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1、第六章 磁执行器,基本概念和原理 -磁化及术语 -微磁执行器的原理 微磁元件的制造 -磁性材料的沉积 -磁性线圈的设计和制造 磁传感器实例 MEMS磁执行器的实例,电磁式微执行器-基本概念,磁化及术语 在磁场中的磁性材料会发生内部磁性的极化，这种现象称为磁化。 磁场强度（符号H）代表外部磁场对磁性材料的影响，单位A/m。 磁场密度（符号B）代表在磁性材料中感应的总磁场，单位特斯拉（T），1T=10000Gs。,一般常见的磁性物体磁场密度是： 普通电冰箱的磁场为：100-1000Gs 地磁场（赤道附近）为：1Gs 磁存储介质为：100mT或100Gs 用于磁谐振成像的稀土磁体为：1-2T,家庭常
2、用电器电磁辐射检测数据参考表(mG：毫高斯),硬磁体与软磁体 硬磁体：极化后剩磁较大 软磁体：极化后剩磁较小或无剩磁,电磁式微执行器-基本概念,磁执行器原理,电磁致动：通过线圈通电产生磁场，导磁体由于磁场力的作用而产生运动。,通电线圈 通电导体产生磁场。平行的两条导线中通以相同方向的电流则彼此之间相互吸引，如果通以相反的电流，则彼此之间相互排斥。,电流流过U形导线时会在两条导线之间产生排斥力。类似地，在一条置于磁场中的柔性金属线上通以电流，导线会发生偏转。,通电线圈也能产生磁场，它可与磁铁或相隔一定距离的线圈产生的外磁场相互作用而产生机械力。 优点： 避免引线 磁场对环境影响较小 用无源永磁体
3、，耗能小,微磁执行器的原理,例8-2 1T的均匀磁场中，10mA电流的100m长金属线，与磁力线垂直，受力多少？,B,I,洛伦兹力,？,磁体在磁场中的受力,a,b,c,1,2,3,4,微磁元件的制造-磁性材料的沉积,尽管可以把小片磁性材料附着在微机械结构上来实现传感器和执行器，但通常这样的方法效率很低。磁性材料的片上集成更加精确而且应用广泛。 微器件沉积铁磁材料最常用的方法是电镀。含有所需磁性材料的离子化学溶液用作晶片的电解液。在电镀槽中放有相反电极，金属沉积（晶片）的工作片加上负偏置电压。,图 磁性材料电镀的工艺流程,图 电镀模具移去后，形成的蘑菇 状电镀金属,微磁元件的制造-磁性线圈的设计
4、和制造,在芯片上集成螺线管是一件很有意思的事情。它们可以用作电磁源、线圈执行器、电感器、遥测线圈和集成电路中的变压器。最普遍而且可以制造的电磁体形式是单层、空心的平面线圈。这样的线圈不能产生很强的磁通量密度，因为缺少磁芯而且横向分布的金属线远离线圈的中心。下面两幅图堆多层平面线圈的工艺流程以及三维微线圈的制造进行了说明。,图6.1 多层平面线圈的工艺流程,图6.2 三维微线圈的制造,电磁体,电磁体,磁性梁执行器,德国研制的电磁致动微阀，阀片为牺牲层技术制作的多晶硅膜。这是为小型气体分析仪设计的微阀结构，设计的压力指标为10-50kPa，过流能力为2-20mL/min，响应时间为5ms。,电磁致
5、动微阀,电磁式微执行器实例,外加磁场导致坡莫合金区域产生磁性极化，这反过来又和外加磁场作用，结果导致执行器重新定位，直到它与磁场对准。该器件可用于斩波、扫描、光束导向等微光学场合。,外加磁场的磁执行器,该阀由一个NiFe溅射阀座和一个可开启、关闭的可移动NiFe阀膜组成。依靠活动膜片上支撑弹簧的内力，可以制成常开或常闭阀。微机械阀元件放置于携带有流体的管道中，管道的外面是由外加线圈形成的磁场，构成了一种电隔离操作。,外加磁场的电磁阀,电磁式微执行器实例(7),电磁光开关,电磁式微执行器实例(8),加州理工学院设计的一种电磁驱动光纤开关的原理示意图。当开关处于开状态时，电磁驱动器带着双面微镜向上
