半导体气敏传感器的应用PPT幻灯片课件

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1、第9章半导体传感器 9 1气敏传感器 9 2湿敏传感器 9 3色敏传感器 9 4半导体式传感器应用 1 9 1气敏传感器 9 1 1概述用途 用来检测气体类别 浓度和成分 分类 按构成气敏传感器的材料分为两大类 半导体和非半导体气敏传感器 使用最多的是半导体气敏传感器 2 半导体气敏传感器工作原理 利用待测气体与半导体表面接触时 产生的电导率等物理性质变化来检测气体 分类 表面控制型和体控制型 按照半导体与气体相互作用时产生的变化只限于半导体表面或深入到半导体内部 可分为 表面控制型 半导体表面吸附的气体与半导体间发生电子接受 结果使半导体的电导率等物理性质发生变化 但内部化学组成不变 体控制

2、型 半导体与气体的反应 使半导体内部组成发生变化 而使电导率变化 电阻型和非电阻型 按照半导体变化的物理特性 又可分为 电阻型是利用敏感材料接触气体时 其阻值变化来检测气体的成分或浓度 非电阻型是利用其它参数 如二极管伏安特性和场效应晶体管的阈值电压变化来检测被测气体的 3 表9 1半导体气敏元件的分类 4 气敏传感器是暴露在各种成分的气体中使用的 由于检测现场温度 湿度的变化很大 又存在大量粉尘和油雾等 所以其工作条件较恶劣 而且气体对传感元件的材料会产生化学反应物 附着在元件表面 往往会使其性能变差对气敏元件有下列要求 能长期稳定工作 重复性好 响应速度快 共存物质产生的影响小等 半导体气

3、敏传感器的应用 主要用于工业上的天然气 煤气 石油化工等部门的易燃 易爆 有毒等有害气体的监测 预报和自动控制 5 9 1 2半导体气敏传感器的机理 制作机理 利用气体在半导体表面的氧化和还原反应导致敏感元件阻值变化而制成的 当半导体器件被加热到稳定状态 在气体接触半导体表面而被吸附时 被吸附的分子首先在表面物性自由扩散 失去运动能量 一部分分子被蒸发掉 另一部分残留分子产生热分解而固定在吸附处 化学吸附 当半导体的功函数小于吸附分子的亲和力 气体的吸附和渗透特性 时 吸附分子将从器件夺得电子而变成负离子吸附 半导体表面呈现电荷层 例如氧气等具有负离子吸附倾向的气体被称为氧化型气体或电子接收性

4、气体 如果半导体的功函数大于吸附分子的离解能 吸附分子将向器件释放出电子 而形成正离子吸附 具有正离子吸附倾向的气体有H2 CO 碳氢化合物和醇类 它们被称为还原型气体或电子供给性气体 6 当氧化型气体吸附到N型半导体上 还原型气体吸附到P型半导体上时 将使半导体载流子减少 使电阻值增大 当还原型气体吸附到N型半导体上 氧化型气体吸附到P型半导体上时 则载流子增多 使半导体电阻值下降 7 图9 1N型半导体吸附气体时器件阻值变化图 图9 1表示了气体接触N型半导体时所产生的器件阻值变化情况 由于空气中的含氧量大体上是恒定的 因此氧的吸附量也是恒定的 器件阻值也相对固定 若气体浓度发生变化 其阻

5、值也将变化 根据这一特性 可以从阻值的变化得知吸附气体的种类和浓度 半导体气敏时间 响应时间 一般不超过1min N型材料有SnO2 ZnO TiO等 P型材料有MoO2 CrO3等 8 9 1 3半导体气敏传感器类型及结构 1 电阻型半导体气敏传感器组成 敏感元件 加热器 外壳 分类 烧结型 薄膜型 厚膜型器件 图9 2气敏半导体传感器的器件结构 a 烧结型气敏器件 b 薄膜型器件 c 厚膜型器件 9 图9 2气敏半导体传感器的器件结构 a 烧结型气敏器件 b 薄膜型器件 c 厚膜型器件 10 9 1 3半导体气敏传感器类型及结构 1 电阻型半导体气敏传感器 a 烧结型气敏器件 图9 2 a

6、 为烧结型气敏器件 这类器件以SnO2半导体材料为基体 将铂电极和加热丝埋入SnO2材料中 用加热 加压 温度为700 900 的制陶工艺烧结成形 因此 被称为半导体陶瓷 简称半导瓷 半导瓷内的晶粒直径为1 m左右 晶粒的大小对电阻有一定影响 但对气体检测灵敏度则无很大的影响 特点 制作方法简单 器件寿命长 由于烧结不充分 器件机械强度不高 电极材料较贵重 电性能一致性较差 因此应用受到一定限制 11 图9 2 b 为薄膜型器件 它采用蒸发或溅射工艺 在石英基片上形成氧化物半导体薄膜 其厚度约在100nm以下 制作方法也很简单 实验证明 SnO2半导体薄膜的气敏特性最好 但这种半导体薄膜为物理

