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1、日立S 3400N扫描电镜应用培训扫描电镜原理及操作 P 2 内容提要 一 日立S 3400N扫描电镜的工作原理二 日立S 3400N扫描电镜的操作基础 包括操作界面功能讲解 电镜基本操作 三 日立S 3400N扫描电镜的参数条件设定 P 3 1日立S 3400N电镜的工作原理 电子枪 样品仓 物镜可动光阑 显示器 轨迹球 旋钮板 P 4 光学显微镜和电子显微镜的区别 1日立S 3400N电镜的工作原理 P 5 各种显微镜的比较 1日立S 3400N电镜的工作原理 P 6 1日立S 3400N电镜的工作原理 钨灯丝 第二聚光镜 第一聚光镜 物镜可动光阑 物镜 P 7 1日立S 3400N电镜的
2、工作原理 P 8 电子光学光路图 1日立S 3400N电镜的工作原理 P 9 聚光镜磁场越强 缩小倍数越大 使dB越小 最终束斑尺寸也变小 分辨率越高 这时probecurrent变小 图像信噪比变差 大probecurrent 小probecurrent 1日立S 3400N电镜的工作原理 P 10 入射电子束与样品相互作用而激发出来的各种信号 1日立S 3400N电镜的工作原理 二次电子 SE 特性 1 能量低 50eV 易受荷电现象影响2 二次电子产额 对原子序数不敏感3 样品倾角越大 二次电子产额越高 观察形貌像4 取样深度浅 10nm 观察表面细微结构5 二次电子产额与加速电压关系合
3、适的加速电压 能避免荷电现象发生 P 11 1日立S 3400N电镜的工作原理 P 12 1日立S 3400N电镜的工作原理 背散射电子 BSE 特性 1 能量分布宽 50eV E0 对荷电不敏感2 原子序数越大 背散射电子产额越大 观察成分像3 样品倾角越大 背散射电子产额越大观察形貌像4 取样深度较深反映内部信息 加速电压越高 原子序数越小 取样深度就越深 P 13 放大倍数的计算方法 1日立S 3400N电镜的工作原理 P 14 1日立S 3400N电镜的工作原理 提高放大倍数时 观察的样品面积减小 当相邻的束斑相互重叠时 图像发生模糊 有效放大倍数 景深 P 15 1日立S 3400N
4、电镜的工作原理 景深 减小放大倍数M 可以增大景深 减小物镜光阑和增大WD值 可以减小 值 即可以增大景深 电子束孔径角 低电压优势 增强表面细节形貌减少或消除荷电效应减少电子束辐照损伤 P 16 1日立S 3400N电镜的工作原理 低电压成像 P 17 1日立S 3400N电镜的工作原理 低电压成像优势 当加速电压低到某一值时 样品可以发射更多的二次电子 这样能减少或消除荷电效应 P 18 低真空条件观察 1 低真空的优势可以直接观察不导电材料和动植物样品样品制备简单 不必固定 脱水 镀膜等过程 适合观察放气样品 多孔材料 2 低真空的图像类型低真空背散射电子像 1日立S 3400N电镜的工
5、作原理 P 19 低真空消除荷电原理 1日立S 3400N电镜的工作原理 20 样品 纸张加速电压 15kV压力 5 20Pa 5Pa 10Pa 20Pa 消除荷电 空气浓度 P 21 2日立S 3400N电镜的操作基础 测量样品高度 P 22 2日立S 3400N电镜的操作基础 发射电流1灯丝与栅极的距离2栅极偏压 灯丝 加热 电流灯丝发射温度灯丝饱和点 栅极偏压 P 23 1 更换灯丝后 将参数设置如下 加速电压设为5 0KV ProbeCurrent设为80 物镜可动光阑设为0 工作距离设为10mm 放大倍数200倍左右 2 选择高 中或低饱和点 点击AFS按钮自动设置饱和点 点击工具栏
6、上的 Align 按钮 出现 Alignment 对话框 依次选中 BeamAlign Tilt 和 BeamAlign shift 点击Reset复位键 电子束校正 3 依次选中BeamAlign Tilt和BeamAlign Shift 调节X和Y旋钮使得图像最亮 或者点击Auto按钮 2日立S 3400N电镜的操作基础 P 24 1 将 Alignment 对话框的 ApertureAlign 项Reset 2 在低放大倍数下分别调整X和Y旋钮使得图像最亮 物镜可动光阑的机械对中 2日立S 3400N电镜的操作基础 在物镜活动光阑电对中完成后 如果十字交叉线偏离中心过远 应该进行机械对中
7、然后再重新进行电对中 P 25 物镜活动光阑的电对中 选择合适的光阑孔径 1号孔150 m 2号孔80 m 3号孔50 m 4号孔30 m 和电镜参数 Vacc ProbeCurrent WD 1 设置放大倍数为1000倍至5000倍 2 找到样品上一个突出颗粒在图像中间 3 使用旋钮板的旋钮来聚焦 消相散 4 选中ApertureAlign 调整X Y使得图像晃动最小 5 设置放大倍数为5000倍以上进行细调 ApertureAlign 如果没调整好 聚焦时图像将会移动 2日立S 3400N电镜的操作基础 P 26 相散对中X Y校正 选择合适的电镜参数后1 设置放大倍数为1000倍至500
