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1、第十三章 电子探针显微分析,电子探针的原理 电子探针仪的结构 波谱仪(WDS) 能谱仪(EDS) 电子探针仪分析方法,2020/8/17,1,HNU-ZLP,电子探针的原理,用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品中各元素的特征（标识） X射线： 定性分析分析特征X射线的波长（或特征能量），得到元素的种类； 定量分析分析特征X射线的强度，得到样品中相应元素的含量,2020/8/17,2,HNU-ZLP,电子探针仪的结构,电子探针仪主要由电子光学系统、X射线谱仪、样品室、扫描显示系统、计算机与自动控制系统、真空系统及一些必要的附件组成。 结构示意图。 电子探针仪常与扫描电镜组合在一起。 电子探针的
2、信号检测系统是X射线谱仪： 波长分散谱仪（WDS），简称波谱仪，用来测定特征X射线波长；,2020/8/17,3,HNU-ZLP,能量分散谱仪（EDS），简称能谱仪，用来测定X射线特征能量。,2020/8/17,4,HNU-ZLP,波谱仪（WDS）,组成：波谱仪主要由分光晶体和X射线检测系统组成。 原理：根据布拉格定律，从试样中发出的特征X射线，经过一定晶面间距的晶体分光，波长不同的特征X射线将有不同的衍射角。通过连续地改变，就可以在与X射线入射方向呈2 的位置上测到不同波长的特征X射线信号。根据莫塞莱定律 可确定被测物质所含有的元素 。 为了提高接收X射线强度，分光晶体通常使用弯曲晶体。,2
3、020/8/17,5,HNU-ZLP,弯曲分光晶体有两种聚焦方式： 约翰型聚焦法：晶体曲率半径是聚焦圆半径的两倍； 约翰逊型聚焦法：晶体曲率半径和聚焦圆半径相等,2020/8/17,6,HNU-ZLP,波谱谱线图,2020/8/17,7,HNU-ZLP,能谱仪（EDS）,能谱仪的关键部件是锂漂移硅半导体探测器，习惯上记作Si(Li)探测器。 工作原理：X射线光子进入Si晶体内，将产生电子空穴对，在100K左右温度时，每产生一个电子空穴对消耗的平均能量为3.8eV。能量为E的X射线光子所激发的电子空穴对数N为 NE 入射X射线光子能量不同，所激发的电子空穴对数N也不同，探测器输出电压脉冲高度由N
4、决定。,2020/8/17,8,HNU-ZLP,锂漂移硅能谱仪方框图,2020/8/17,9,HNU-ZLP,能谱和波谱谱线比较,2020/8/17,10,HNU-ZLP,波谱仪（WDS）与能谱仪（EDS）比较,2020/8/17,11,HNU-ZLP,电子探针仪分析方法,定性分析 点分析 线分析 面分析 定量分析,2020/8/17,12,HNU-ZLP,1、有时候读书是一种巧妙地避开思考的方法。20.8.1720.8.17Monday, August 17, 2020 2、阅读一切好书如同和过去最杰出的人谈话。14:18:3314:18:3314:188/17/2020 2:18:33 P
5、M 3、越是没有本领的就越加自命不凡。20.8.1714:18:3314:18Aug-2017-Aug-20 4、越是无能的人，越喜欢挑剔别人的错儿。14:18:3314:18:3314:18Monday, August 17, 2020 5、知人者智，自知者明。胜人者有力，自胜者强。20.8.1720.8.1714:18:3314:18:33August 17, 2020 6、意志坚强的人能把世界放在手中像泥块一样任意揉捏。2020年8月17日星期一下午2时18分33秒14:18:3320.8.17 7、最具挑战性的挑战莫过于提升自我。2020年8月下午2时18分20.8.1714:18Au
6、gust 17, 2020 8、业余生活要有意义，不要越轨。2020年8月17日星期一2时18分33秒14:18:3317 August 2020 9、一个人即使已登上顶峰，也仍要自强不息。下午2时18分33秒下午2时18分14:18:3320.8.17 10、你要做多大的事情，就该承受多大的压力。8/17/2020 2:18:33 PM14:18:332020/8/17 11、自己要先看得起自己，别人才会看得起你。8/17/2020 2:18 PM8/17/2020 2:18 PM20.8.1720.8.17 12、这一秒不放弃，下一秒就会有希望。17-Aug-2017 August 202020.8.17 13、无论才能知识多么卓著，如果缺乏热情，则无异纸上画饼充饥，无补于事。Monday, August 17, 202017-Aug-2020.8.17 14、我只是自己不放过自己而已，现在我不会再逼自己眷恋了。20.8.1714:18:3317 August 202014:18,谢谢大家,
