《{经营管理知识}TRACK安装调试讲义》由会员分享,可在线阅读,更多相关《{经营管理知识}TRACK安装调试讲义(78页珍藏版)》请在金锄头文库上搜索。
1、,TRACK安装调试培训资料 张先锋 2014.08.06,创新进取 正道经营 追求卓越,创新进取 正道经营 追求卓越,培训内容:,一、CLEANER安装调试 二、SB/HB/DB安装调试 三、DEVELOPER安装调试,创新进取 正道经营 追求卓越,TRACK线平面图:,流片方向,流片方向,流片方向,创新进取 正道经营 追求卓越,所有设备SET UP完成之后,我们开始进入TRACK线,各个单元并不是按照流片的先后顺序来调试的,很多时候是几个单元同时作业,而为了培训的方便,我们还是按照流片的顺序依次讲解各个单元。从整条TRACK线来说,分为INDEXER、CLEANER、DB、LC、SB、IN
2、TERFACE、EXP、TITLER、DEVELOPER、HB以及AOI,共11个单元,我们需要调试的是其中的5个单元: CLEANER、DB、 SB、DEVELOPER及HB。 本次调试的设备是B5 TRACK 9号线,名称:SK-2200G,编号:750G25076A,创新进取 正道经营 追求卓越,CLEANER单元包括:入口CV、过渡CV、UV前CV、UV(UV属于其他厂商调试)、RB+AAJET、A/K、NEUTRAL CV以及出口CV。 确认所有供给阀门处于关闭状态; 确认所有控制柜处于OFF状态,开始投入电源(与DNS及客户); 盖板类、AAJET、追加roller等拆除。 将入口
3、CV和出口CV的整列关闭,中间各个UNIT Guide roller调到最外侧。,1、CLEANER调试前准备,2、川幅调整(初调),一、CLEANER安装调整,1,2,3,1,创新进取 正道经营 追求卓越,调整入口CV操作侧第一个Guide roller,使其到侧板内侧距离为50mm,调整出口CV操作侧最后一个Guide roller,使其到侧板内侧距离为20mm,(这两个距离为经验值,视实际情况而定),用这两个Guide roller拉线作为基准线,再调整操作侧所有Guide roller,操作侧Guide roller与基准线距离为0mm。反操作侧的基准线做法与操作侧相同,反操作侧Gui
4、de roller与基准线距离分为两种:a、整列roller与基准线距离为0.5mm;b、 单个Guide roller基准线距离为2mm。所用基板为2500mm*2200mm*0.5mm 此时的川幅调整是初调,目的是传片,为DB、LC、SB、INTERFACE,注意,2,创新进取 正道经营 追求卓越,以及HB robot Teaching做准备。最终的川幅调整以COATER基台为基准。 LC robot Teaching完成后(Teaching基准为COATER基台),用robot将基板放入出口CV中,以此基板的两侧边为基准,首先调好两侧整列roller,再由两侧整列roller为基准拉线,
5、最后调整CLEANER所有Guide roller。具体调整做法与川幅调整(初调)的相同。 再将Guide roller顶部到基板上表面的距离调整至4mm。,3、川幅调整(终调),创新进取 正道经营 追求卓越,出口CV终调,川幅调整基准线,创新进取 正道经营 追求卓越,用随机携带的扳手将CLEANER所有搬送roller拧紧。,4、搬送ROLLER拧紧确认,创新进取 正道经营 追求卓越,在Sensor旁边的搬送roller上放置一块厚度为2mm的PVC板,放一直尺于板上,扫动直尺, 调整Sensor固定螺丝直到直尺稍微低于Sensor后锁紧螺丝。 Sensor的高度允许误差为(0,+0.5),
