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1、,TRACK安装调试培训资料 张先锋 2014.08.06,创新进取 正道经营 追求卓越,创新进取 正道经营 追求卓越,培训内容：,一、CLEANER安装调试 二、SB/HB/DB安装调试 三、DEVELOPER安装调试,创新进取 正道经营 追求卓越,TRACK线平面图：,流片方向,流片方向,流片方向,创新进取 正道经营 追求卓越,所有设备SET UP完成之后，我们开始进入TRACK线，各个单元并不是按照流片的先后顺序来调试的，很多时候是几个单元同时作业，而为了培训的方便，我们还是按照流片的顺序依次讲解各个单元。从整条TRACK线来说，分为INDEXER、CLEANER、DB、LC、SB、IN
2、TERFACE、EXP、TITLER、DEVELOPER、HB以及AOI，共11个单元，我们需要调试的是其中的5个单元： CLEANER、DB、 SB、DEVELOPER及HB。 本次调试的设备是B5 TRACK 9号线，名称：SK-2200G，编号：750G25076A,创新进取 正道经营 追求卓越,CLEANER单元包括：入口CV、过渡CV、UV前CV、UV（UV属于其他厂商调试）、RB+AAJET、A/K、NEUTRAL CV以及出口CV。 确认所有供给阀门处于关闭状态； 确认所有控制柜处于OFF状态，开始投入电源（与DNS及客户）； 盖板类、AAJET、追加roller等拆除。 将入口
3、CV和出口CV的整列关闭，中间各个UNIT Guide roller调到最外侧。,1、CLEANER调试前准备,2、川幅调整（初调）,一、CLEANER安装调整,1,2,3,1,创新进取 正道经营 追求卓越,调整入口CV操作侧第一个Guide roller，使其到侧板内侧距离为50mm，调整出口CV操作侧最后一个Guide roller，使其到侧板内侧距离为20mm，（这两个距离为经验值，视实际情况而定），用这两个Guide roller拉线作为基准线，再调整操作侧所有Guide roller，操作侧Guide roller与基准线距离为0mm。反操作侧的基准线做法与操作侧相同，反操作侧Gui
4、de roller与基准线距离分为两种：a、整列roller与基准线距离为0.5mm；b、 单个Guide roller基准线距离为2mm。所用基板为2500mm*2200mm*0.5mm 此时的川幅调整是初调，目的是传片，为DB、LC、SB、INTERFACE,注意,2,创新进取 正道经营 追求卓越,以及HB robot Teaching做准备。最终的川幅调整以COATER基台为基准。 LC robot Teaching完成后（Teaching基准为COATER基台），用robot将基板放入出口CV中，以此基板的两侧边为基准，首先调好两侧整列roller，再由两侧整列roller为基准拉线，
5、最后调整CLEANER所有Guide roller。具体调整做法与川幅调整（初调）的相同。 再将Guide roller顶部到基板上表面的距离调整至4mm。,3、川幅调整（终调）,创新进取 正道经营 追求卓越,出口CV终调,川幅调整基准线,创新进取 正道经营 追求卓越,用随机携带的扳手将CLEANER所有搬送roller拧紧。,4、搬送ROLLER拧紧确认,创新进取 正道经营 追求卓越,在Sensor旁边的搬送roller上放置一块厚度为2mm的PVC板，放一直尺于板上，扫动直尺， 调整Sensor固定螺丝直到直尺稍微低于Sensor后锁紧螺丝。 Sensor的高度允许误差为（0，+0.5），
