202X年单晶硅实习报告

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1、单晶硅实习报告篇一:Si单晶太阳能电池生产实习报告Si单晶太阳能电池生产实习报告一、实践目的学习Si太阳能电池片的制造工艺原理,初步了解和掌 握太阳能电池的整个生产制造流程的工艺技术。学习每个工 艺的目的和作用,工艺原理、具体工艺参数。熟悉半导体工 艺设备半导体制造工艺技术以及工艺过程测试与分析方法, 并学以致用、理论联系实际,巩固和理解所学的理论知识。 另外,培养在实际生产过程中发现问题、分析问题、解决问 题和独立工作的能力,增强综合实践能力,建立劳动观念、 实践观念和创新意识,树立实事求是、严肃认真的科学态度, 提高综合素质。该文档为文档投稿赚钱网作品,版权所有,违责必纠二、实践安排实践课

2、程时间:20XX-7-14至7-21日7月14-15日在图书馆上查资料7月16日对单晶硅表面制绒和腐蚀工艺7月17日扩散制结7月18日去磷硅玻璃7月19日等离子刻蚀7月20日镀减反射膜7月21日丝印刷,烘干,烧结,测试实践课程地点:晶体楼一楼实践课程教学内容:学习太阳能电池的整个生产流程的工艺制造技术三、实践过程和具体内容1太阳能电池简介随着化石能源的逐渐枯竭及伴随的环境恶化,人们迫切需求对环境友好的可再生能源。太阳能是目前最具前景的新 型能源:用之不竭,且太阳能的使用不会破坏地球生态及环 境;安全,无污染,利用成本低,且不受地理条件限制。太 阳能利用的形式多种多样,其中太阳能电池技术可将太阳

3、能 直接转换为电能,被认为是最有效的利用太阳能的方式。太 阳电池发电具有很多优点,如安全可靠,无噪声,无污染等,该文档为文档投稿赚钱网作品,版权所有,违责必纠这些优点是常规发电和其他发电方式所不及的。太阳能电池 的分类有很多种,按用途分有航天用电池和民用电池,按其 结构可分为晶体电池(单该文档为文档投稿赚钱网作品,版权所有,违责必纠晶Si、多晶Si)、薄膜电池、化学太阳能电池、多元 化合物薄膜太阳能电池等。该文档为文档投稿赚钱网作品,版权所有,违责必纠目前市场上的太阳能电池主要是硅基太阳能电池,其中 又以多晶硅太阳能电池为主流。然而,能够提供太阳能电池 用的高纯硅厂家主要在国外,包括美国、日本

4、和德国,且近 年来多晶硅原料已经明显出现市场缺口,由此带来了其价格该文档为文档投稿赚钱网作品,版权所有,违责必纠的迅速攀升。多晶硅的市场价格由20XX年的贸美元/kg猛涨 到20XX年的400美元/kg , 20XX年略有回降。而目前太阳能 电池的发电成本为 5-6元/I kw h,约为煤电成本的 10倍 以上。况且项目投资高,能耗高,一般建1000t的工厂需要该文档为文档投稿赚钱网作品,版权所有,违责必纠18个月的工期,投资达 10亿元以上。另外,中国的产品市 场主要在国外。该文档为文档投稿赚钱网作品,版权所有,违责必纠2太阳能电池的工作原理当用适当波长的光照射非均匀半导体(pn结)时,由于

5、内建场的作用(不加外电场)。半导体内部产生电动势(光生电压);如将pn结短路,则会出现电流(光生电流)。这种由内建电场引起的光电效应,称为光生伏特效应。太阳电池是将光能转化为电能的半导体光伏元件,利用的就是半导体的光生伏特效应。由于pn结势垒区内存在较强的内建电场(自n区指向p区),结两边的光生少数载流子受该场的作用,各自向相反 的方向运动:p区的电子穿过pn结进入n区;n区的空穴进 去p区,使p端电势升高,n端电势降低,于是pn结两端形该文档为文档投稿赚钱网作品,版权所有,违责必纠成了光生电动势,这就是pn结的光生伏特效应。由于光照产生的载流子各自向相反的方向运动,从而在pn结内部形成自n区

