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1、CDS 中央供酸系統 CenterChemicalDispenseSystem Preparedby Date CDS 系统目的 2 供应高纯度化学品以清洗芯片上之杂质 微粒子供应高纯度化学品以蚀刻芯片图案供应高纯度化学品以显影芯片图案供应高纯度化学品以为化学气相沉积前置反应物供应高纯度化学品以研磨芯片供应高纯度化学品以清洗制程设备零配件 3 客戶需求 N2 Chemical Chemical 温度 压力 流量 方向 位置 温度 時间 浓度 化学品之种类与用途 一 4 酸性 腐蚀性 H2SO4 HCl HNO3 HF H3OP4 毒性 HF HNO3 Poly Mix BOE 碱性 NH4OH
2、 KOH Developer 有机溶剂易燃液体 IPA Acetone NBA 光阻液 腐蚀性有机溶剂 EKC EBR HMDS 氧化性 HNO3 H2O2 化学品之种类与用途 二 5 系统基本要求 6 操作安全 腐蚀性 毒性 耐压 防爆之考虑化学品零污染 与化学品接触部份完全与化学品兼容微粒子控制 过滤器循环过滤满足最大需求流量 高浓度化学品如H2SO4 H3PO4自动控制操作运转 系统单元与机台界面自动化取样分析 系统 管路之粒子数 金属离子取样分析泄漏警报 侦测泄漏及紧急关闭系统 EMO 系统诊断 Pump Filter Valve运转时数维修保养管路AutoPurge Flush功能化
3、学品用量统计 化学品供应质量要求 7 系统流程图 一 8 CCB StorgeTank12m3 CDU VMB T T T VMB VMB VMB Tool 1 Tool 2 Tool 3 Tool 4 6m3 Tote1m3 200L Drum 化学槽车充填衔接站将化学品由槽车以N2加压直接输送至Tank 适合使用量较大之化学品 如H2O2 H2SO4等 适合使用量中等之化学品 如HF H3PO4等 适合使用量较小之化学品 如BOE HNO3等 将化学品经循环过滤 再经N2或Pump加压输送至有需求之生产机台内 将化学品经管路分配至不同生产机台 S 可依实际用量需求选择使用 TeeBox S
4、amplingBox 系统流程图 二 9 TOOL机台 OCP SCADAComputer HUB CDU T BOX 主管路 GN2 加强讯号 循环过滤25 后供酸 启动CDU循环过滤后 同时由OCP供应GN2 打开VMB内气动阀 将化学品供应至TOOL CHEMICALLINEGN2LINESIGNALLINE 供酸 VMB 泄漏警报 系统流程图 三 10 ToolSide OCPSide Trouble Ready Stop Request EMO 1 当机台需求化学品时 传送Request讯号给OCP 2 OCP收到讯号后 会先检查CDU是否Ready供应若是 则回传Ready讯号 若
5、否 则回传Trouble讯号3 机台端EMO被压下时 则停止供应化学品 24V Chemical输送方式 11 Chemical供酸方式 1 桶槽供酸 12 Chemical供酸方式 2 槽车供酸 13 CDS设备布置 14 设备位置 15 洁净室 1 使用点2 VMB阀分支箱 POU 使用点 机台操作控制介面电控程式连结 高架地板1 CDS VMB管 2 VMB需求3 监控线 4 液传感器 UtilitySubFAB1 管 2 连接线裝置3 VMB TeeBox裝置4 管 连接 CDS VMB 5 管 连接 VMB POU 系统配置方式 16 用 80 200L Day使用 较少 用pump
6、或压送的方式 Pump系統 日需求TANK 系统配置方式 17 用 300 4000L Day使用 较多 用pump或压送的方式 压 输送系統 日需求TANK 系统配置方式 18 用 4000L Day以上 用压送的方式 Pump系統 日需求TANK 系统配置方式 19 Pump系統 PumpA 系统配置方式 20 Pump系統 PumpBWithdaytank 系统配置方式 21 PressureType PumpA 系统配置方式 22 PressureType PumpBWithdaytank 系统配置方式 23 TankLorryType4000L Day以上 CCB流程图 GN2lin