6、 Sensor敏感度为小于05时ON状态, 510时OFF状态。,5、摇摆SENSOR调整,创新进取 正道经营 追求卓越,将操作侧及反操作侧所有固定螺钉拧紧。 CLEANER除了入口CV与出口CV有立替部,其他unit都处于倾斜状态,整体平面度需要调整。a、粗调,将两块基板分别放入贴合的两个unit中,观察两块基板的高度差,然后调节unit四个角的双头螺栓,使得两基板趋于同一平面;b、细调,将一块基板置于两个unit交界处,调节C-roller,方法同A/K调整中的C-roller调整。,6、侧板固定螺钉拧紧,7、上下流平面度调整,创新进取 正道经营 追求卓越,用张力计依次将同步带的张力调整到
7、标准值(标准值参照各部分标准张力表),具体做法:首先用张力计测量同步带当前张力,再与标准值比较,最后用扳手调节涨紧轮的松紧状态,使得同步带的张力在标准范围内。,8、同步带张力调整,创新进取 正道经营 追求卓越,将先前拆下来的追加roller重新安装上,然后用0.2mm的塞尺测量上下搬送roller间的距离,允许误差为 0.1mm。 在搬送roller旋转过程中,目测滚轴与中心固定架圆孔的同轴情况,如有偏离,调节固定架高度。 确认ManualSW动作是否正常; 确认整列气缸动作是否流畅,有无异常声音; 调整整列气缸开闭速度,开闭时间相同:2.00.3s;,9、追加ROLLER安装与调整,10、搬
8、送ROLLER中心变化确认,11、入口CV调整,2,1,3,创新进取 正道经营 追求卓越,调整立替部气缸升降速度,升降时间相同: 5.00.3s; 确认基板缺口Sensor高度:5.01.0mm。 确认基板检查Sensor高度:10.01.0mm。 确认ManualSW动作是否正常; 确认基板检查Sensor高度:10.01.0mm。 确认ManualSW动作是否正常; 确认基板检查Sensor高度:10.01.0mm。,12、过渡CV调整,13、UV前CV调整,6,5,4,2,1,1,2,创新进取 正道经营 追求卓越,UV属于其他厂商调试,我们只需要调整Guide roller即可。 共四个
9、RB,分为前后两组,GOT面板上标记为:前上、前下、后上及后下(根据B5的工艺要求,前上RB及后上RB不需要安装)。 首先安装前下RB和后下RB。 前下RB原点复位:用直尺测量操作侧和反操作侧的前下RB到基板的距离,在GOT面板上调整RB的升降,直到所测距离为2mm,允许误差控制在0.5mm内。,14、UV调整,15、RB安装与TEACHING,1,2,创新进取 正道经营 追求卓越,前下RB安装,RB电机Sensor,创新进取 正道经营 追求卓越,RB Teaching GOT面板,创新进取 正道经营 追求卓越,RB Teaching GOT操作,创新进取 正道经营 追求卓越,后下RB原点复位
10、方法同前下RB。 调整四个RB电机Sensor。每个RB电机操作侧与反操作侧分别有3个Sensor,最外侧为原点复位Sensor ,中间为退避Sensor,最内侧为压入Sensor。 a、原点复位Sensor 挡片为带圆孔的长方形薄片,调整时将圆孔对准Sensor中间,Sensor指示灯处于常亮状态;b、退避Sensor挡片为长方形,调整挡片使其到Sensor中间距离为8mm,允许误差控制在0.3mm内,Sensor指示灯处于常亮状态; c、压入Sensor挡片为“C”形,调整挡片使其下侧到Sensor中间距离为,4,3,创新进取 正道经营 追求卓越,4mm,允许误差控制在0.3mm内,Sen
11、sor指示灯处于常亮状态。 将所有Cover装上; 检查各阀门,将进液阀门打开,排液阀门关闭; 投入纯水,检查Tank、Filter以及各管路是否有漏水。调整直接水洗Tank Sensor位置,RB侧下限:370mm处(46L), RB侧定量:135mm处(112L), RB侧过多:118mm处(115L);循环侧下限:370mm处(46L),循环侧定量:110mm处(120L),循环侧瀑布:90mm处(126L)。 Tank中装水放置8h以上,检查有无漏水。,16、纯水投入,4,3,2,1,创新进取 正道经营 追求卓越,纯水投入Tank及管路检查,创新进取 正道经营 追求卓越,安装风切,调整
