法.7反射式单晶硅液晶面板.2用于单晶硅连续生长的系
10、统.3单晶硅太阳能电池化学蚀刻、清洗、干燥的方法和它的一体化处理机.1一种单晶硅太阳能电池绒面腐蚀槽.X形成纳米单晶硅的方法和非挥发性半导体存储器制造方法.X单晶硅切割废液的处理回收方法.5单晶硅的培育工艺中溶液的液面位置监视装置.0单晶硅横向微型MEMS皮拉尼计及其制备方法.0一种低弯曲薄片单晶硅太阳电池烧结工艺.4单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池.9单晶硅或炭基单晶硅电极电解氧化处理有机化工污水方法.4单晶硅片水基清洗剂.2一种双稳态单晶硅梁射频微机电系统开关.6一种静电推拉式单晶硅梁射频微机电系统开关.1单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池.6单晶硅炉传动装置.5单晶
11、硅太阳能电池表面处理用的制绒剂及其制造方法.2混合图形化单晶硅的绝缘层上锗结构、方法及应用.8单晶硅制备炉石英埚增容加料装置.0磁场下制备单晶硅太阳能电池绒面的方法.5单晶硅晶片的制造方法.4单晶硅晶片的制造方法.2单晶硅的提拉方法.5超净工作台及单晶硅用原料的制造方法.7单晶硅正温度系数片式热敏电阻器及其制备方法.6金和镍掺杂单晶硅片式负温度系数热敏电阻及其制备方法.8一种掺镓单晶硅太阳电池及其制造方法.2一种基于单晶硅片检测红外光谱仪稳定性的方法.1一种单晶硅片制绒的方法.3一种单晶硅加料装置.0一种在单晶硅片表面制备ZrO2复合薄膜的方法.7一种制备单晶硅绒面的碱腐蚀溶液及方法.2单晶硅
12、太阳电池的制绒方法.7单晶硅太阳电池绒面的制备方法.2一种单晶硅棒的生产工艺及设备.7基于单晶硅PN结的非制冷红外探测器阵列及其制备方法.2透光单晶硅太阳电池的制造方法.2具有单晶硅电极的电容性微机电传感器.3单晶硅片的COP产生原因的判定方法.4单晶硅片的COP评价方法.4太阳能级6寸单晶硅片切割工艺方法.7单晶硅薄膜太阳电池.7单晶硅的制造系统及使用该系统的单晶硅的制造方法.1单晶硅衬底多结太阳电池.0一种太阳能级单晶硅棒的抛光处理方法.9一种制造掺镓单晶硅太阳能电池的磷扩散方法.3一种机床刀具用单晶硅片表面涂层Si3N4复合薄膜的方法.5一种在单晶硅太阳能电池表面上蚀刻绒面的方法.4利用
13、含杂质硅材料制备高纯度单晶硅棒的方法及其装置.9一种在单晶硅片表面制备Si3N4复合薄膜的方法.3具有逆碳分布的低缺陷碳替代单晶硅层.X非易失性电荷俘获存储器件的单晶硅制造工艺.8一种基于摩擦诱导构造单晶硅表面纳米凸起结构的加工方法.3单晶硅基片表面自组装磺酸基硅烷-二氧化钛复合膜的制备方法.7单晶硅掺杂剂的生产工艺.4单晶硅半导体晶片及其制造方法.6一种用于单晶硅绒面制备的腐蚀液及单晶硅绒面的制备方法.7单晶硅薄膜组件的制备方法.6一种激光精密加工单晶硅的方法.7一种单晶硅片的清洗方法.3太阳能级6英吋无位错单晶硅的制备方法.5掺氮的定向凝固铸造单晶硅及其制备方法.2掺锗的定向凝固铸造单晶硅
14、及其制备方法.8在氮气下铸造氮浓度可控的掺氮单晶硅的方法.7在氮气下融化多晶硅制备掺氮铸造单晶硅的方法.X一种绒面单晶硅太阳能电池及其制备方法和制备系统.4一种降低绒面单晶硅片表面反射率的方法.6太阳能单晶硅切片工艺.6单晶硅液晶元件及其与线路板的组装结构.7一种用于单晶硅绒面制备的碳酸盐和苛性碱的混合溶液.4二氧化硅玻璃坩埚和用二氧化硅玻璃坩埚提拉单晶硅的方法.1单晶硅芯片的制造方法.2一种制备单晶硅绒面的腐蚀液及方法.7一种制备单晶硅绒面的方法.0制备单晶硅绒面的方法.3一种低表面反射率的单晶硅太阳电池绒面制作工艺.8一种改进型单晶硅棒切断机.2一种改进的用于单晶硅棒的夹持机构.0一种单晶
15、硅棒切方工艺.8在单晶硅基片表面制备Co3O4复合薄膜的方法及用途.2用于单晶硅片化学机械抛光的抛光液.5单晶硅半导体晶片及其制造方法.5单晶硅片表面磷酸基硅烷-CdSe复合薄膜的制备方法.5一种用于单晶硅绒面制备的正磷酸盐和苛性碱的混合溶液.0重掺杂的单晶硅衬底中的氧沉淀的抑制.9非晶硅/单晶硅异质结太阳能电池铝背电场制备方法.5嵌入式单晶硅腔体的六边形硅膜压阻式压力传感器及方法.8形成交替的P型和N型单晶硅结构的方法.1提升SONOS数据保持能力的单晶硅无损伤隧穿窗口集成方法.0一种大直径低氧碳太阳能单晶硅片的制备方法.2光伏用单晶硅的掺杂方法.7一种单晶硅太阳能电池的绒面制作方法.X单晶硅棒线开方夹具.X一种用于单晶硅绒面制备的添加剂.2CZ单晶硅生产中吊肩后掺硼磷母合金掺杂方法.6单晶硅太阳电
