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1、Material Safety Data Sheet / 物质安全资料表第一部分 化学品及企业标识化学品中文名称：复晶硅蚀刻液 M1化学品俗名或商品名：复晶硅蚀刻液 M1化学品英文名称：Poly etch M1企业名称/代理商：怡康化工材料有限公司地址：上海市浦东新区福山路450号新天国际大厦10楼F 座邮编：200122电子邮件地址：传真号码：02168766527企业应急电话： 02168766530技术说明书编码：C0100070生效日期：2003 年 12月3 日国家应急电话：事故应急救援（021）62533429(F) , FAX(021)62563255 , 火警 119第二部分
2、成分/组成信息纯品混合物 化学品名称：复晶硅蚀刻液有害物成分： 硝酸 浓度 ：65氢氟酸 ：1.5乙酸 ：2.8CAS No.：硝酸 7697-37-2 氢氟酸 7664-39-3 乙酸 64197第三部分 危险性概述 危险性类别：8.1，腐蚀性物质；6.，毒性物质 侵入途径：吸入，吞食，眼睛、皮肤接触健康危害：吸入：会刺激鼻咽、高浓度会造成肺水肿。皮肤接触：具腐蚀性，皮肤接触会造成灼伤。眼睛接触：气体会刺激眼睛与黏膜，严重时会导致失明。吞食：会严重灼伤口、食道及胃。主要症状：肺水肿、灼伤环境危害：无资料燃爆危险：无第四部分 急救措施 皮肤接触：1.避免直接与化学品接触，应穿戴防渗透的安全手套
3、。2.尽速用大量的清水冲洗至少15分钟以上，除去污染的衣物、鞋子以及皮饰品(如表带、皮带)。3.将受伤处浸于冰的0.2% Hyamine1622水溶液(1：500)或冰的0.13%Zephiran。4.若较敏感组织被灼伤，涂抹含2.5%葡萄酸钙凝胶。5.立即就医。眼睛接触：1.立即撑开眼皮，尽速用大量的清水冲洗受污染的眼睛至少15分钟以上。 2.小心冲洗，勿使已污染的洗液沾染未污染的眼睛，并立即就医。3.若无法立即就医，可滴1-2滴0.5%的Pontocaine盐酸溶液。4.立即就医。吸 入：1.救援前，需穿戴适当、安全的保护装备，以确保自身安全。2.移除污染源或将患者移至新鲜空气处。3.若呼
4、吸停止，立即由受过训之人员施予人工呼吸或心肺复苏术。4.避免口对口接触。5.立即就医。食 入：1.若患者已失去意识或痉挛，勿给任何食物。2.以水彻底漱口。3.切勿催吐。4.给予患者喝下240-300ml之10%葡萄酸钙溶液。以稀释胃中的物质。5.若患者自发性呕吐，使患者身体前倾以避免吸入呕吐物。6.重复给水并立即就医。医生须知：可注射无菌10%之葡萄糖酸钙(Calcium Gluconate)溶液于患部皮下、周围，或直接注射于患部。第五部分 消防措施 危险特性：液体具有很强的腐蚀性,和氧化性有害燃烧产物：无资料灭火方法：对于大部分种类的混酸蚀刻液使用水雾来灭火防止喷溅，对于暴露在火场中的容器使
5、用水雾喷洒以降低温度并防止因热而产生蒸气。灭火时需穿戴经NIOSH认证的自携式呼吸防护具及穿著全身包覆式防护衣。灭火剂：化学干粉、CO2、泡沫或喷水。灭火注意事项：直接用水柱喷洒会使液体喷溅而伤及人员。第六部分 泄漏应急处理 应急处理：1.在污染区尚未完全清理干净前，限制人员接近该区。 2.确定清理工作是由受过训练的人员负责。 3.穿戴适当的个人防护装备。 4.对该区域进行通风换气。消除方法：1.使用苏打或砂中和。2.大量水清洗泄漏区。第七部分 操作处置与储存操作注意事项： 1.穿戴安全护目镜、安全面罩及工作服。2.避免吸入到蒸气及雾滴。3.避免接触眼睛、皮肤及衣物，远离不兼容物。储存注意事项