6、 Sensor敏感度为小于05时ON状态， 510时OFF状态。,5、摇摆SENSOR调整,创新进取 正道经营 追求卓越,将操作侧及反操作侧所有固定螺钉拧紧。 CLEANER除了入口CV与出口CV有立替部，其他unit都处于倾斜状态，整体平面度需要调整。a、粗调，将两块基板分别放入贴合的两个unit中，观察两块基板的高度差，然后调节unit四个角的双头螺栓，使得两基板趋于同一平面；b、细调，将一块基板置于两个unit交界处，调节C-roller，方法同A/K调整中的C-roller调整。,6、侧板固定螺钉拧紧,7、上下流平面度调整,创新进取 正道经营 追求卓越,用张力计依次将同步带的张力调整到
7、标准值（标准值参照各部分标准张力表），具体做法：首先用张力计测量同步带当前张力，再与标准值比较，最后用扳手调节涨紧轮的松紧状态，使得同步带的张力在标准范围内。,8、同步带张力调整,创新进取 正道经营 追求卓越,将先前拆下来的追加roller重新安装上，然后用0.2mm的塞尺测量上下搬送roller间的距离，允许误差为 0.1mm。 在搬送roller旋转过程中，目测滚轴与中心固定架圆孔的同轴情况，如有偏离，调节固定架高度。 确认ManualSW动作是否正常； 确认整列气缸动作是否流畅，有无异常声音； 调整整列气缸开闭速度，开闭时间相同：2.00.3s；,9、追加ROLLER安装与调整,10、搬
8、送ROLLER中心变化确认,11、入口CV调整,2,1,3,创新进取 正道经营 追求卓越,调整立替部气缸升降速度，升降时间相同： 5.00.3s； 确认基板缺口Sensor高度：5.01.0mm。 确认基板检查Sensor高度：10.01.0mm。 确认ManualSW动作是否正常； 确认基板检查Sensor高度：10.01.0mm。 确认ManualSW动作是否正常； 确认基板检查Sensor高度：10.01.0mm。,12、过渡CV调整,13、UV前CV调整,6,5,4,2,1,1,2,创新进取 正道经营 追求卓越,UV属于其他厂商调试，我们只需要调整Guide roller即可。 共四个
9、RB，分为前后两组，GOT面板上标记为：前上、前下、后上及后下（根据B5的工艺要求，前上RB及后上RB不需要安装）。 首先安装前下RB和后下RB。 前下RB原点复位：用直尺测量操作侧和反操作侧的前下RB到基板的距离，在GOT面板上调整RB的升降，直到所测距离为2mm，允许误差控制在0.5mm内。,14、UV调整,15、RB安装与TEACHING,1,2,创新进取 正道经营 追求卓越,前下RB安装,RB电机Sensor,创新进取 正道经营 追求卓越,RB Teaching GOT面板,创新进取 正道经营 追求卓越,RB Teaching GOT操作,创新进取 正道经营 追求卓越,后下RB原点复位
10、方法同前下RB。 调整四个RB电机Sensor。每个RB电机操作侧与反操作侧分别有3个Sensor，最外侧为原点复位Sensor ，中间为退避Sensor，最内侧为压入Sensor。 a、原点复位Sensor 挡片为带圆孔的长方形薄片，调整时将圆孔对准Sensor中间，Sensor指示灯处于常亮状态；b、退避Sensor挡片为长方形，调整挡片使其到Sensor中间距离为8mm，允许误差控制在0.3mm内，Sensor指示灯处于常亮状态； c、压入Sensor挡片为“C”形，调整挡片使其下侧到Sensor中间距离为,4,3,创新进取 正道经营 追求卓越,4mm，允许误差控制在0.3mm内，Sen
11、sor指示灯处于常亮状态。 将所有Cover装上； 检查各阀门，将进液阀门打开，排液阀门关闭； 投入纯水，检查Tank、Filter以及各管路是否有漏水。调整直接水洗Tank Sensor位置，RB侧下限：370mm处(46L)， RB侧定量：135mm处(112L)， RB侧过多：118mm处(115L)；循环侧下限：370mm处(46L)，循环侧定量：110mm处(120L)，循环侧瀑布：90mm处(126L)。 Tank中装水放置8h以上，检查有无漏水。,16、纯水投入,4,3,2,1,创新进取 正道经营 追求卓越,纯水投入Tank及管路检查,创新进取 正道经营 追求卓越,安装风切，调整