12、风切,用直尺测量其到基板的距离为10.01.0mm。 安装中间部液切,上、下液刀到基板上下表面的距离相同:10.01.0mm。 安装出口液切,用直尺测量其到基板的距离10.01.0mm。 安装二流体,用直尺测量其到基板上表面的距离为5.00.5mm。,17、风切、液切及二流体安装与调整,1,4,3,2,创新进取 正道经营 追求卓越,先将filter顶部排气管拆下,使用专用扳手将上盖打开,装入滤芯后将拆除件重新安装,锁紧。,18、FILTER滤芯安装,创新进取 正道经营 追求卓越,将所有Nozzle接管取下,供给阀门打开; 所有Nozzle接管取下目的:防止Tank或管路里的particle堵塞
13、 Nozzle。 打开各个Filter回流阀门,将空气排尽后关闭阀门; 检查常压泵和高压泵的旋向是否与泵体标示一致; (4)在GOT面板上查看各部分流量显示,调整手动阀门,使得GOT面板显示的流量达到标准值。 a、RB rinse的所有Nozzle压力0.1MPa;,注意,19、流量调整,1,3,2,4,创新进取 正道经营 追求卓越,手动阀门调整,流量显示,创新进取 正道经营 追求卓越,GOT面板各部分当前流量显示,创新进取 正道经营 追求卓越,b、两端液切流量69L/min; c、二流体气体流量3208L/min; d、二流体高压液体压力55MPa。(二流体高压液体压力的调整需要同时调节两个
14、手动阀:一个是回流到Tank中的BYPASS,另一个是通向二流体的高压水管上的阀门) 将A/K安装处开口部上、下不锈钢挡板分别调至最上端和最下端,目的是将开口部间距调至最大; 首先将上、下风刀的调整块安装好,再将上、下风刀装上,锁紧,20、A/K安装与调整,2,1,创新进取 正道经营 追求卓越,螺丝; 从操作侧到反操作侧均匀测量5个点的上下风刀间距,调节调整块,使得上下风刀间距为3.9mm4.15mm,其中中间一点为3.9mm,其他为4.0mm 4.15mm。 用两个直尺测量上下风刀折线处到开口部直板的间距(测量5个点:两侧两个点,中间三个调整块三个点),比较数据分析上下风刀错位情 况,对比两
15、侧两个点的数据,选取合适的基准值,最后将五个点的间距都调整成基准值; 先用整张基板调整最两侧的两个C-roller,使基板上表面到风刀下表面距离为1.7mm,如果通过调整这两个C-roller无法达到1.7mm,则需,4,3,5,创新进取 正道经营 追求卓越,要将上下风刀整体升降; 剩余C-roller的调整,从反操作侧第二个C-roller开始调整,一个接一个交错调整; 若其中一个C-roller调整完毕后,发现临近的搬送roller偏高或偏低,还需要调整辊轴支架。 将整张基板中心置于开口部,测量基板上表面到开口部顶端的距离(均匀分布的三个点),测量基板下表面到开口部底端的距离(均匀分布的三
16、个点),测量基板两侧面到开口部两侧面的距离,总共测量8个点。,21、所有开口部尺寸确认,7,6,创新进取 正道经营 追求卓越,上下风刀错位测量,C-roller调整,创新进取 正道经营 追求卓越,辊轴支架调整,C-roller调整,创新进取 正道经营 追求卓越,在GOT面板上打开阀门; 打开A/K手动阀,流量调至2500L/min; 打开排气阀门,流量调至120L/min. 打开控制箱中的FFU开关; 确认FFU风扇旋转方向与标记方向是否一致。 从入口CV开始依次用转速计测量各unit搬送roller的转速,对照,22、A/K流量调整,23、FFU确认,2,1,3,2,1,24、CLEANER各UNIT转速调整,创新进取 正道经营 追求卓越,标准转速表,在GOT面板上调节转速比,直到搬送rol