6、向p区的光生电流IL。由于光照在pn结两端产生 光生电动势,相当于在pn结两端加正电压 V,使势垒降低为 qVD-qV,产生正向电流IF。在pn结开路的情况下,光生电 流和正向电流相等时,pn结两端建立起稳定的电势差Voc(p该文档为文档投稿赚钱网作品,版权所有,违责必纠区相对于n区是正的),这就是光电池的开路电压。如将pn结与外电路接通,只要光照不停止,就会有源源不断的电流 流过电路,pn结起了电源的作用。这就是光电池的基本原理。 描述光电池的特征参数有 4个,包括短路电流、开路电压、 填充因子和转换效率。该文档为文档投稿赚钱网作品,版权所有,违责必纠(a) (b)(c) (d)图2。2光能

7、到电能的转换(a)有负载电阻的太阳电池,(b)电子和空穴的扩散所产生的电流,(c)(b)的能带图(d) 开路电压的建立(示意)3太阳能电池的工艺实践准备工作这次实践课的第一堂课,老师就强调了实验安全方面的 事情,比如有机溶液的安全使用规范、酸和碱的安全使用、 气体的使用安全。半导体制造过程中,必须穿带防静电服和 帽子,经过超净处理后才能进入实验室。在这次实践课中我该文档为文档投稿赚钱网作品,版权所有,违责必纠们所用到一些酸性溶液比如HF酸以及异丙醇,都具有较强的腐蚀性。处理 HF酸溶液时要穿防护服,双手必须戴上橡 皮手套,防护镜,活性炭口罩。在使用完HF酸溶液后使用该文档为文档投稿赚钱网作品,

8、版权所有,违责必纠后用水冲洗,让其废液留到一个中和箱内,PH值为中性时方可让废液流到管道里。使用有机溶液时候务必要戴上口罩。防止其挥发的气体伤害到呼吸系统等。太阳能电池制造工艺流程如图2。3所示,本次实践以单晶硅太阳电池为主,在老师的指导下,对每一步工艺的目的与作用、工艺原理、具体工艺过程及参数进行了实践。硅片检测硅片是太阳能电池片的载体,硅片质量的好坏直接决定了太阳能电池片转换效率的高低,因此需要对来料硅片进行 检测。该工序主要用来对硅片的一些技术参数进行在线测 量,这些参数主要包括硅片表面不平整度、少子寿命该文档为文档投稿赚钱网作品,版权所有,违责必纠(10us)、电阻率、P/N型和微裂纹

9、等。该组设备分自动上 下料、硅片传输、系统整合部分和四个检测模块。其中,光 伏硅片检测仪对硅片表面不平整度进行检测,同时检测硅片 的尺寸和对角线等外观参数;微裂纹检测模块用来检测硅片 的内部微裂纹;另外还有两个检测模组,其中一个在线测试 模组主要测试硅片体电阻率和硅片类型,另一个模块用于检 测硅片的少子寿命。在进行少子寿命和电阻率检测之前,需 要先对硅片的对角线、微裂纹进行检测,并自动剔除破损硅 片。硅片检测设备能够自动装片和卸片,并且能够将不合格 品放到固定位置,从而提高检测精度和效率。此次工艺实践 所用的硅片均为良品,由于工艺设备条件限制没有进行精确 的检测,只对其外观做初步的检测即可。该

10、文档为文档投稿赚钱网作品,版权所有,违责必纠表面制绒单晶硅绒面的制备是利用硅的各向异性腐蚀,在每平方 厘米硅表面形成几百万个四面方锥体也即金字塔结构。由于 入射光在表面的多次反射和折射,增加了光的吸收,提高了 电池的短路电流和转换效率。硅的各向异性腐蚀液通常用热 的碱性溶液,可用的碱有氢氧化钠,氢氧化钾、氢氧化锂和 乙二胺等。大多使用廉价的浓度约为 1%的氢氧化钠稀溶液来 制备绒面硅,腐蚀温度为 70-85 C。为了获得均匀的绒面, 还应在溶液中酌量添加醇类如乙醇和异丙醇等作为络合剂。该文档为文档投稿赚钱网作品,版权所有,违责必纠以加快硅的腐蚀。制备绒面前,硅片须先进行初步表面腐 蚀,用碱性或

