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1、装订线毕业设计（论文）报告纸毕 业 论 文课题名称真空吸附转移系统的使用与维护院/专 业 机械工程系/机电一体化班 级 机 电*学 号 *学生姓名 *指导教师：*2010 年 5 月 25 日真空吸附转移系统的应用与维护机 电0721 *摘要在现代的工业生产过程中，真空吸附技术得到了大量的运用，而我国也在这个领域得到了长足的发展。 真空吸附转移系统主要包括真空获得装置、转移机构以及真空系统部分。对真空吸附系统的维护也是生产过程中的重要组成部分。真空吸附系统的维护，由定期维护与日常维护组成。为了在维护的过程尽量的解决问题，对真空吸附系统应有充足的了解，而本课题则是主要介绍了典型的真空吸附转移系统
2、的工作原理、工艺流程、真空的获取以及维修维护的主要方向以及办法，应此本课题的研究具有重要的现实意义。关键词：真空泵；转移机构；维护AbstractIn the modern industrial production process, the vacuum transfer technology obtained the massive utilization, but our country also obtained the considerable development in this domain. The vacuum transfer technology mainly incl
3、udes the vacuum system, the transfer system as well as the machine part. Therefore to the vacuum transfer system maintenance also is in the production process important constituent. The vacuum transfer system maintenance is composed by the maintenance routine and the routine maintenance. In order to
4、 as far as possible solves the problem in the maintenance process, should have the sufficient understanding to the vacuum transfer system, but this topic was mainly introduced the model vacuum transfer system ,transfer system ,as well as the service maintenance main direction as well as the means, s
5、hould this topic research have the vital practical significance.Key words: Vacuum pump；Transfer system；Maintenance目录第1章 概述51.1 真空技术在工业领域的应用51.1.1真空技术与冶金工业51.1.2 真空技术与电子工业51.1.3真空技术与机械制造61.2对我国真空吸附技术及其产业发展的基本估计71.3对我国真空吸附技术和产业化发展的战略思考81.3.1 战略考虑81.3.2 发展策略8第2章 常见真空获得方式的介绍92.1真空泵的机械原理及应用92.1.1 真空泵在生产中
6、的应用92.1.2 真空泵的机械原理92.2 真空泵的机械分类102.2.1粗真空系列112.2.2高真空系列122.3真空泵的使用原则14第3章 真空吸附转移系统工作过程分析、主要机构介绍及工作原理163.1真空系统的组成163.2.转移机构的组成183.3 工作过程分析203.3.1转移机构的结构203.3.2真空吸附转移在流水线中的应用22第4章 真空吸附转移系统常见故障及处理方法234.1真空吸附转移系统常见故障234.2在实际生产中的常见故障及处理方法23第5章 真空系统的正确使用和维护255.1 正确使用油保持真空系统的清洁255.2 真空泵换油方法255.3加强真空系统的日常维护
7、和保养26第6章 总结28答谢词29参考资料：30第1章 概述1.1 真空技术在工业领域的应用真空吸附技术的应用不但给传统制造业带来了革命性的变化，使制造业成为工业化的象征，而且随着真空吸附技术的不断发展和应用领域的扩大，他对一些重要行业（冶金工业、机械制造、电子工业等）的发展起着越来越重要的作用，因为在这些行业中，真空技术起到举足轻重的作用。从目前世界上真空技术及其应用领域发展的趋势来看，其主要研究热点有以下几个方面。1.1.1真空技术与冶金工业 钢液真空处理是真空冶金的一个重要方面，它是把平炉、转炉或电炉在大气下熔炼的钢液以不同的方式置于真空环境之中，使其脱气，排出有害杂质以及进行合金化的
8、过程。目前这种装置在世界各国已经成为现代化钢铁企业最基本的组成部分。例如美国、西德、日本、苏联等国其轴承钢、电工用钢和优质大型锻件都100%进行真空脱气处理，并以此作为国家标准。随着现代科学技术的发展特别是航空航天技术及军工生产对于金属材料技术的不断提高，更是离不开真空技术。真空冶炼是真空冶金的重要分支，它能精确的控制产品的化学成分、提高产品的纯洁度以及改善产品的铸态组织。真空感应熔炼是一种成熟的真空熔炼方法，主要用来生产供二次真空用自耗电极和精密制造零件，大型真空感应炉也用来生产优质特殊钢垫。冷坩埚熔炼又称感应壳熔炼，其特点在于避免了未用耐火材料坩埚带来的污染，因而可无污染地熔炼活泼金属及难