6、： 1.所有贮存容器应远离热且避免阳光直接射。2.贮存区应有适当且独立的通风，并远离热源及火花。3.贮存区的建材、照明与通风系统应抗腐蚀。4.限量储存，并限制人员进入储存区。5.贮存区要与员工密集之工作区域分开。第八部分 接触控制/个体防护 最高容许浓度： N/A监测方法： N/A工程控制：必需储存于整体换气装置或局部排气系统良好的空间。呼吸系统防护：滤净式呼吸器；大量时采用自给式呼吸器(SCBA)。眼睛防护：少量：化学安全护目镜；泄漏或倒液时：加上防护面罩、洗眼设备。身体防护：防护衣、安全工作靴、安全淋浴设备。手防护：防酸手套。其他防护：卫生措施：1.工作后尽速脱掉污染之衣物，洗净后方可再穿
7、戴或丢弃。2.工作场所严禁抽烟或饮食。3.处理此物后，需彻底洗手。4.维持良好之内务管理，力行5S之要求。 第九部分 理化特性 外观与性状：透明无色硝酸味液体pH值：-熔点（）：无资料 相对密度（水=1）：无资料 沸点（）：122 相对蒸气密度（空气=1）：2.12.2饱和蒸气压（kPa）：0.3 mmHg (25) 燃烧热（kJ/mol）：-临界温度（）：- 临界压力（MPa）：-辛醇/水分配系数的对数值：-闪点（）：无资料 爆炸上限（V/V）：无资料 引燃温度（）：无资料 爆炸下限（V/V）：无资料 溶解性：全溶主要用途：无资料 其他理化性质：-第十部分 稳定性和反应活性 稳定性：安定禁配
8、物：金属、木头、木屑、纸、棉花、有机物、氨气、碳酸盐、氰、氟、有机化合物、H2S、B2H6、PH3避免接触的条件：高温、日晒。聚合危害：不会发生危险性聚合物产生的可能。分解产物：硝酸与醋酸若在火焰中可能会产生一氧化碳或二氧化碳。第十一部分 毒理学资料急性毒性：无资料 （可参考硝酸与氢氟酸之毒性资料。）亚急性和慢性毒性：刺激性：无资料致敏性：致突变性：致畸性：致癌性：其他：第十二部分 生态学资料 生态毒性：无资料，（可参考硝酸与氢氟酸之生态资料）生物降解性：无资料生物富集或生物积累性：非生物降解性：无资料其他有害作用：第十三部分 废弃处置 废弃物性质：危险废物工业固体废物 废弃处置方法：本产品衍
9、生之废弃物的管理及排放标准需遵守法规之规定。废弃处置方法需遵守所有环保法规之规定。废弃注意事项：无资料第十四部分 运输信息危险货物编号：无资料UN编号：硝酸：UN-No.：2031 氢氟酸：UN-No.：1790包装标志：无资料包装类别：无资料包装方法：无资料运输注意事项：建议操作人员应有完善的训练课程。第十五部分 法规信息 法规信息：1、国内化学品安全管理法规信息 危险化学品安全管理条例（中华人民共和国国务院令第344号）化学危险物品安全管理条例实施细则（化劳发1992677号）工作场所安全使用化学品规定（1996劳部发423号）常用危险化学品的分类及标志（GB13690-92）为第8.1、6类酸性腐蚀品；有毒品2、国际法规 第十六部分 其他信息 参考文献：填表时间：2003年12月3日填表部门：SHE 制表人 电 话数据审核单位： 公司安全健康环境委员会（SHE）修改说明：第一次改版改版时间：2007年2月14日改版人 电 话 其他信息
