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1、资料收集资料收集 1 Viasystems Kalxe Circuit Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑版广州有限公司 非工程技术人员培训教材非工程技术人员培训教材 导师导师宋朝阳宋朝阳 Chao yang.song 资料收集资料收集 2 Viasystems Kalxe Circuit Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑版广州有限公司 内层制作工艺流程内层制作工艺流程 Inner Board Cutting 内层开料 Resists Lamination /Roller Coating 辘干膜/辘感光油 Chemical Clean 化学清洗
2、 Baking 焗板焗板 Inner Middle Inspection 内层中检 PE Punching 啤孔啤孔 Exposure 曝光 DES 显影/蚀板 Inner Oxide 内层氧化 黑氧化/棕化 Laying- Up 排板 Pressing 压板 资料收集资料收集 3 Viasystems Kalxe Circuit Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑版广州有限公司 内层开料内层开料 ?内层开料内层开料 ? 按按MI要求将大料切成所需的尺寸要求将大料切成所需的尺寸 ? 大料常用规格大料常用规格48X36, 48X40和和 48X42 资料收集资料收集 4
3、Viasystems Kalxe Circuit Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑版广州有限公司 内层开料内层开料 ?焗板焗板 ?目的目的:去除水分去除水分稳定板尺寸稳定板尺寸 ?温度温度150时间时间5 hrs 资料收集资料收集 5 Viasystems Kalxe Circuit Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑版广州有限公司 内层前处理内层前处理 ? 内层前处理内层前处理化学清洗化学清洗/机械磨板机械磨板 ?目的目的 1) 去除铜表面的油污指印及其它有机污物 2) 粗化铜表面增大干膜与铜面的接触面积增加粘 附性能 资料收集资料收集 6
4、Viasystems Kalxe Circuit Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑版广州有限公司 内层图形转移内层图形转移 ?内层图形转移内层图形转移 ? 目的目的 将照相底片上将照相底片上菲林菲林的电路图像转移到基材铜 箔面上 的电路图像转移到基材铜 箔面上形成一种抗蚀或抗电镀覆膜图像形成一种抗蚀或抗电镀覆膜图像 辘干膜 辘感光油 辘干膜 辘感光油 曝光曝光显影显影 停放15分钟停放15分钟停放15分钟停放15分钟 资料收集资料收集 7 Viasystems Kalxe Circuit Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑版广州有限公司 内层蚀
5、刻内层蚀刻 ?内层蚀刻内层蚀刻DES ?工作原理工作原理 图形转移后图形转移后那些未被抗蚀剂那些未被抗蚀剂例如如干膜例如如干膜/感光油感光油 保护的不需要的铜箔保护的不需要的铜箔在随后的化学蚀刻工序中被去掉在随后的化学蚀刻工序中被去掉 然后在褪膜段去除抗蚀层然后在褪膜段去除抗蚀层便得到所需的电路图形便得到所需的电路图形 ?步骤一步骤一Developing(显影显影 ?步骤二步骤二Etching(蚀刻蚀刻 ?步骤三步骤三Stripping(褪膜褪膜 资料收集资料收集 8 Viasystems Kalxe Circuit Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑版广州有限公司 内
6、层中检内层中检 ?内层中检内层中检 ?AOI ?目视 备注备注AOI的工作原理及性能将在外层中检作详细讲解的工作原理及性能将在外层中检作详细讲解 资料收集资料收集 9 Viasystems Kalxe Circuit Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑版广州有限公司 内层内层AOI 资料收集资料收集 10 Viasystems Kalxe Circuit Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑版广州有限公司 内层AOI 资料收集资料收集 11 Viasystems Kalxe Circuit Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑
7、版广州有限公司 内层氧化内层氧化 ?内层氧化内层氧化黑化黑化/棕化棕化 ? 目的目的 对铜表面进行化学处理以进一步增加表面积 提高粘结力为压合工序作准备 ?排板排板/压板压板 将在下一节将在下一节压板压板课程作讲解课程作讲解 资料收集资料收集 12 Viasystems Kalxe Circuit Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑版广州有限公司 内层氧化生产线内层氧化生产线 资料收集资料收集 13 Viasystems Kalxe Circuit Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑版广州有限公司 内层棕化内层棕化 已完成棕化的板已完成棕化的板
8、资料收集资料收集 14 Viasystems Kalxe Circuit Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑版广州有限公司 常见问题常见问题/缺陷缺陷 氧化不均/粉红圈Inner Oxide 内层氧化 开路/短路Inner Etching 内层蚀刻 Main Defects主要缺陷主要缺陷Process 资料收集资料收集 15 Viasystems Kalxe Circuit Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑版广州有限公司 常见问题常见问题/缺陷缺陷-开路开路(Open) 资料收集资料收集 16 Viasystems Kalxe Circuit