9、溶金属。真空电弧重熔是一种成熟的真空重熔技术，主要用于生产钛基、镍基及钴基等活泼金属及钨、钼等难熔金属，大型炉子也用来重熔特殊钢。随着空间技术、半导体工业的迅速发展，电子束重熔也有很大的进展，熔炼范围业已从难熔金属扩展到半导体材料和一些具有特殊用途的钢种熔炼。1.1.2 真空技术与电子工业随着微电子技术的发展，电子元器件、电路的尺寸越来越小，集成度越来越高，促使真空技术与微电子技术关系更为密切，并成为一门不可缺少的技术。据报道，日本真空厂商的销售额中2/3是面向电子工业，其中有一半是面向集成电路，在近代集成电路制造的工艺中，有一半的工艺是在真空的环境下进行的，而当今的超大规模集成电路大约有3/
10、4的工序需要在真空的条件下进行。超大规模集成电路关键技术之一就是微细加工技术，其几何图形结构的形成是用个电子束曝光、X射线曝光、远紫外线曝光和离子束曝光等技术，为了得到亚微米线宽，必须采用干法刻蚀技术，包括离子束刻蚀、等离子刻蚀、反应离子刻蚀及反应等离子刻蚀。超薄层生长技术则包括蒸发、溅射、化学气相沉积（CVD），等离子体（CVD）、有机金属（CVD）、分子束外延等。为了精确的控制掺杂，这里又用到了离子束注入技术。上述这些工艺装置一般具有两个特点：一是装置的自动化程度比较高；二是需要有高质量的真空环境。至于检测和诊断方面所用到的高能电子衍射和低能电子衍射、间歇电子能谱仪、二次离子谱仪也都要求在
11、超高真空环境下工作。1.1.3真空技术与机械制造1. 真空热处理真空热处理是真空技术与热处理工艺相结合的产物，由于它具有不易氧化、不易脱碳、表面光滑、变形量小、无污染和节能等优点，因而发展十分迅速。真空热处理不仅用于处理活泼难熔金属，而且在高速钢、工具钢、模具钢、轴承钢、耐热钢等淬火、回火、固熔处理和退火方面均有广泛的用途。例如工具钢用真空淬火，其变形量盐浴淬火工具的1/31/5。用真空淬火的工具来加工工件，其表面粗糙度优于盐浴淬火工具12级，工具使用寿命可提高34倍。2. 真空钎焊真空钎焊主要用于铝及其合金、高温合金、难熔金属、硬质合金、陶瓷等可焊性差的材料的连接。例如气体分离设备、石油化工
12、设备中的枚式换热器，它全部由铝合金材料制成，具有体积小、重量轻、效率高、结构紧凑、耐用等优点。每立方米体积的枚式换热面积1000平方米以上，与绕管式和列管式换热器相比，其体积与重量仅占1/4左右，未用真空无钎剂铝钎焊与过去盐炉钎焊相比，产品质量好、成本低、生产周期短、无腐蚀、焊后不用清洗，而且省电75%80%。由于真空铝钎焊工艺的成熟和发展，目前国外汽车和飞机所使用的热交换器，大都已采用这种先进的工艺。3. 真空涂层刀具近十年来，利用物理气相沉淀（PVD），在高速钢刀具上镀Tin十分盛行，被称之为“刀具革命”。刀具离子镀的方法很多，其中发展较快的就是电弧离子镀，他就是采用电弧放电的方法在固体的
13、阴极靶材上直接蒸发金属。被蒸发的钛靶接阴极，真空室为阳极，当触发电机与阴极靶突然脱离时，于是就引起电弧，在阴极表面产生强烈发光的阴极斑点，于是在这斑点内的材料就瞬时蒸发并电离电弧离子镀的主要优点是沉寂速度高、无沉池、阴极靶可根据工件形状在任意方向布置，使夹具大为简化。1.2对我国真空吸附技术及其产业发展的基本估计究竟什么是真空系统?用一句话来概括，就是：用来获得有特定要求的真空度的抽气系统。真空系统设计的基本内容：是根据被抽容器对真空度的要求，选择适当的真空系统设计方案，进行选、配泵计算；确定导管、阀门、捕集器、真空测量元件等，进行合理配置，最后划出真空系统装配图和零部件图。真空吸附我们这里一
14、般叫真空成型：指在成型模具的上模或下模开出抽真空的细孔，利用真空产生的压力使皮面与模具更紧密地贴合，从而使产品的外观更符合设计要求的成型方法。如果PP泡沫层有胶面那么就需要加热本体，如果PP泡沫层没有涂布胶面，在成型前还需要在本体预粘接面上喷涂粘接剂。应注意的要点：1使用真空成型时，由于空气压力和材料强度的原因，细小的圆弧是很难成型的，皮面的花纹一般也会选择大一些的花纹，选择细密的花纹可是会让你大伤脑筋哦。 2由于空气压力分布的不均匀性，产品局部的剥离强度是不一样的，在耐寒耐热试验和实际使用中也许会发生脱胶剥离现象。 3. 由于易发生漏气现象，所以真空模具在制造时，模具边缘处，重点尺寸要求部位
15、的气孔排布要好好考虑，同时成型后如果工序允许，应添加手工修整人员，可以极大的提高产品品质。4使用真空成型工艺，所用本体的高度变化较小时成型效果最好，高度尺寸变化较大的部位易成型失败，所以主要应用在面板类的表面成型。再说说进行真空成型和超音波焊接的工序排列问题，使用真空成型时，对产品的摆放位置要求是很严格的，如果先使用超音波焊接再真空成型，可能会产生较多次品，毕竟使用超音波焊接对尺寸公差的要求要宽松很多，在不能保证尺寸精度的情况下进行真空成型是不现实的；同时超音波焊接设备相对于真空成型设备要简单的多，占地也小，产品完成表皮成型并初步外观检测通过后再进入下一道工序也比较经济，可以避免人工和设备资源的浪费。此外，从模具制造角度考虑，外形越简单模具芯的制造成本越低，焊接导轨后产品外形变得很复杂，模具造价也会上升，如果还