7、et StorageTank 充填槽车 CDU 24 CDU之流程图 型一 Outlet Pump TransferFilter SupplyFilter GN2inlet CDAinlet Drum DayTank Tank 25 CDU之流程图 型二 Outlet Drum Tank Pump Trans RecFilter SupplyFilter 26 TEE BOX构造 主管路 主管路 VMB Drain排水Port 手动阀 箱体内侧下方装设泄漏侦测器 1 箱体以PP制成2 CPVC外盖3 箱体与外盖间以O Ring密合4 管件以PFA制成 一般酸碱类适用 27 VMB构造 箱体内侧
8、下方装设泄漏侦测器 DrainPort inlet ToTools CDAinletFromOCPto气动阀 ForTheFutureUse Purgeinlet DrainPort Exhaust 气动阀 手动阀 保养管路时需先以PN2将化学品Purge至机台端Drain 4 1 3 2 1 箱体以PP制成2 CPVC外盖3 箱体与外盖间以O Ring密合4 管件以PFA制成 一般酸碱类适用 28 SAMPLING BOX构造 1 将取样瓶置入 并关闭箱门2 按压按钮 再打开取样手动阀3 化学品流出达需求之量后 关闭手动阀 放开按钮4 打开箱门 盖上瓶盖 取出取样瓶5 清洁取样箱 按钮 手动
9、阀 箱体内侧下方装设泄漏侦测器 Drain排水Port inlet 1 箱体以SUS制成2 钢丝玻璃外盖3 箱体与外盖间以O Ring密合 有机溶剂类适用 29 CDS 系统设备之材料要求 30 一般无机酸碱类外管 CPVC 氯化聚氯乙烯 内管 PFA 可溶性聚四氟乙烯 Piping Tubing管件 铁弗龙材质制品有机溶剂类外管 SUS304内管 SUS316LEP管件 SUS316L以上制品有机碱类外管 SUS304内管 PFAPiping Tubing管件 铁弗龙材质制品 31 ATCBumping化学供酸系統结构 32 ATCBumpingCDS控制 33 ATCBumpingCDSH
10、ookup介面及要求 VBox RemoteBox 用酸设备 6芯控制线 每一点Hookup包含一管路及控制信号配线管路A Solvent SUS外管 PFA內管B ACIDPVC外管 PFA內管C VBox预留1 2阀口 hookup管径则视设备需要而定控制线路 6芯以上控制线路测试A Required信号正常 B 设备端EMO信号正常 C Required信号下 EMO信号打开是否強制停止要酸信号 D 开关供酸 部份机台並沒有EMO信号接点 而使用本身的控制系統以断绝Required 此時更必须要求设备端模拟EMO狀況以确保安全 34 ATCBumpingCDS混酸 35 ATCBumpi
11、ngCDS混酸 体积比 重量比比重 质量体积 看客戶需求 目前比例 体积比 3MH2SO4H2O2H3PO4DI401003005009260AZ400KDI1 3AZDev DI3 1BOEDI1 3 MixTank Drain 粗调 微调 供酸 WetN2 Sensor 在调整配比的过程中 换算成重量不仅方便也更准确 36 ATCBumpingCDSMixsystem CDS 运转操作注意事项 一 37 充份阅读MSDS 认识化学品之物质特性 危害性 危害标示 危害途径及防护措施工作前 先行思考及演练各细节后 再行动工作时应双人以上搭配作业 事前事后确认正确选用及使用适当防护器具正确处理化
12、学品废弃物 避免造成后续伤害良好个人安全卫生环保习惯认知工作安全 意外 意识 CDS 运转操作注意事项 二 38 熟知化学品泄漏处理七项步骤远离泄漏源辨示泄漏状况寻求协助支持管制隔离污染区拯救伤员围堵外泄物清除污染物及环境检测事故调查记录留存 CDS 运转操作注意事项 三 39 熟知化学品淋溅烧伤之急救处理稀释 去除污染在皮肤或粘膜上之有害化学物质自救 救人前应先保护自己冲 清水不断冲洗至少15分钟脱 边冲边脱并避免二次伤害支持 请求支持成立紧急处理ERT对HF时 须不断地涂抹葡萄酸钙 涂抹 按摩 擦净 涂抹 送 尽速送医 CDS 运转操作注意事项 四 40 熟知化学品吸入 食入 眼睛接触之处理原则1 维持呼吸 血液循环 维持患者生命2 减轻患者病痛 促使其能早日康复呼吸道吸入1 离开污染区 避免自己或其它人再受污染 2 喊叫 打电话求救 请求支持3 确认吸入物质 维持呼吸心跳 尽速送医消化道食入1 喊叫 打电话求救 请求支持2 催吐 若昏迷 意识不清或误食腐蚀性物质 则不得催吐 3 确认吸入物质 维持呼吸心跳 尽速送医眼睛接触1 迅速翻开眼睑 清水轻洗15分钟以上 立刻送医
