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1、 名称ESD静电防护管制程序 制订 张明丰 审核 李超凡 核准 张政献1.0目 的: 在制造.组装.测试.包装或贮藏高敏感电子装置.装配或产品之区域, 须有控制静电的标准,使其改善产品质量,提高生产力.降低电子产品或敏感组件受静电的损害,使本公司以及外包厂商,有一个共同的标准化、高质量化,可执行之制度,并满足客户要求。2.0范 围: 凡对厂内、外包厂商等单位之敏感组件、组装、装配和产品造成损坏之区域或人员均适之。3.0定 义:3.1静电(ELECTROSTATIC):3.1.1静电之含义: 是物体表面过剩或不足的静止电荷,一种电能形式, 它留存于物体表面,是正电荷和负电荷在局部范围内失去平衡的
2、 结果,是通过电子或离子的转移而形成的。3.1.2静电之产生: 通过摩擦、冲流、冷冻、电解、压电、温差等所产 生的。 3.1.3静电产生过程:在工业生产中常见的静电产生物理过程包括:3.1.3.1固体静电产生包含:接触带电.金性属与高分固体的接触带 及断裂.压电效应.热电效应.剥离.电解等)。3. 1. 3. 2粉体起电。3. 1. 3 .3液体起电。 3.1.4静电现象: 是电荷的产生和消失的过程中产生的静电现象的总称。 3.1.5静电之优缺点: 静电具有双重性,即能为人类造福.即为利用静电应用技术制造出静电复印.静电涂敷.静电除尘等,但是.在电子工业制造中也存在静电危害,现正在日益表露出来
3、并逐渐受人们所重视.其在电子工业领域的静电危害形式如下: 静电吸附 静电放电引起的器件击穿(硬击穿.软击穿) 静电感应. 静电放电时产生的电磁脉冲 3.2敏感组件:电子组件在电子产品制造业上最为普遍,最严重的是静电危害.即电子组件在预处理.焊接.清洗.单板测试.组装,调试.直到包装,贮存,发送等工序时,由于接触 - 分离 - 摩擦 - 感应等作用,都会使操作人员.工具.工作台面,电子组件,电子组件包装容器等产生静电,同时会随时对电子组件造成静电损害.因此.此类电子组件为静电敏感组件(如IC.晶体等),总称 敏感组件。 3.3静电释放: ESD (ELECTROSTATIC DISCHARGE)
4、一种突然产生的静电重新分配,这对敏感组件或装置会造成损坏。3.4静电(ESD)防护安全距离:为能使容易受静电破坏之产品.敏感组件得到有效安全的保护.设立1米(3尺)保护范围的安全距离。 3.5 ESD稽核员: 对静电防护的产品.工作区域.敏感组件等进行技术性之量测和处理之专业稽核检查人员。3.6特定工作人员:指正规受训过并考试合格之ESD稽核员和主管级以上干部。3.7自我检查: 表示工作区域内之全部人员每日上班前对自己工作区域内静 电防护检查。3.8保护接地: 将电气设备.装置不带电的金属部分与接地体(地壤直接接触 的导电金属体)之间作良好的金属连接。3. 9表面阻抗: 表示物体之表面部分与接
5、地线之间的绝缘电阻阻抗数值, 通常用奥姆()表示。3.10静电电压: 表示物体表面过剩或不足的静止电荷量.用电压伏(Voltage) 表示。3.11防静电屏蔽袋: 用防静电材料之包装袋进行成品或半成品包装(适用于客户要求)。3.12导体容器: 用于存放防静电成品,半成品之导电体容器。 3.13有线静电手环: 为防止人体接触敏感组件而造成静电破坏,佩带于手(脚) 6 8 上的防静电物品,并用一根导线连接接到大。.要求:手环上之电阻在 8.010 10范围内.佩带手环之紧度要接触皮肤为准. 静电手环又俗称“静电手腕”。 6 93.14静电手套: 为防止人手触摸敏感组件,使其上汗.油污并造成静电破坏
6、和 腐蚀,特佩带防静电的材料制作成的手套,并要求静电阻抗为10 10,范围内,静电电压为100伏特以下。3.15防静电周转箱: 为使容易受静电敏感之成品.半成品,存放于用防静电材 料制作的容器内,进行储存或运输.并要求用防静电材料制作之隔板进 行隔离。 3.16检定: 即用标准器对被量测之仪器进行比对.检定值是否超出误差范围。 3.17内校: 利用现有的可追溯到国家或国际之标准器,校正检定公司内之仪器。 3.18校正失效: 用标准器对厂内仪器进行量测比对,被量测之仪器示值超出 最大允许误差范围,则判定为校正不合格. 即为校正失效。3.19校验周期: 仪器设备视其使用频繁程度,规定其每年进行校验