9、 Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑版广州有限公司 常见问题常见问题/缺陷缺陷-短路短路(Short) short 资料收集资料收集 17 Viasystems Kalxe Circuit Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑版广州有限公司 常见问题常见问题/缺陷缺陷-粉红圈粉红圈 资料收集资料收集 18 Viasystems Kalxe Circuit Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑版广州有限公司 主要物料主要物料/设备设备 棕化线 黑化线 棕化药水 黑化药水 内层氧化 AOI/内层中检 DES 9033显影液 酸性蚀
10、刻液- PC2008/HCL NaOH褪膜液 内层蚀刻DES 化学清洗机 辘膜机 感光油机 曝光机 除油剂/微蚀剂 干膜 感光油 曝光底片 内层图形转移 设备名称设备名称主要物料名称主要物料名称工序工序 资料收集资料收集 19 Viasystems Kalxe Circuit Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑版广州有限公司 内层制作能力内层制作能力 1milAccuracy 精度 PE Punching 啤孔 1/3 OZ3OZBase Copper Foil 底铜 Inner Etching内层蚀刻 7mil 10mil Clearance4L) 内层开窗 Clea
11、rance(6L) 内层开窗 1.5milLayer to Layer Registration 层与层对位 3/3milMin Line Width/Spacing 最小线粗/线隙 Inner Image Transfer 内层图形转移 DataItemProcess 资料收集 20 Viasystems Kalxe Circuit Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑版广州有限公司 资料收集 联系邮址killmai OICQ号码13985548 资料收集 21 Viasystems Kalxe Circuit Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑
12、版广州有限公司 内层开料 基材-大料规格 资料收集 22 Viasystems Kalxe Circuit Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑版广州有限公司 内层开料 开料机器 资料收集 23 Viasystems Kalxe Circuit Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑版广州有限公司 内层开料 已完成开料的基材 资料收集 24 Viasystems Kalxe Circuit Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑版广州有限公司 内层开料 开料后洗板 资料收集 25 Viasystems Kalxe Circuit B
13、oard(GuangZhou)Limited 皆利士电脑版广州有限公司 内层开料 开料后进行焗板 资料收集 26 Viasystems Kalxe Circuit Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑版广州有限公司 内层前处理 化学清洗 资料收集 27 Viasystems Kalxe Circuit Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑版广州有限公司 内层图形转移 已完成内层辘干膜的芯板Core) 资料收集 28 Viasystems Kalxe Circuit Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑版广州有限公司 内层图形转移
14、 内层手动曝光机 资料收集 29 Viasystems Kalxe Circuit Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑版广州有限公司 内层图形转移 内层全自动对位曝光机 资料收集 30 Viasystems Kalxe Circuit Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑版广州有限公司 内层图形转移 已完成内层曝光的芯板(Core) 资料收集 31 Viasystems Kalxe Circuit Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑版广州有限公司 内层蚀刻DES DES生产 线 资料收集 32 Viasystems Kalx
15、e Circuit Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑版广州有限公司 内层蚀刻DES 步骤一已完成显影段的内层芯板(Core) 资料收集 33 Viasystems Kalxe Circuit Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑版广州有限公司 内层蚀刻DES 步骤二已完成蚀刻段的内层芯板Core) 资料收集 34 Viasystems Kalxe Circuit Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑版广州有限公司 内层蚀刻DES 步骤三已完成褪膜段的内层芯板Core) 资料收集 35 Viasystems Kalxe Circuit Board(GuangZhou)Limited 皆利士电脑版广州有限公司 内层蚀刻DES 已完成内层蚀刻的内层芯板Core)
