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1、 1 CMOS工艺流程与MOS电路版图举例 1 CMOS工艺流程1 简化N阱CMOS工艺演示flash2 清华工艺录像 N阱硅栅CMOS工艺流程3 双阱CMOS集成电路的工艺设计4 图解双阱硅栅CMOS制作流程2 典型N阱CMOS工艺的剖面图3 SimplifiedCMOSProcessFlow4 MOS电路版图举例 2 1 简化N阱CMOS工艺演示 3 氧化层生长 4 曝光 5 氧化层的刻蚀 光刻1 刻N阱掩膜版 6 N阱注入 光刻1 刻N阱掩膜版 7 形成N阱 8 氮化硅的刻蚀 N阱 9 场氧的生长 N阱 10 去除氮化硅 N阱 11 重新生长二氧化硅 栅氧 N阱 12 生长多晶硅 N阱
2、13 刻蚀多晶硅 N阱 14 刻蚀多晶硅 N阱 15 P 离子注入 N阱 16 N 离子注入 N阱 17 生长磷硅玻璃PSG N阱 18 光刻接触孔 N阱 19 刻铝 N阱 20 刻铝 N阱 21 N阱 22 2 清华工艺录像 N阱硅栅CMOS工艺流程 23 初始氧化 24 光刻1 刻N阱 25 N阱形成 N阱 26 Si3N4淀积 27 光刻2 刻有源区 场区硼离子注入 N阱 28 场氧1 N阱 29 光刻3 N阱 30 场氧2 N阱 31 栅氧化 开启电压调整 N阱 32 多晶硅淀积 N阱 33 光刻4 刻NMOS管硅栅 磷离子注入形成NMOS管 用光刻胶做掩蔽 34 光刻5 刻PMOS管
3、硅栅 硼离子注入及推进 形成PMOS管 用光刻胶做掩蔽 35 磷硅玻璃淀积 36 光刻6 刻孔 磷硅玻璃淀积回流 图中有误 没刻出孔 N阱 37 蒸铝 光刻7 刻铝 光刻8 刻钝化孔 图中展示的是刻铝后的图形 38 离子注入的应用 39 40 N阱硅栅CMOS工艺流程 41 形成N阱初始氧化 形成缓冲层 淀积氮化硅层光刻1 定义出N阱反应离子刻蚀氮化硅层N阱离子注入 先注磷31P 后注砷75As 3 双阱CMOS集成电路的工艺设计 42 形成P阱在N阱区生长厚氧化层 其它区域被氮化硅层保护而不会被氧化去掉光刻胶及氮化硅层P阱离子注入 注硼 N阱 Psub 100 43 推阱退火驱入 双阱深度约
4、1 8 m去掉N阱区的氧化层 N阱 P阱 44 形成场隔离区生长一层薄氧化层淀积一层氮化硅光刻2场隔离区 非隔离区被光刻胶保护起来反应离子刻蚀氮化硅场区硼离子注入以防止场开启热生长厚的场氧化层去掉氮化硅层 45 阈值电压调整注入光刻3 VTP调整注入光刻4 VTN调整注入 46 形成多晶硅栅 栅定义 生长栅氧化层淀积多晶硅光刻5 刻蚀多晶硅栅 N阱 P阱 47 形成硅化物淀积氧化层反应离子刻蚀氧化层 形成侧壁氧化层 spacer sidewall 淀积难熔金属Ti或Co等低温退火 形成C 47相的TiSi2或CoSi去掉氧化层上的没有发生化学反应的Ti或Co高温退火 形成低阻稳定的TiSi2或
5、CoSi2 48 形成N管源漏区光刻6 利用光刻胶将PMOS区保护起来离子注入磷或砷 形成N管源漏区形成P管源漏区光刻7 利用光刻胶将NMOS区保护起来离子注入硼 形成P管源漏区 49 形成接触孔化学气相淀积BPTEOS硼磷硅玻璃层退火和致密光刻8 接触孔版反应离子刻蚀磷硅玻璃 形成接触孔 50 形成第一层金属淀积金属钨 W 形成钨塞 51 形成第一层金属淀积金属层 如Al Si Al Si Cu合金等光刻9 第一层金属版 定义出连线图形反应离子刻蚀金属层 形成互连图形 52 形成穿通接触孔化学气相淀积PETEOS 等离子增强正硅酸四乙酯热分解PlasmaEnhancedTEOS tetrae
