04cP22第五节磁敏传感器知识讲解

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1、1,第五节 磁敏传感器,一、霍尔元件,霍尔效应将导电体薄片置于磁感应强度为B的磁场中,如果在a、b端通以电流I,则在c、d端就会出现电位差。,霍尔效应原理:在磁感强度为B的磁场中,电荷为q、运动速度为 的带电粒子,所受的磁场力洛仑兹力,为,2,霍尔电势UH为, 霍尔元件一般由锗(Ge)、锑化铟(InSb)等半导体材料制成。霍尔元件由霍尔片、四根引线和壳体组成,如图示。将霍尔片、稳压电源、温度补偿电路和信号处理电路集成在同一个芯片上,即构成线性霍尔传感器。,3, 霍尔传感器有单端输出和双端输出(差动输出)两种电路。, 开关型霍尔传感器:由霍尔元件、放大器、施密特整形电路和集电极开路输出等部分组成

2、。,5,门电路组成的施密特触发器,vI1,6,霍尔传感器应用,1)直流无刷电机的位置传感器,检测转子位置,以 实现换向,S,7,2)测转角,8,2)测转角,9,3)电流传感器/钳形表,当电流流过导线时,将在导线周围产生磁场,磁场大小与流过导线的电流大小成正比,这一磁场可以通过软磁材料来聚集,然后用霍尔器件进行检测。,10,叶片和齿轮位置传感器,4)叶片和齿轮位置传感器,11,5)汽车速度测量,12,1一轴 2一外壳 3电路 4一定子 5线圈 6一霍尔元件 7一永磁转子,6)电动自行车/霍尔电机,13,7)铁磁材料裂纹检测,14,案例:输油管检测用管道猪(Pigging),15,霍尔元件可以用来

3、测量磁场强度、位移、力、速度、角度等。其特点是体积小、使用间便、无接触测量,但受温度影响较大,在做精密测量时应作温度补偿。,二、磁敏电阻, 磁阻效应当一载流导体置于磁场中时,其电阻会随磁场而变化。磁敏电阻就是基于磁阻效应工作的。, 磁阻效应是伴随霍尔效应同时发生的一种物理现象。运动电荷在磁场中受到洛仑兹力的作用而发生偏转后,其从一个电极到另一个电极所经过的途径,要比无磁场作用时所经过的途径长些,因此增加了电阻率。, 磁阻效应与半导体材料的迁移率,几何形状有关。一般迁移率愈高,元件的长宽比愈小,磁阻效应愈大。, 制造磁敏电阻的材料:锑化铟(InSb),砷化铟(InAs)等。,16, 磁电阻测量实

4、验,处于磁场中的磁阻器件和一个外接电阻串联,接在恒流源的分压电路中,通过对R的调节可以调节磁阻器件中电流的大小,电压表联接1或2可以分别监测外接电阻的电压和磁阻器件的电压。, 实用的磁敏电阻在无磁场时的初始电阻值R0可达几百欧姆,在磁感应强度B=1.0T时,其阻值RB与R0的比值可高达12左右。,17, 磁敏电阻是两端器件,使用方便,但受温度影响很大,制作工艺难度大,应用受到限制。,三、磁敏管,1 磁敏二极管,(1)磁敏二极管的结构 有硅磁敏二级管和锗磁敏二级管两种。与普通二极管区别:普通二极管PN结的基区很短,以避免载流子在基区里复合,磁敏二级管的PN结却有很长的基区,大于载流子的扩散长度,

5、但基区是由接近本征半导体的高阻材料构成的。一般锗磁敏二级管用=40cm左右的P型或N型单晶做基区(锗本征半导体的=50cm),在它的两端有P型和N型锗,并引出,若代表长基区,则其PN结实际上是由P结和N结共同组成。 以2ACM1A为例,磁敏二级管的结构是P+IN+型。,18,磁敏二极管 (a)结构 (b)电路符号,在高纯度锗半导体的两端用合金法制成高掺杂的P型和N型两个区域,并在本征区(I)区的一个侧面上,设置高复合区(利用喷砂打毛,形成粗糙的表面,称为r面。由于粗糙的表面处容易使电子空穴对复合而消失,故r面是高复合区, 也称为r区),而与r区相对的另一侧面,保持为光滑无复合表面。这就构成了磁

6、敏二极管的管芯,其结构如图。,19,(2)磁敏二极管的工作原理,当磁敏二极管外加正向偏压,即P区接电源正极,将有大量空穴从P区注入到I区。若将其放入磁场中,则注入的空穴和电子都要受到洛仑兹力的作用而发生偏转。当磁场方向使空穴,电子向r面偏转时,它们将大量复合,因而电流很小;当磁场方向使空穴,电子向光滑面偏转时,它们的复合率变小,电流就大。故可根据某一偏压下的电流值来确定磁感应强度的大小和磁场方向。,当磁敏二极管反向偏置时,在r区仅流过很微小的电流,显得几乎与磁场无关。因而二极管两端电压不会因受到磁场作用而有任何改变。,20,磁敏二极管优点:1)灵敏度高,约为霍尔元件的数百甚至上千倍;2)可识别

7、磁场方向,且线路简单,功耗小。 缺点:灵敏度与磁场关系呈线性的范围比较窄,且受温度影 响大。,2 磁敏三极管,(1)磁敏三极管的结构,在弱P型或弱N型本征半导体上用合金法或扩散法形成发射极、基极和集电极。基区较长。基区结构类似磁敏二极管,有高复合速率的r区和本征I区。长基区分为运输基区和复合基区。,21,当磁敏三极管末受磁场作用时,由于基区宽度大于载流子有效扩散长度,大部分载流子通过e-I-b形成基极电流,少数载流子输入到c极。因而形成基极电流大于集电极电流的情况,使l。,(1)磁敏三极管工作原理,22,由此可知、磁敏三极管在正、反向磁场作用下,其集电极电流出现明显变化。这样就可以利用磁敏三极管来测量弱磁场、电流、转速、位移等物理量。,当受到正向磁场(H+)作用时,由于磁场的作用,洛仑兹力使载流子偏向发射结的一侧,导致集电极电流显著下降,当反向磁场(H-)作用时,在H-的作用下,载流子向集电极一侧偏转,使集电汲电流增大。,

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