12、风切，用直尺测量其到基板的距离为10.01.0mm。 安装中间部液切，上、下液刀到基板上下表面的距离相同：10.01.0mm。 安装出口液切，用直尺测量其到基板的距离10.01.0mm。 安装二流体，用直尺测量其到基板上表面的距离为5.00.5mm。,17、风切、液切及二流体安装与调整,1,4,3,2,创新进取 正道经营 追求卓越,先将filter顶部排气管拆下，使用专用扳手将上盖打开，装入滤芯后将拆除件重新安装，锁紧。,18、FILTER滤芯安装,创新进取 正道经营 追求卓越,将所有Nozzle接管取下，供给阀门打开； 所有Nozzle接管取下目的：防止Tank或管路里的particle堵塞
13、 Nozzle。 打开各个Filter回流阀门，将空气排尽后关闭阀门； 检查常压泵和高压泵的旋向是否与泵体标示一致； （4）在GOT面板上查看各部分流量显示，调整手动阀门，使得GOT面板显示的流量达到标准值。 a、RB rinse的所有Nozzle压力0.1MPa；,注意,19、流量调整,1,3,2,4,创新进取 正道经营 追求卓越,手动阀门调整,流量显示,创新进取 正道经营 追求卓越,GOT面板各部分当前流量显示,创新进取 正道经营 追求卓越,b、两端液切流量69L/min； c、二流体气体流量3208L/min； d、二流体高压液体压力55MPa。（二流体高压液体压力的调整需要同时调节两个
14、手动阀：一个是回流到Tank中的BYPASS，另一个是通向二流体的高压水管上的阀门） 将A/K安装处开口部上、下不锈钢挡板分别调至最上端和最下端，目的是将开口部间距调至最大； 首先将上、下风刀的调整块安装好，再将上、下风刀装上，锁紧,20、A/K安装与调整,2,1,创新进取 正道经营 追求卓越,螺丝； 从操作侧到反操作侧均匀测量5个点的上下风刀间距，调节调整块，使得上下风刀间距为3.9mm4.15mm，其中中间一点为3.9mm，其他为4.0mm 4.15mm。 用两个直尺测量上下风刀折线处到开口部直板的间距（测量5个点：两侧两个点，中间三个调整块三个点），比较数据分析上下风刀错位情 况，对比两
15、侧两个点的数据，选取合适的基准值，最后将五个点的间距都调整成基准值； 先用整张基板调整最两侧的两个C-roller，使基板上表面到风刀下表面距离为1.7mm，如果通过调整这两个C-roller无法达到1.7mm，则需,4,3,5,创新进取 正道经营 追求卓越,要将上下风刀整体升降； 剩余C-roller的调整，从反操作侧第二个C-roller开始调整，一个接一个交错调整； 若其中一个C-roller调整完毕后，发现临近的搬送roller偏高或偏低，还需要调整辊轴支架。 将整张基板中心置于开口部，测量基板上表面到开口部顶端的距离（均匀分布的三个点），测量基板下表面到开口部底端的距离（均匀分布的三
16、个点），测量基板两侧面到开口部两侧面的距离，总共测量8个点。,21、所有开口部尺寸确认,7,6,创新进取 正道经营 追求卓越,上下风刀错位测量,C-roller调整,创新进取 正道经营 追求卓越,辊轴支架调整,C-roller调整,创新进取 正道经营 追求卓越,在GOT面板上打开阀门； 打开A/K手动阀，流量调至2500L/min； 打开排气阀门，流量调至120L/min. 打开控制箱中的FFU开关； 确认FFU风扇旋转方向与标记方向是否一致。 从入口CV开始依次用转速计测量各unit搬送roller的转速，对照,22、A/K流量调整,23、FFU确认,2,1,3,2,1,24、CLEANER各UNIT转速调整,创新进取 正道经营 追求卓越,标准转速表，在GOT面板上调节转速比，直到搬送rol