6、thylorthosilicate Si OC2H5 4 通过化学机械抛光进行平坦化光刻穿通接触孔版反应离子刻蚀绝缘层 形成穿通接触孔形成第二层金属淀积金属层 如Al Si Al Si Cu合金等光刻10 第二层金属版 定义出连线图形反应离子刻蚀 形成第二层金属互连图形 正硅酸乙脂 TEOS 分解650 750 53 合金形成钝化层在低温条件下 小于300 淀积氮化硅光刻11 钝化版刻蚀氮化硅 形成钝化图形测试 封装 完成集成电路的制造工艺CMOS集成电路采用 100 晶向的硅材料 54 4 图解双阱硅栅CMOS制作流程 55 首先进行表面清洗 去除wafer表面的保护层和杂质 三氧化二铝必须
7、以高速粒子撞击 并用化学溶液进行清洗 56 然后在表面氧化二氧化硅膜以减小后一步氮化硅对晶圆的表面应力 涂覆光阻 完整过程包括 甩胶 预烘 曝光 显影 后烘 腐蚀 去除光刻胶 其中二氧化硅以氧化形成 氮化硅LPCVD沉积形成 以氨 硅烷 乙硅烷反应生成 57 光刻技术去除不想要的部分 此步骤为定出P型阱区域 所谓光刻胶就是对光或电子束敏感且耐腐蚀能力强的材料 常用的光阻液有S1813 AZ5214等 光刻胶的去除可以用臭氧烧除也可用专用剥离液 氮化硅用180 的磷酸去除或含CF4气体的等离子刻蚀 RIE 58 在P阱区域植入硼 3 离子 因硅为 4价 所以形成空洞 呈正电荷状态 离子植入时与法
8、线成7度角 以防止发生沟道效应 即离子不与原子碰撞而直接打入 每次离子植入后必须进行退火处理 以恢复晶格的完整性 但高温也影响到已完成工序所形成的格局 59 LOCOS localoxidationofsilicon 选择性氧化 湿法氧化二氧化硅层 因以氮化硅为掩模会出现鸟嘴现象 影响尺寸的控制 二氧化硅层在向上生成的同时也向下移动 为膜厚的0 44倍 所以在去除二氧化硅层后 出现表面台阶现象 湿法氧化快于干法氧化 因OH基在硅中的扩散速度高于O2 硅膜越厚所需时间越长 60 去除氮化硅和表面二氧化硅层 露出N型阱区域 上述中曝光技术光罩与基片的距离分为接触式 接近式和投影式曝光三种 常用投影
9、式又分为等比和微缩式 曝光会有清晰度和分辩率 所以考虑到所用光线及波长 基片表面平坦度 套刻精度 膨胀系数等 61 离子植入磷离子 5 所以出现多余电子 呈现负电荷状态 电荷移动速度高于P型约0 25倍 以缓冲氢氟酸液去除二氧化硅层 62 在表面重新氧化生成二氧化硅层 LPCVD沉积氮化硅层 以光阻定出下一步的fieldoxide区域 63 在上述多晶硅层外围 氧化二氧化硅层以作为保护 涂布光阻 以便利用光刻技术进行下一步的工序 64 形成NMOS 以砷离子进行植入形成源漏极 此工序在约1000 中完成 不能采用铝栅极工艺 因铝不能耐高温 此工艺也称为自对准工艺 砷离子的植入也降低了多晶硅的电
10、阻率 块约为30欧姆 还采用在多晶硅上沉积高熔点金属材料的硅化物 MoSi2 WSi2 TiSi2等 形成多层结构 65 以类似的方法 形成PMOS 植入硼 3 离子 后序中的PSG或BPSG能很好的稳定能动钠离子 以保证MOS电压稳定 66 后序中的二氧化硅层皆是化学反应沉积而成 其中加入PH3形成PSG phospho silicate glass 加入B2H6形成BPSG boro phospho silicate glass 以平坦表面 所谓PECVD plasmaenhancedCVD 在普通CVD反应空间导入电浆 等离子 使气体活化以降低反应温度 67 68 光刻技术定出孔洞 以溅
11、射法或真空蒸发法 依次沉积钛 氮化钛 铝 氮化钛等多层金属 其中还会考虑到铝的表面氧化和氯化物的影响 由于铝硅固相反应 特别对浅的PN结难以形成漏电流 leakcurrent 小而稳定的接触 为此使用TiN等材料 以抑制铝硅界面反应 并有良好的欧姆 这种材料也称为势垒金属 barriermetal 69 RIE刻蚀出布线格局 以类似的方法沉积第二层金属 以二氧化硅绝缘层和介电层作为层间保护和平坦表面作用 70 为满足欧姆接触要求 布线工艺是在含有5 10 氢的氮气中 在400 500 温度下热处理15 30分钟 也称成形forming 以使铝和硅合金化 最后还要定出PAD接触窗 以便进行bon
