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1、,5.2 霍尔传感器,5.2.1 霍尔传感器工作原理 5.2.2 霍尔元件的结构和基本电路 5.2.3 霍尔元件的主要特性参数 5.2.4 霍尔元件误差及补偿 5.2.5 霍尔式传感器的应用,5.2.1 霍尔传感器工作原理,在金属或半导体薄片的两端通过控制电流，并在薄片的垂直方向上施加磁场，则在垂直于电流和磁场的方向上将产生电动势（霍尔电势），这种现象称为霍尔效应。,霍尔效应原理,霍尔常数,霍尔常数,霍尔常数大小取决于导体的载流子密度： 金属的自由电子密度太大，因而霍尔常数小，霍尔电势也小， 所以金属材料不宜制作霍尔元件。 霍尔电势与导体厚度d成反比： 为了提高霍尔电势值， 霍尔元件制成薄片形
2、状。,霍尔元件灵敏度（灵敏系数）,半导体中电子迁移率（电子定向运动平均速度）比空穴迁移率高， 因此N型半导体较适合于制造灵敏度高的霍尔元件，,5.2 霍尔传感器,5.2.1 霍尔传感器工作原理 5.2.2 霍尔元件的结构和基本电路 5.2.3 霍尔元件的主要特性参数 5.2.4 霍尔元件误差及补偿 5.2.5 霍尔式传感器的应用,5.2.2 霍尔元件的结构和基本电路,霍尔元件,5.2 霍尔传感器,5.2.1 霍尔传感器工作原理 5.2.2 霍尔元件的结构和基本电路 5.2.3 霍尔元件的主要特性参数 5.2.4 霍尔元件误差及补偿 5.2.5 霍尔式传感器的应用,5.2.3 霍尔元件的主要特性
3、参数：,(1) 输入电阻和输出电阻 输入电阻：控制电极间的电阻 输出电阻：霍尔电极之间的电阻 (2) 额定控制电流和最大允许控制电流 额定控制电流：当霍尔元件有控制电流使其本身在 空气中产生10温升时，对应的控制电流值 最大允许控制电流：以元件允许的最大温升为限制 所对应的控制电流值,(3) 不等位电势Uo和不等位电阻ro,不等位电势：当霍尔元件的控制电流为额定值时，若元件所处位置的磁感应强度为零，测得的空载霍尔电势。 r 0称不等位电阻,(4) 寄生直流电势 霍尔元件零位误差的一部分 当没有外加磁场，霍尔元件用交流控制电流时，霍 尔电极的输出有一个直流电势 控制电极和霍尔电极与基片的连接是非
4、完全欧姆接 触时，会产生整流效应。 两个霍尔电极焊点的不一致，引起两电极温度不同 产生温差电势 (5) 霍尔电势温度系数 在一定磁感应强度和控制电流下，温度每变化1C 时，霍尔电势变化的百分率,5.2 霍尔传感器,5.2.1 霍尔传感器工作原理 5.2.2 霍尔元件的结构和基本电路 5.2.3 霍尔元件的主要特性参数 5.2.4 霍尔元件误差及补偿 5.2.5 霍尔式传感器的应用,5.3.4 霍尔元件误差及补偿,1. 不等位电势误差的补偿 2. 温度误差及其补偿,1. 不等位电势误差的补偿,可以把霍尔元件视为一个四臂电阻电桥，不等位电势就相当于电桥的初始不平衡输出电压。,不等位电势的补偿电路,
5、不对称电路简单，而对称补偿的温度稳定性要好些,2. 温度误差及其补偿,温度误差产生原因： 霍尔元件的基片是半导体材料，因而对温度的变化很敏感。其载流子浓度和载流子迁移率、电阻率和霍尔系数都是温度的函数。 当温度变化时，霍尔元件的一些特性参数，如霍尔电势、输入电阻和输出电阻等都要发生变化，从而使霍尔式传感器产生温度误差。,减小霍尔元件的温度误差,选用温度系数小的元件 采用恒温措施 采用恒流源供电,恒流源温度补偿,霍尔元件的灵敏系数也是温度的函数，它随温度的变化引起 霍尔电势的变化，霍尔元件的灵敏系数与温度的关系,大多数霍尔元件的温度系数是正值时， 它们的霍尔电势随温度的升高而增加（1+t）倍。
6、同时，让控制电流I相应地减小，能保持KHI不变就 抵消了灵敏系数值增加的影响,恒流源温度补偿电路,当霍尔元件的输入电阻随温度升高而增加时， 旁路分流电阻自动地加强分流，减少了霍尔元件的控制电流,控制电流,温度升到T时，电路中各参数变为,式中， 霍尔元件输入电阻温度系数； 分流电阻温度系。,为使霍尔电势不变，补偿电路必须满足: 升温前、后的霍尔电势不变，,经整理，忽略 高次项后得,用上式即可计算出分流电阻及所需的温度系数值,5.2 霍尔传感器,5.2.1 霍尔传感器工作原理 5.2.2 霍尔元件的结构和基本电路 5.2.3 霍尔元件的主要特性参数 5.2.4 霍尔元件误差及补偿 5.2.5 霍尔
7、式传感器的应用,5.2.5 霍尔式传感器的应用,优点: 结构简单，体积小，重量轻，频带宽，动态特性好和寿命长 应用： 电磁测量：测量恒定的或交变的磁感应强度、有功功率、无功功率、相位、电能等参数； 自动检测系统：多用于位移、压力的测量。,1. 微位移和压力的测量,测量原理： 霍尔电势与磁感应强度成正比，若磁感应强度是位置的函数，则霍尔电势的大小就可以用来反映霍尔元件的位置。 应用： 位移测量、力、压力、应变、机械振动、加速度,产生梯度磁场的示意图,位移量较小，适于测量微位移和机械振动,霍尔式压力传感器,弹簧管 磁铁 霍尔片,加速度传感器,2. 磁场的测量,在控制电流恒定条件下，霍尔电势大小与磁感应强度成正比，由于霍尔元件的结构特点，它特别适用于微小气隙中的磁感应强度、高梯度磁场参数的测量。,霍尔电势是磁场方向与霍尔基片法线方向之间夹角的函数。 应用：霍尔式磁罗盘、霍尔式方位传感器、霍尔式转速传感器,End the 5.2,
