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扩散新工艺实验,2015.5.18,实验背景： 优化工艺，提升效率。,Recipe更改：,调整思路：降低总磷源流量，降低表面浓度，并且配合利用氧气增强扩散思路，提高开压和电流。,扩散工艺优化实验,1.1 小试实验结果,采用新工艺姊妹片验证，开压，电流有提升，效率较产线有0.022%的提升。,扩散工艺优化实验,新工艺推广后，std和和产线差异不大（增加0.12%），方阻平均值为97ohm/sq，返工和产线差异不大。,扩散工艺优化实验,1.1扩散工艺中试实验结果,扩散std变化趋势,备注：5.13号晚班开始在一二大线推广。,推广后，效率较产线同期提升0.01%。,扩散工艺优化实验,下一步计划：新工艺对产线STD，刻蚀方阻上升及RS影响不大，建议全线推广，方阻管控91-103ohm/sq，平均值管控在97ohm/sq。,