7、性附着 因此器件间性能差异较大 b 薄膜型器件 12 图9 2 c 为厚膜型器件 这种器件是将氧化物半导体材料与硅凝胶混合制成能印刷的厚膜胶 再把厚膜胶印刷到装有电极的绝缘基片上 经烧结制成的 由于这种工艺制成的元件机械强度高 离散度小 适合大批量生产 这些器件全部附有加热器 它的作用是将附着在敏感元件表面上的尘埃 油雾等烧掉 加速气体的吸附 从而提高器件的灵敏度和响应速度 加热器的温度一般控制在200 400 左右 c 厚膜型器件 13 加热方式 一般有直热式和旁热式两种 形成了直热式和旁热式气敏元件 直热式气敏器件的结构及符号如图9 3所示 直热式器件是将加热丝 测量丝直接埋入SnO2或Z

8、nO等粉末中烧结而成的 工作时加热丝通电 测量丝用于测量器件阻值 这类器件制造工艺简单 成本低 功耗小 可以在高电压回路下使用 但热容量小 易受环境气流的影响 测量回路和加热回路间没有隔离而相互影响 国产QN型和日本费加罗TGS 109型气敏传感器均属此类结构 图9 3直热式气敏器件的结构及符号 a 结构 b 符号 14 旁热式气敏器件的结构及符号 图9 4 特点 将加热丝放置在一个陶瓷管内 管外涂梳状金电极作测量极 在金电极外涂上SnO2等材料 旁热式结构的气敏传感器克服了直热式结构的缺点 使测量极和加热极分离 而且加热丝不与气敏材料接触 避免了测量回路和加热回路的相互影响 器件热容量大 降

9、低了环境温度对器件加热温度的影响 所以这类结构器件的稳定性 可靠性都较直热式器件好 国产QM N5型和日本费加罗TGS 812 813型等气敏传感器都采用这种结构 图9 4旁热式气敏器件的结构及符号 a 旁热式结构 b 符号 15 2 非电阻型半导体气敏传感器 制作机理 它是利用 MOS二极管的电容 电压特性的变化以及MOS场效应晶体管 MOSFET 的阈值电压的变化等物性而制成的气敏元件 由于类器件的制造工艺成熟 便于器件集成化 因而其性能稳定且价格便宜 利用特定材料还可以使器件对某些气体特别敏感 16 1 MOS二极管气敏器件 MOS二极管气敏元件制作过程是在P型半导体硅片上 利用热氧化工

10、艺生成一层厚度为50 100 nm的二氧化硅 SiO2 层 然后在其上面蒸发一层钯 Pd 的金属薄膜 作为栅电极 如图9 5 a 所示 由于SiO2层电容Ca固定不变 而Si和SiO2界面电容Cs是外加电压的函数 其等效电路如图9 5 b 图9 5 MOS二极管结构和等效电路 a 结构 b 等效电路 c C U特性 17 因此由等效电路可知 总电容C也是栅偏压的函数 其函数关系称为该类MOS二极管的C U特性 如图9 5 c 曲线a所示 由于钯对氢气 H2 特别敏感 当钯吸附了H2以后 会使钯的功函数降低 导致MOS管的C U特性向负偏压方向平移 如图9 5 c 曲线b所示 根据这一特性就可用

11、于测定H2的浓度 图9 5 MOS二极管结构和等效电路 a 结构 b 等效电路 c C U特性 18 2 MOS场效应晶体管气敏器件钯 MOS场效应晶体管 Pd MOSFET 的结构 图9 6 由于Pd对H2很强的吸附性 当H2吸附在Pd栅极上时 会引起Pd的功函数降低 Pd MOSFET气敏器件机理 就是利用H2在钯栅极上吸附后引起阈值电压UT下降这一特性来检测H2浓度的 图9 6钯 MOS场效应晶体管的结构 19 9 1 4气敏传感器应用 优点 半导体气敏传感器由于具有灵敏度高 响应时间和恢复时间快 使用寿命长以及成本低等 从而得到了广泛的应用 按其用途分类 气体泄露报警 自动控制 自动测

