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1、FEMAG晶体生长专业模拟软件,仿真结果图片整理,FEMAG软件概况,FEMAG软件是世界上第一款商业的材料晶体生长数值模拟软件,由比利时新鲁汶大学教授Dr.FranoisDupret于20世纪80年代中期领导开发。 Dr.FranoisDupret是第二届晶体生长模型国际研讨会主席、EUROTHERM相变热力学研讨会联合主席、机械工程学位委员会主席,曾担任国际晶体生长(JournalofCrystalGrowth)期刊主编。 FEMAG软件拥有国际上最先进、最高效、最全面的晶体生长工艺模拟技术和多物理场耦合仿真功能,可模拟的晶体生长工艺包括提拉法(柴氏法,Cz法)、泡生法(Ky法)、区熔法(
2、FZ法)、坩埚下降法(垂直布里兹曼法,VB法)、物理气相传输法(PVT法)等,广泛应用于集成电路、太阳能光伏、半导体、蓝宝石等领域。ONSemiconductor(安森美半导体)、美国Kayex、Siltronic(世创电子材料)、AXT(美国晶体技术集团)、韩国Nexolon、LG、韩国汉阳大学、Norut(挪威北方研究所)、日本SUMCO集团、Gritek(有研新材料)、天津环欧半导体材料、中环股份、北京有色金属研究总院、清华大学等企业和科研机构,均是FEMAG软件的用户。,FEMAG软件产品,目前,FEMAG软件包括以下六款产品: FEMAG/CZFEMAG提拉法晶体生长模拟软件 FEM
3、AG CZ/OXFEMAG提拉/泡生法晶体生长模拟软件 FEMAG/FZFEMAG区熔法晶体生长模拟软件 FEMAG/DSFEMAG三维定向凝固模拟软件 FEMAG/VBFEMAG VB/VGF法晶体生长模拟软件 FEMAG/PVTFEMAG物理气相传输法晶体生长模拟软件,应用领域,FEMAG软件已在以下行业中得到了广泛的应用: 半导体用单晶硅生产与研发 太阳能光伏用单晶硅、多晶硅锭生产与研发 集成电路级单晶硅生产与研发 航空发动机涡轮叶片单晶高温合金生产与研发 LED光电技术用氧化物晶体和蓝宝石晶体生产与研发 晶体生长熔炉设计与生产,FEMAG-CZ软件,FEMAG直拉法模拟软件(FEMAG
4、-CZ)用于模拟直拉法工艺(包括Cz, MCz, VCz,泡生法)。 FEMAG-CZ直拉法模拟软件用于新的热场设计,并研发新的方法以满足新的商业需求点,比如: 大直径晶锭生长 无缺陷硅晶锭生长 提高成品率 氧含量控制 降低碳含量 晶锭半径和沿轴向的电阻率差异减小 CCZ工艺仿真 磁场设计 蓝宝石生长工艺设计,FEMAG-CZ直拉法模拟软件,FEMAG 3D 熔体流动模拟结果,FEMAG动态模拟,直拉法晶体生长中的填隙原子和空位的动态预测,直拉法晶体硅生长中的OSF(氧化诱生层错)预测,直拉法晶体生长的三维应力分布,硅晶体直拉法生长氧含量预测,直拉法硅晶体生长硼浓度分布预测,连续提拉法(CCZ
5、)温度预测,连续提拉法(CCZ)熔体自由表面上部的氩气流场分布,在横向磁场作用下的三维熔体流动,在横向磁场作用下的三维等温线分布,FEMAG-FZ软件,FEMAG区熔法软件(FEMAG-FZ)用于模拟区熔法生长工艺 (FZ, PFZ) FEMAG区熔法软件专注于设计新的热场,并研发新的方法以满足新的商业需求点,比如: 无缺陷晶锭生长 提高成品率 节省R&D成本,FEMAG-FZ区熔法模拟软件,区熔法工艺的等温线预测,FEMAG预测区熔法生长晶体缺陷,模拟晶体转速对熔体流动的影响,FEMAG-DS软件,FEMAG定向凝固模拟软件(FEMAG-DS)适用于铸锭定向凝固过程工艺(DS, HEM, VB, VGF) FEMAG定向凝固模拟软件用于设计新的热场,并研发新的方法以满足新的商业需求点,比如: 晶体微结构 优化 扩大生产规模,定向凝固工艺中的三维熔体流动,速度剖面和界面预测,定向凝固铸锭炉,定向凝固工艺等温线和界面形状的二维仿真图,为晶粒生长研究所进行的定向凝固速度分布预测,参考,所有仿真图片来自 文字的翻译原文来自 更多内容欢迎访问百度文辑: FEMAG Introduction(FEMAG晶体生长模拟软件介绍资料和参考论文) ,