8、0倍 2 找到样品上一个突出颗粒在图像中间 3 选中StigmaAlign X 调整X Y使得图像晃动最小 4 选中StigmaAlign Y 调整X Y使得图像晃动最小 StigmaAlign 如果没调整好 消相散时图像将会移动 2日立S 3400N电镜的操作基础 P 27 自动聚焦功能 AFC 校正 选择合适的电镜参数1 设置放大倍数为1000倍至5000倍 2 找到样品上一个突出颗粒在图像中间 3 对图像进行聚焦和消相散 4 选中AFCAlign 调整X Y使得图像晃动最小 自动聚焦功能 AFC 在样品表面细节突出的情况下效果较好 2日立S 3400N电镜的操作基础 P 28 为获得更好
9、的图像 聚焦 FOCUS 电子束校正 AxisAlignment 消相散 Stigmation 2日立S 3400N电镜的操作基础 P 29 自动功能 2日立S 3400N电镜的操作基础 ABCC Autobrightness contrastcontrol自动亮度和对比度控制AFS Autofilamentsaturation自动灯丝饱和AFC Autofocuscontrol自动聚焦控制ASFC Autostigma focuscontrol自动相散和聚焦控制ABA Autobeamalignment自动电子束校正AAA Autoaxialalignment自动合轴校正 光阑对中和相散对中
10、 ABS Autobeamsetting自动电子束设置 AFS ABA 自动枪偏压校正 P 30 信号探头的选择 1 二次电子探头 高真空 图像分辨率最好 反映表面凹凸信息 2 背散射探头 高低真空 组分像 形貌像 3D像 3 双画面同时显示不同信号的图像同时拍照功能避免了因为图像漂移和样品的损伤而引起的位置偏差 2日立S 3400N电镜的操作基础 P 31 二次电子探头 接收偏压 二次电子图像下 电子束的校正调节最直观 简便 2日立S 3400N电镜的操作基础 P 32 背散射电子探头 组分像 形貌像 3D像 2日立S 3400N电镜的操作基础 P 33 SE BSETOPO BSE3D B
11、SECOMPO 2日立S 3400N电镜的操作基础 P 34 3日立S 3400N电镜的参数设定 形貌观察和元素分析时需要设定的主要电镜参数 1 物镜可动光阑孔 1号 2号 3号 4号2 加速电压Vacc 范围0 3KV 30KV3 ProbeCurrent 0 1004 工作距离WD 通过调整样品台高度 P 35 3日立S 3400N电镜的参数设定 物镜可动光阑孔对样品和图像的影响 调整物镜可动光阑孔可以1 控制电子束的入射角2 设定照射电流量 P 36 物镜可动光阑孔径对样品图像观察的影响 3日立S 3400N电镜的参数设定 P 37 3日立S 3400N电镜的参数设定 P 38 3日立S
12、 3400N电镜的参数设定 加速电压对样品图像观察的影响 P 39 3日立S 3400N电镜的参数设定 照射电子在样品内部的散乱 P 40 3日立S 3400N电镜的参数设定 照射电子在样品内部的散乱 P 41 3日立S 3400N电镜的参数设定 加速电压对样品和图像的影响 1 影响入射电子束的色差 波长等参数 分辨率 2 对样品的轰击深度 电子束能量 P 42 3日立S 3400N电镜的参数设定 加速电压 10KV 加速电压 15KV 加速电压 25KV 样品 集成电路板观察倍率 5K P 43 3日立S 3400N电镜的参数设定 P 44 3日立S 3400N电镜的参数设定 P 45 3日
13、立S 3400N电镜的参数设定 Probecurrent值对样品图像观察的影响 P 46 3日立S 3400N电镜的参数设定 P 47 3日立S 3400N电镜的参数设定 工作距离对样品图像观察的影响 P 48 3日立S 3400N电镜的参数设定 P 49 3日立S 3400N电镜的参数设定 放大倍数 X5WD 60mm 放大倍数 X50KWD 5mm 样品 硬币 样品 有机滤膜 P 50 3日立S 3400N电镜的参数设定 为什么会发生荷电现象 二次电子流 背散射电子流 吸收电流 P 51 3日立S 3400N电镜的参数设定 为什么会发生荷电现象 二次电子流 背散射电子流 吸收电流 P 52
14、 3日立S 3400N电镜的参数设定 荷电现象 P 53 3日立S 3400N电镜的参数设定 消除荷电现象的方法 在不喷镀金属层 使用离子溅射仪等 的情况下 1降低加速电压2减少照射电流3改变Capture条件4使用低真空模式 NaturalSEM 1 减小Probecurrent值2 使用小的物镜光阑孔3 减小发射电流值 通过调整GunBias 1 加快Capture80sCapture 40sCapture 2 积分拍照功能 P 54 1 在消除荷电的前提下 尽可能减小空气浓度 减小空气对电子的散射 保证足够的探针电流 2 适当提高发射电流 保证足够的信噪比 3 在安全的前提下升高样品 减小工作距离 缩短电子束在低真空中行程 3日立S 3400N电镜的参数设定 低真空操作原则 P 55 3日立S 3400N电镜的参数设定 消除荷电现象的方法 将不导电样品进行喷镀 使用离子溅射仪 块状不导电样品 纤维样品 碳胶 P 56 3日立S 3400N电镜的参数设定 消除荷电现象的方法 将不导电样品进行喷镀 使用离子溅射仪 1 避免粉末样品的颗粒相互堆积2 分别在垂直方向和两边倾斜方向共喷镀三次 P 57 Thankyou