12、试等 表9 2给出了半导体气敏传感器的应用举例 20 表9 2半导体气敏传感器的各种检测对象气体 21 9 2湿敏传感器 湿度是指大气中的水蒸气含量 通常采用绝对湿度和相对湿度两种表示方法 绝对湿度 是指在一定温度和压力条件下 每单位体积的混合气体中所含水蒸气的质量 单位为g m3 一般用符号AH表示 相对湿度 指气体的绝对湿度与同一温度下达到饱和状态的绝对湿度之比 一般用符号 RH表示 相对湿度给出大气的潮湿程度 它是一个无量纲的量 在实际使用中多使用相对湿度这一概念 22 湿敏传感器 是能够感受外界湿度变化 并通过器件材料的物理或化学性质变化 将湿度转化成有用信号的器件 阅读P158 湿度

13、检测较之其它物理量的检测显得困难 这首先是因为空气中水蒸气含量要比空气少得多 另外 液态水会使一些高分子材料和电解质材料溶解 一部分水分子电离后与溶入水中的空气中的杂质结合成酸或碱 使湿敏材料不同程度地受到腐蚀和老化 从而丧失其原有的性质 再者 湿信息的传递必须靠水对湿敏器件直接接触来完成 因此湿敏器件只能直接暴露于待测环境中 不能密封 对湿敏器件有下列要求 在各种气体环境下稳定性好 响应时间短 寿命长 有互换性 耐污染和受温度影响小等 微型化 集成化及廉价是湿敏器件的发展方向 23 9 2 1氯化锂湿敏电阻 氯化锂湿敏电阻制作机理 是利用吸湿性盐类潮解 离子导电率发生变化而制成的测湿元件 组

14、成 引线 基片 感湿层与电极 如图9 7所示 工作原理 氯化锂通常与聚乙烯醇组成混合体 在氯化锂 LiCl 溶液中 Li和Cl均以正负离子的形式存在 而Li 对水分子的吸引力强 离子水合程度高 其溶液中的离子导电能力与浓度成正比 当 溶液置于一定温湿场中 若环境相对湿度高 溶液将吸收水分 使浓度降低 因此 其溶液电阻率增高 反之 环境相对湿度变低时 则溶液浓度升高 其电阻率下降 从而实现对湿度的测量 图9 7湿敏电阻结构示意图 24 图9 8氯化锂湿度 电阻特性曲线 在50 80 相对湿度范围内 电阻与湿度的变化成线性关系 氯化锂湿敏元件的优点 滞后小 不受测试环境风速影响 检测精度高达 缺点

15、 耐热性差 不能用于露点以下测量 器件性能重复性不理想 使用寿命短 25 9 2 2半导体陶瓷湿敏电阻 构成 通常 用两种以上的金属氧化物半导体材料混合烧结而成为多孔陶瓷 负特性湿敏半导体陶瓷 有ZnO LiO2 V2O5系 Si Na2O V2O5系 TiO2 MgO Cr2O3系正特性湿敏半导体陶瓷 以下简称半导瓷 Fe3O4等 26 1 负特性湿敏半导瓷的导电机理水分子中的氢原子有很强的正电场 当水在半导瓷表面吸附时 有可能从半导瓷表面俘获电子 使半导瓷表面带负电 如半导瓷是 型半导体 则由于水分子吸附使表面电势下降 吸引更多的空穴到达其表面 表面层的电阻下降 若半导瓷为 型 则由于水分

16、子的附着使表面电势下降 如果表面电势下降较多 不仅使表面层的电子耗尽 同时吸引更多的空穴达到表面层 有可能使到达表面层的空穴浓度 电子浓度 出现所谓表面反型层 这些空穴称为反型载流子 它们同样可以在表面迁移而表现出电导特性 因此 由于水分子的吸附 使N型半导瓷材料的表面电阻下降 不论是 型还是 型半导瓷 其电阻率都随湿度的增加而下降 27 图9 9几种半导瓷湿敏负特性 图9 9表示了几种负特性半导瓷阻值与湿度之关系 28 2 正特性湿敏半导瓷的导电机理导电机理 这类材料的结构 电子能量状态与负特性材料有所不同 当水分子附着半导瓷的表面使电势变负时 导致其表面层电子浓度下降 但这还不足以使表面层的空穴浓度增加到出现反型程度 此时仍以电子导电为主 表面电阻将由于电子浓度下降而加大 即表面电阻将随湿度的增加而加大 通常湿敏半导瓷材料都是多孔的 表面电导占的比例很大 故表面层电阻的升高 必将引起总电阻值的明显升高 但是 由于晶体内部低阻支路仍然存在 正特性半导瓷的总电阻值的升高没有负特性材料的阻值下降得那么明显 29 图9 10Fe3O4半导瓷的正湿敏特性 图9 10 Fe3O4正特性半导瓷湿