12、ding工作 上述形成的薄膜厚度的计算可采用光学衍射 倾斜研磨 四探针法等方法测得 71 72 2 典型P阱CMOS工艺的剖面图 73 CMOSprocess p p p 74 Process Inverter p sub P diffusion N diffusion Polysilicon Metal Legendofeachlayer contact N well GND 低氧 场氧 p sub p 75 LayoutandCross SectionViewofInverter In 图例 76 Process fieldoxide fieldoxide fieldoxide 77 3
13、SimplifiedCMOSProcessFlow Createn wellandactiveregions Growgateoxide thinoxide Depositandpatternpoly siliconlayer Implantsourceanddrainregions substratecontacts Createcontactwindows depositandpatternmetallayers 78 N well ActiveRegion GateOxide CrossSection n well 79 Poly siliconLayer 80 N andP Regio
14、ns TopView Ohmiccontacts Cross Section 81 SiO2UponDevice ContactEtching TopView Cross Section 82 MetalLayer byMetalEvaporation TopView Cross Section 83 ACompleteCMOSInverter TopView Cross Section 84 SiO2 FET 85 Transistor Layout Diffusion 86 layers 87 ViaandContacts Diffusion Metal2 SiO2 SiO2 Polysi
15、licon Metal DiffContact Metal PolyContact SiO2 Via Metal1 88 InverterExample Metal nDiffContact Metal PolyContact Via VDD GND VDD Metal2 Metal1 Metal nDiffContact GND 89 4 MOS电路版图举例 1 铝栅CMOS电路版图设计规则2 铝栅 硅栅MOS器件的版图3 铝栅工艺CMOS版图举例4 硅栅工艺MOS电路版图举例5 P阱硅栅单层铝布线CMOS集成电路的工艺过程6 CMOSIC版图设计技巧7 CMOS反相器版图流程 90 1 铝
16、栅CMOS电路版图设计规则 91 该图的说明a沟道长度3 bGS GD覆盖 cp n 最小宽度3 dp n 最小间距3 ep阱与n 区间距2 f孔距扩散区最小间距2 gAl覆盖孔 孔2 3 或3 3 hAl栅跨越p 环 iAl最小宽度4 jAl最小间距3 p Al 1 n 92 2 铝栅 硅栅MOS器件的版图 硅栅MOS器件 铝栅MOS器件 93 Source Drain Photomask darkfield ClearGlass Chromium CrossSection 铝栅MOS工艺掩膜版的说明 94 Gate Photomask darkfield ClearGlass Chromium CrossSection 95 Contacts Photomask darkfield ClearGlass Chromium CrossSection 96 MetalInterconnects Photomask lightfield Chromium ClearGlass CrossSection 97 硅栅硅栅MOS器件工艺的流程Process 1 刻有源区 正胶 98 Proce