7、检定次数。 即为校验周期。4.0权 责: 4.1仪校中心负责静电(ESD)控制技术指标.制订静电防护办法,以及工作之倡导。4.2品保单位.制造单位.SMT单位.实施静电防护工作.并每日进行自我检查,提报不良状况。4.3资材部实施静电保护工作.并对敏感之组件和成品.半成品妥善之保存和防护。4.4 生技课ESD工程师负责对全厂内静电防护单位和个人进行ESD技术性之控制.量测.稽核和处理改善。 5.0 程序内容: 5.1 静电(ESD)防护流程图 新进员工特定工作人员 ESD训练合格静电防护区域工作或接触敏感组件(进入)ESD技术量测和监督 隔离. 改善静电电压超过100V 稽核小组 静电防护单位静
8、电控制和自我检查 编写受训教材 考试不合格 5.2 作业说明:5.2.1 训练: 5.2.1.1对新进员工,必须进行静电防护(ESD)之教育训练.受训时间不低 于4小时。 5.2.1.2无受过静电防护(ESD)训练培训者,不可上线静电防护区域或接触敏感组件。5.2.1.3特定人员.静电防护组织成员,稽核小组必须定期受训。5.2.1.4稽核小组组长拟订教育训练计划表(附件一)并根据计划 表对全厂员工受训,受训时必须作出教育训练记录。 5.2.1.5受训过静电防护的人员,必须有静电防护识别标示(如下图一所 示),分期对人员进行受训。静电防护受训合格后上岗识别标示 (图一)5.2.1.6受训后人员必
9、须进行考试,及格为80分。考试题目如(附件二)(附 件三)所示。 5.2.1.7受训课程必须包含以下内容: 受训内容 受训时间 受训人数 (不得超过)静电之概念 产生物理过程 1 H30静电之来源.对半导体组件的不良影响.0.5H30静电防护区域之化分及防护措施 0.5 H30保护静电之包装.运输.储存 0.5H30静电防护的识别标示. 0.5H30ESD管理小组及工作职掌 0.5H30自我检查的流程内容及实施 0.5H30 5.2.2 静电控制区域:凡对敏感组件会造成伤害之区域必须用班玛带标贴 静电(ESD防护安全距离 如下图(二)所示。只能在其范围内组装和装置。有效距离为1米 (3尺)内。
10、 (图二)5.2.3静电防护在其控制作业中,每周指派专人进行技术量测和稽核,并记录于【ESD稽核检查记录周报表】(PHG-Q4-PE39)内。 5.2.4 每年必须对外包厂进行之评鉴一次以上,记录于【外包厂ESD 评监报告】(PHG-Q4-PE42)内,对不良状况提出改善意见和对策,并定期进行追踪处理结果,记录于【ESD异常处理对策单】(PHG-Q4-PE43)内。 5.2.5 矫正措施: 当静电电压超过100V时,并对其进行隔离,分析不良原因,加 以改善,必须有ESD稽核员。ESD工程师和ESD主任3人以上人员进行确认并记录于【ESD异常处理对策单】内。5.2.6 紧急事故处理: 当在静电防
11、护区域作业时,发生意外事故时,应先考虑是否对 人身安全有危害,并立即采取措施解决.尔后,再考虑解决是否对静 电防护有破坏,并加以改善。5.2.7 对外包厂商静电防护要求: 外包厂商与公司有直接的业务来往,为了质量的提升,为降低不良的发生,对其也要作静电防护的要求:5.2.7.1 生产工艺: 在生产制程过程中,须作静电防护。 5.2.7.2 包装:对静电有敏感之组件(如:IC.晶体等)必须防静电胶带包装。 5.2.7.3 运输: 必须把完成品存放于防静电屏蔽袋内而运输,并标明静电防护标示。如下(图三)所示。 (图三)5.2.8 ESD管理组职: (附件三). 5.2.8.1 稽核组织成员: 必须受过ESD正规的教育训练,是厂内ESD的技术顾问,对 静电防护进行技术的量测。检验和管理,并制订受训计划和进行倡导, 稽核组织成员工作职掌如(附件四)所