11、酸性腐蚀液蚀去约 2025卩m在腐蚀绒面后,该文档为文档投稿赚钱网作品,版权所有,违责必纠进行一般的化学清洗。经过表面准备的硅片都不宜在水中久 存,以防沾污,应尽快扩散制结。制绒清洗的工艺流程为该文档为文档投稿赚钱网作品,版权所有,违责必纠插片 水洗碱制绒 水洗 酸洗 水洗 甩干,其具体步骤如 下:a)插片将要制绒的硅片依次插在花篮中b)超声波清洗在超声波清洗中,首先开启超声波泵,清洗池中加入40LH20+800g NaOH + 750mL异丙醇,在 80 C 下清洗 10min。该文档为文档投稿赚钱网作品,版权所有,违责必纠c)水洗在冷水与热水槽中交替清洗。d)碱制绒在碱制绒中,在反应池中加

12、入20L H2O+300g NaOH +400gNa2SQ3+1000mL异丙醇,时间 30min。e)水洗同上步水洗过程f)酸洗在制绒完后,要进行酸洗,想酸洗池中加入20L H2O +400mLHF或者为 20L H2O+ 2L 浓盐酸(4%,清洗 6min该文档为文档投稿赚钱网作品,版权所有,违责必纠g)烘干酸洗完后,要对硅片进行甩干或烘干扩散制结太阳能电池需要一个大面积的PN结以实现光能到电能的转换,而扩散炉即为制造太阳能电池PN结的专用设备。管式扩散炉主要由石英舟的上下载部分、废气室、炉体部分 和气柜部分等四大部分组成。扩散一般用三氯氧磷液态源作 为扩散源。把 P型硅片放在管式扩散炉的

13、石英容器内,在 850-900 摄氏度高温下使用氮气将三氯氧磷带入石英容 器,通过三氯氧磷和硅片进行反应,得到磷原子。经过一定 时间,磷原子从四周进入硅片的表面层,并且通过硅原子之 间的空隙向硅片内部渗透扩散,形成了N型半导体和P型半该文档为文档投稿赚钱网作品,版权所有,违责必纠导体的交界面,也就是 PN结。这种方法制出的 PN结均匀性 好,方块电阻的不均匀性小于百分之十,少子寿命该文档为文档投稿赚钱网作品,版权所有,违责必纠篇二:实习报告材料科学与工程学院生产实习报告学号20XX2273姓名李 锋专业材料科学与工程 班级材1104评定材料科学与工程学院20XX年7 月目录一、实习目的1实 习

14、 时 间地占丿、 丿、 .1三实习步骤.1四、实习公司及简介.2五、实习内容.5实 习 心 得 体会20七、总结21一、实习目的1. 了解太阳能电池制备的仪器设备、制备工艺及详细流 程。2. 了解晶龙集团的发展历史及发展状况,对光伏行业有一定的了解,为以后就业增加筹码。二、实习时间、地点时间:一地点:邢台市宁晋县晶龙集团三、实习步骤(一)前期准备工作1. 实习动员:早上。由王老师介绍实习过程中需注意的 事项,充分做好前期准备工作。该文档为文档投稿赚钱网作品,版权所有,违责必纠2. 准备工作:查阅与晶硅太阳能电池生产的相关资料(发展现状,晶硅的制备、电池片及组件的生产工艺流程及 提高效率降低成本

15、的新工艺,撰写预习报告。该文档为文档投稿赚钱网作品,版权所有,违责必纠3. 了解晶龙集团的发展历史与现状,公司规模,主要产品,管理模式及企业文化。(二)开展实习活动号上午参观晶龙集团的下属公司:阳光设备公司了解晶 硅设备(提拉单晶设备、铸锭准单晶设备)的制造流程。该文档为文档投稿赚钱网作品,版权所有,违责必纠下午参观松宮电子公司, 了解了单晶硅棒的检测、 切方、 打磨等环节,之后在展厅参观了西门子法制得的晶体硅料, 提拉出来不同尺寸的单晶硅棒,线切割出来的硅片,以及通 过多种工艺制备出来的太阳能电池片,太阳能电池组件,石该文档为文档投稿赚钱网作品,版权所有,违责必纠英坩埚,石墨加热圈套以及最大的提拉单晶硅车间,拥有80多台单晶炉设备,属中国最大的单晶硅棒制备车间。上午参观松宫电子公司的粘棒,切片,以及清洗制绒, 检测分选的环节,了解相关的

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