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1、視窗版自動化鍍膜製程系統操作手冊 使用單位：PreOptix 編寫單位：永韶科技有限公司版權所有：永韶科技有限公司 翻印必究 編寫時間：2009 01/13版 本：3.0 視窗版自動化鍍膜製程系統目錄1.如何進入自動化鍍膜製程系統2.製程系統架構 2.1 檔案 2.2 硬體設定 2.2 功能測試 2.3 製程分析 2.4 製程監控 2.5 線上量測 2.6 其他功能 3.鍍後檢視系統架構 3.1 3.2 3.3 3.4 3.5 3.6 4.系統概要 4.1 系統特色 4.2 監控系統簡要1. 如何進入自動化鍍膜製程系統:1.1 開啟電腦進入視窗(Windows)作業系統後,點選桌面捷徑(須注意
2、開啟路徑是否正確)即可開啟畫面如下圖:注意：1) 中間顯示圖框會出現兩次，第一次顯示，提示所載入之製程檔(*.tfc)，一般是上次最後一次進入之製程檔，提供操作者判斷所選擇之製程檔是否正確，不正確就需重選。2) 按下 OK 會出現另一個提示圖框，顯示是否正確載入製程分析檔(*.mit) ，若顯示無法讀取此檔資料，即可能上次新建立之製程檔時，沒有正確的分析及存檔，必需重新分析存檔，如此才能進入蒸著程序。3) 再按下 OK 即可呈現下面圖示，此圖示即為此製程執行檔之主畫面。 1.2 Auto1 執行檔若出現問題，無法正常關閉時，請使用 Windows 之工作管理員將auto1.exe 關閉，再開啟
3、 Auto1 即可。 2.系統架構:此系統主要功能分為下列七大項，將逐項說明。2.1 檔案 建立新製程檔、開啟已存製程檔、存檔及另存新檔2.2 硬體設定 電腦與硬體之連線設定如 PLC，真空計，石英振盪等2.3 功能測試 細部製程相關硬體測試2.4 製程分析 製程檔案編輯、材料檔編輯及膜層分析2.5 製程監控 自動蒸著、補層蒸著、製程相關資料檔編輯及各顯示畫面2.6 線上量測 可將廣波域當光譜儀量測,暗電流校正及重新取光2.7 其他功能 計算nk值及膜厚微調 PS: 1)主功能或次功能出現反白時，表示此功能在此系統不提供或在此狀況下無法作動。 2)主功能下方有訊息提示欄，顯示動作訊息，有助對系
4、統動作的掌握與除錯。2.1 檔案功能 此主下拉功能細分下列幾項次功能 2.1.1 新製程檔 2.1.2 開啟製程 2.1.3 存檔 2.1.4 另存新檔 2.1.5 英文顯示 2.1.6 中文顯示 2.1.7 離開 2.1.1 新製程檔：游標移至檔案，按下滑鼠左鍵，即呈現如上圖之畫面，選擇”新製程檔”,即可進入新製程檔設定畫面,如圖2.1-01，按一下”顯示資料”即呈現如圖2.1-02，在此畫面下即可進行編輯。圖2.1-01圖2.1-02PS: 1)新製程檔名內定為 NomeName.tfc，以前一次所開啓之檔案為樣板，建議另存新檔、更名後再進行編輯。 2)如何編輯製程檔資料，詳細見後。2.1
5、.2 開啟製程： 將游標移至”檔案”開啟製程”點選,即可出現如圖2.1-03之畫面。在此畫面下即可點選之前已存舊檔案，開啟舊檔後便可進行編輯(副檔名為*.tfc)。圖2.1-032.1.3 存檔： 將游標移至”檔案”存檔”點選,即可進行檔案儲存,需注意檔案存檔路徑以及檔名，如下圖2.1-04、圖2.1-05。必須密碼正確才允許存檔。圖2.1-04圖2.1-052.1.4 另存新檔： 將游標移至”檔案”另存新檔”點選,即可出現如圖2.1-06之畫面，在檔案名稱位置上輸入所要儲存之名稱(不需輸入副檔名，系統會自動添加)，再按存檔鈕即可存檔。圖2.1-062.1.5 英文顯示: 可將系統顯示切換為英
6、文顯示，如圖2.1-07圖2.1-072.1.6 中文顯示 可將系統顯示切換為中文顯示2.1.7 離開: 點選”檔案” ”離開”,即可關閉此系統。2.2 硬體設定功能此主下拉功能細分下列幾項次功能 2.2.1 主控 PLC 介面 2.2.2 真空計介面 2.2.3 石英振盪器介面 2.2.4 膜厚監控器介面 2.2.5 離子鎗流量控制器介面 2.2.6 離子鎗陰極控制器介面 2.2.7 離子鎗陽極控制器介面 2.2.8 D/A Channel 設定 電腦與各項硬體連線設定如圖2.2-01 ,每項皆有內定值。系統中若有某些功能項反白，表示此系統沒有此項硬體設備。 圖2.2-01要點說明：1) 硬
7、體設定功能是電腦監控系統與被控制設備之間訊號傳輸設定， 其設定與硬體連接線有密切的一對一關係。 2) 在此系統中，硬體設定介面有下列幾項：1.RS232 或 RS485 傳輸介面，其傳輸埠位置是以 COM 命名，如PLC RS232 連接線插在 PC COM1 上，其PLC 傳輸設定埠就需選擇 COM1 的位置，以此類推，如石英振盪器介面、真空計介面、離子鎗控制器介面也是如此。2.膜厚控制器介面，一般指的是光學膜厚監視器3.D/A Channel 設定，系統中之類比訊號控制通道，也是一對一關係。3) 進入此項次功能，必須有通關密碼，如圖2.1-04*此項功能深具破壞性，非製程維修專業人員請勿設
