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1、气体纯化技术 技术基于 1 Purification 基于 FAB 模式纯化所有的大宗气体 N2 O2 Ar He 和CAD 可以将纯度低于1ppb的气体纯度提高到0 1ppb产气流量范围从10M3 hr到3000M3 hr 对大量的特气也能纯化 2 PureGasTechnologies 吹扫 柜式纯化器点使用式纯化器区域纯化器大型纯化器 3 BulkGasPurificationTechnologies 材料及操作原则杂质去除应用 4 Materials Getters 均质金属 无支撑 球状锆 钒 钛SupportedMetals 支撑性材料 反应金属 球状铜 镍 铂 保护性物质Zeol
2、ites 均质金属 球状 分子筛 5 Operation 纯化进程1 催化氧化2 物理吸收3 化学吸收 6 催化氧化 催化氧化进程 将甲烷 非甲烷碳氢化合物氧化CO2和H2O 方法 催化器 加温 O2保护性物质 铂 300 400 富氧环境反应过程 2H2 O2 2H2O2CO 1O2 2CO21CH4 2O2 1CO2 2H2O 7 催化氧化 N2 Ar O2 CO H2 CH4 CO2H2O H2O CO2 CO2H2O Pd Pd O O O2 Pd O 8 物理吸收 分子筛优点 1 能有效去除CO2与H2O 不去除O2 2 筒室温度可控3 进程在高温下完全可逆缺点 1 常量普通 9 物
3、理吸附 N2 Ar O2 CO H2 CH4 CO2 H2O CO2 H2O H2O H2O CO2 10 化学吸收 支撑性金属 吸收器 铜 镍 等优点 1 金属能化学吸附O2 CO H22 金属网格能物理吸附H2O与CO23 筒室温度可控4 进程在高温下完全可逆 NiO H2 加温 Ni H2O5 局部压力不会造成重大影响 11 化学吸附 支撑性金属 N2 Ar CO H2 H2O CO2 Ni Ni O O2 Ni O O Ni Ni 12 化学吸收 捕获器 锆 钒 钛 等优点 1 化学方式吸收N2 CH4 O2 H2O CO H2 CO22 筒室温度可控 低产量 或加热过程最优化3 相对
4、较高的产量4 局部压力不会造成重大影响 13 化学吸附 捕获器 He Ar H Zr Zr O O2 Zr N C Zr CO2 CO N2 CH4 14 热扩散 表面杂质扩散至大宗气体 300 4000C 15 氧气纯化工艺 催化床吸附床 物理吸附 H2O H2 CH4 CO O2 CO2 H2O CO2 16 PS6装配图 17 仪表气体系统图 18 PS6 19 纯化器人机界面 STATUS指示性的显示系统状态TIME为当前进行步骤计时TEMP PRESSURE指示性的显示当前的压力温度FLOW当前进程气体流量数 20 人机界面按键 在任何界面下激活目录条回到主界面在任何界面下进入报警和
5、警告界面关闭报警声提高 减低所需值在多个文档中切换 21 人机界面操作 按下后出现的界面 Restart 启动初纯化器 或者在出现报警后取消报警并重启纯化器 Details 深入显示当前系统的控制点参数 Alarms 激活报警界面 显示激活的报警 警告及信息 Events 激活历史事件表 显示最多500条历史事件 22 人机界面操作 按下后的界面 23 人机界面操作 24 人机界面操作 25 故障处理 故障报警界面 按下后显示的界面 26 故障处理 当出现故障的时候STATUS信息会从SystemOK变到闪烁的Alarm Warning信息 ACCEPT 点击确认单个报警信息 ALL 点击确认所有报警信息 ACCEPT后的警报信息会显示为灰色未ACCEPT得警报信息会显示为红色信息代码 表示Alarm表示Warning气 FaultReporting xml 27 结束 感谢大家 FIN vampirctutor 28