6、运动，将微镜置于光纤之间，每个输入光纤的光信号经反射后从相邻的输出光纤输出，如图a所示；在关状态，微镜在光纤之下，输入光纤的信号直接从正前方的输出光纤输出，如图b所示。,电磁式微执行器实例(9),磁马达,可变磁阻的微磁马达，它带有全集成的定子和线圈。定子由集成的电磁体制成，转子由软磁性材料制成。马达有两组显磁极，一组在定子上，一组在转子上。 当激励相位线圈时，靠近激励定子电极的转子磁极会吸引到定子磁极（如图a、b所示）。由于定子旋转，定子磁极将与转子磁极对准。关断激励相位线圈的电流，下一个相位开始激励使之连续运动。,双稳态磁开关,静电执行器需要恒定的电压偏置来保持开关在开或关的状态，比较容易受
7、供电中断的影响。开关的双稳态锁定很重要，因为它只有在开关的转变过程中才消耗掉功率，但无论在开或关的状态都不需要电来保持。,电磁式微执行器实例,双稳态磁开关结构:由扭转支柱将悬臂提升在衬底表面的上方。悬臂由顶部上的软铁磁材料和底部上的一层高电导率的金属构成。平面线圈埋置于悬臂的下方。偏置磁场有两个来源：一个是平面线圈，一个是永久磁体。永久磁体位于衬底的表面，用于提供恒定的背景磁场。 该开关的独特设计在于：双向磁化可以通过使用第二个磁场很快反转。这使得可以施加小电流来实现力矩和开关位置的转换。为了实现这一目标，在悬臂梁和外部磁场之间使用了平面线圈以产生磁场来补偿外部磁体产生的磁场。永久磁体使悬臂保
8、持在开或关的位置直到下次开关动作出现。,磁致伸缩执行器,磁致伸缩效应： 1840年焦耳发现，当给镍棒加一个轴向磁场时，它会收缩。 在外加磁场的作用下，材料的磁畴按外磁场进行排列，从而引起材料尺寸的变化。,微型磁强计,定义：利用MEMS技术制作的，把磁场强度和方向信号转换为电信号输出的器件。 微型磁强计按工作原理主要可分为两大类：电磁效应式和机械式。,微传感器的实例电磁,微型磁通门式磁强计,磁通门式磁强计由绕向相反的一对激励线圈和检测线圈组成。磁芯工作在饱和状态。 当被测磁场为零时，两个磁芯中的磁通量大小相等，方向相反，在测量线圈中无电压产生。当被测磁场不为零时，在测量线圈产生感应电势。,德国于
9、1995年研制的微型磁通门磁强计，利用CMOS工艺制作线圈。尺寸为1mm1mm1um，灵敏度为 9.2mV/uT,微型磁通门式磁强计例（1）,日本于1994年研制的三维螺线管线圈，尺寸为4.9mm1mm4m，灵敏度达到2700V/T，分辨率达到10-7T,微型磁通门式磁强计例（2）,机械式微型磁强计,布有线圈或永磁体的微梁在磁场中受力变形或运动，通过测量该变形或运动，获取磁强信息。 测量方式有：压阻式、电容式、隧道效应式等。,美国UCLA于1997年，在二氧化硅梁上支撑着一线圈，线圈通上交变电流，在Lorentz作用下梁发生振动，利用压敏电阻测量其振幅。分辨率为10-8T，Q为10。,谐振式微型磁强计例（1）,美国JPL于1996年研制，用于搭载在小卫星上，测量地球磁场。分辨率：2.8T/Hz1/2 ，驱动电压：120V，尺寸：cm1cm0.6cm,隧道效应磁强计例,微型磁强计的应用,安全：安全检测、交通车辆检测 医疗：核磁共振仪器、导管定位测量 工业：机器人位置测量、转速编码器 国防：探雷、导航、战场侦察 其它：地质勘探,结束,