8、定*2.2.1 主控 PLC 介面： 將游標移至”硬體設定功能”主控 PLC 介面”點選,即出現通關密碼畫面，如圖2.1-04；若輸入正確密碼，即可出現如圖2.2-01之畫面，在此功能設定上，需設定二個參數-PLC型式、PLC傳輸埠。說明如下:1) 下拉列表點選 PLC 型式，若無需此項功能或欲關閉此功能，則須點選”NONE”。2) 在傳輸埠列項中，點選與硬體相對應的傳輸埠設定3) 若確定無誤，需點按”確定”按鈕才能有效設定與離開，若無法確認或只是查看請按 ”取消”離開。4) 點按”內定值”可查看原始設定，只要不按”確認”就不會儲存。圖2.2-012.2.2 其他傳輸埠介面： 其他硬體如真空計
9、、石英振盪器、離子鎗流量控制器、離子鎗陰極控制器或離子鎗陽極控制器，若是透過 RS232 或 RS485 傳輸埠控制，其硬體設定如同 PLC 介面設定一般。2.2.3 膜厚監控器介面： 將游標移至”硬體設定功能”膜厚監控器介面”點選,即出現通關密碼畫面，如圖2.1-04；若輸入正確密碼，即可出現如圖2.2-02之畫面。說明如下:1) 下拉列表點選膜厚監控器，若無需此項功能或欲關閉此功能，則須點選”NONE”。2) 若確定無誤，需點按”確定”按鈕才能有效設定與離開，若無法確認或只是查看請按 ”取消”離開。3) 點按”內定值”可查看原始設定，只要不按”確認”就不會儲存。 圖2.2-02 2.2.4
10、 D/A Channel 設定： 將游標移至”硬體設定功能” D/A Channel 設定”點選,即出現通關密碼畫面，如圖2.1-04；若輸入正確密碼，即可出現如圖2.2-03之畫面。說明如下:1) 系統中若需透過 D/A(數位轉類比)卡之類比通道(Channel)控制之功能，必需由此畫面來選擇設定。2) 每一功能項對應唯一通道編碼。3) 不同型態的鍍膜機，其透過 D/A 輸出的功能可能有所不同，顯示的畫面可能有別於圖2.2-03。4) 一般情況下，若各功能輸出控制沒問題，請勿任意更改通道設定，否則會產生誤動作，輕者製程不良，重者機械受損5) 若某一功能輸出有誤(一般是有設定，無輸出或全輸出)
11、 ，可在功能測試的相關位置設定一個值，然後在相對應的硬體通道，利用三用電表量一量輸出。若是輸出正常，表示DA 通道無誤，可能是後端接線有誤或後端設備有問題；若輸出不正常，表示此通道受損，就必須更換到其他未用之通道，記得軟體設定也必須更替到相關通道編碼，如此才能正常工作。若通道用完，無通道可換，就需送修。6) 若同時有數個通道有誤，有可能卡沒插好或翹起，可試著打開電腦重新安裝(注意:務必關閉電腦電源) ，若幾次尚不能解決，此卡就需考慮送修。7) 若確定無誤，需點按”OK”按鈕才能有效設定與離開，若無法確認或只是查看請按 ”Cancel”離開。圖2.2-03 * PIO D/A(ISO D/A)
12、其通道編碼與硬體接腳定義如下：D-TYPE 37 PIN: PIN: 1-CH00 6-CH04 11-CH08 16-CH12 2-CH01 7-CH05 12-CH09 17-CH13 3-CH02 8-CH06 13-CH10 18-CH14 4-CH03 9-CH07 14-CH11 19-CH15 5-Com(GD) 10-Com(GD) 15-Com(GD) 20-Com(GD)2.3 功能測試此主下拉功能細分下列幾項次功能 2.3.1 氧流量控制測試 2.3.2 真空計功能測試 2.3.3 石英監控測試 2.3.4 PLC相關功能測試 2.3.5 廣波域介面功能測試 2.3.6
13、離子鎗相關功能測試 圖2.3-01 各項系統硬體功能測試如圖2.3-01所示 ,點選其中一項就可進入相對應之測試畫面，進而進行所需之功能測試。系統中，若有某些功能項反白，表示系統沒有此項硬體功能測試。如此做，方便使用者進行硬體功能除錯，提高系統維護之效益。 2.3.1 氧流量控制測試圖2.3-02 將游標移至”功能測試”氧流量控制測試”點選,即出現如圖2.3-02之畫面。說明如下:1) 若腔體氧流量控制(APC)是由 PLC D/A模組輸出控制，而不是經由獨立 D/A卡輸出控制，則此測試功能反白無效，將此測試功能併入 PLC相關功能測試中。2) 其測試相當簡單，在設定框輸入所想輸出之流量，再點擊”輸出”按鈕即可。3) 若無法正常作動，其檢查步驟如下:1.D/A卡或D/A模組輸出是否正常，2.連接線是否脫落或斷離，3.流量控制器(MFC)是否正常。4) 測試前，務必打開氧氣瓶、流量閥、電磁閥，以免誤判5) “歸零”按下則流
