年产8万超高纯湿法电子化学品—超净高纯试剂、光刻胶及配套试剂技改扩能项目二期检测报告

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1、报告正本161012050364建设项目竣工环境保护验收检测报告YYJC-BG-2019-09257委托单位:江阴江化微电子材料股份有限公司项目名称:年产8万吨超高纯湿电子化学品一超净高纯试剂、光刻胶及其配套试剂技改扩能项目江苏源远检测科技有限公司2019年9月27日项目名称:年产8万吨超高纯湿法电子化学品一一超净高纯试剂、光刻胶及其配套试剂技改扩能项目委托单位:江阴江化微电子材料股份有限公司承担检测单位:江苏源远检测科技有限公司报告编制人:复核:审核:签发:签发人职务: 参加检测人员:洪杰、李柳、朱扬帆、李逸文、许鹏栋、周梦娇、戈逸、金榕、惠尤倩、蔡琦迪、许英姿、张莉、潘新琦等江苏源远检测科

2、技有限公司电话:86885208传真:86885208邮编:214400地址:江阴市东外环路528号检测报告说明对本报告检测结果如有异议者,请于收到报告之日起十天内向本公司 提出。二、鉴定检测,系对新产品、新工艺、新材料等有关技术性能的检测。验收检测,系对建设项目“三同时”和限期治理项目进行的检测。四、委托检测,系受用户委托所进行的检测,其中送样委托检测,其检测结果,本公司仅对来样负责,检测结果供委托者了解样品品质之用。五、本报告非经本公司同意,不得以任何方式复制。经同意复制的复印件,应有我公司加盖公章予以确认。YYJC-BG-2019-09257第22页,共35页江阴江化微电子材料股份有限公

3、司年产8万吨超高纯湿法电子化学品超净高纯试剂、光刻胶及其配套试剂技改扩能项目“三同时”环保竣工验收检测报告1、概述江阴江化微电子材料股份有限公司(以下简称“江化微公司”)是国内一流的集超 高纯电子化学品一一超净高纯试剂、光刻胶及其配套试剂的研发、生产、销售为一体的 龙头企业。该公司原位于江阴市周庄镇山泉村,企业名称原为“江阴市江化微电子材料 有限公司”,后于2012年12月更名为江阴江化微电子材料股份有限公司。因江化微公 司山泉村厂区离居民区较近并且没有发展空间,不利于企业长远发展,为适应市场需求 和满足企业自身发展,公司于2010年初将原山泉村厂区整体搬迁至周庄镇周南工业集 中区云顾路581

4、号并对原有规模进行扩建,该搬迁扩建项目环评江阴市江化微电子材 料有限公司年产8万吨超高纯湿法电子化学品一一超净高纯试剂、光刻胶及其配套试剂 技改扩能项目环境影响报告书已于2010年12月31日通过环评审批(锡环管201090 号)。该项目分两期建设,其中一期4.5万吨/年已经于2012年4月16日通过“三同时” 环保竣工验收(锡环管验20125号)投入正式生产。后为了更好的适应市场行情的变化,开拓更广阔的国内外市场,增强公司的市场竞 争力,该公司决定在目前一期4. 5万吨/年基础上进行技术改造,通过减少运营时间和 设备,减少一期中500t/a硝酸纯化产能、1000t/a异丙醇纯化产能、3000

5、t/a正胶显影 液产能和1500t/a其他酸碱分装(磷酸)产能,同时增加7000t/a铜蚀刻液产能和9000t/a 正胶剥离液产能,即技改后一期项目减少6000t/a产能,同时新增1.6万t/a产能,因 此技改后一期产能由4. 5万吨/年增加至5. 5万吨/年。二期产能仍然保持在3. 5万吨/ 年。本次技改后全厂产能由8万吨/年增加至9万吨/年。一期技改项目已经于2018年 12月28日通过“三同时”环保竣工验收(锡环管验2018 14号)投入正式生产。本次验收项目为江阴市江化微电子材料有限公司年产8万吨超高纯湿法电子化学 品一一超净高纯试剂、光刻胶及其配套试剂技改扩能项目环境影响报告书中的二

6、期建 设项目。按环境保护部国环规环评20174号文建设项目竣工环境保护验收暂行办法 的要求,受江阴江化微电子材料股份有限公司的委托,江苏源远检测科技有限公司承担 该公司“三同时”环保验收的检测任务。江苏源远检测科技有限公司于2019年9月16 日、9月17日对该项目进行了验收检测。2、验收执行标准2. 1废气排放标准样品性质检测项目排放标准限值 (mg/m3)排放速率限值 (kg/h)排放标准排气筒废气氨一8.7恶臭污染物排放标准 GB14554-93 表 2 标准氟化物9.00. 17大气污染物综合排放标 准GB16297-1996 表 2 中一 级标准氯化氢1000.43硫酸雾452.6氮

7、氧化物2401.3酚类化合物1000. 17非甲烷总煙12017二甲苯701.7甲醇1908.6厂界废气氨1.5一恶臭污染物排放标准 GB14554-93表1二级中新扩 改建标准氟化物0. 02一大气污染物综合排放标 准GB16297-1996表2中无 组织排放标准氮氧化物0. 12一氯化氢0. 20一非甲烷总煙4.0一2. 2废水排放标准样品性质检测项目排放标准限值 (mg/L)排放标准接管水pH值(无量纲)6-9污水综合排放标准GB8978-1996 表4中三级标准化学需氧量500悬浮物400氟化物20氨氮45污水排放城镇下水道水质标准 GB/T31962-2015表 1B 级总磷8总氮7

8、02.3噪声排放标准样品性质检测项目排放标准限值 (dB)排放标准厂界噪声厂界昼间噪声65工业企业厂界环境噪声排放标准 GB12348-2008表1中3类区标准厂界夜间噪声55:工业企业厂界环境噪声排放标准 GB12348-2008表1中3类区标准2. 4总量控制标准类别污染物接管量(t/a)排放量(t/a)要求来源废水废水量58636一江阴市江化微电子材料有 限公司年产8万吨超高纯湿 法电子化学品一一超净高纯 试剂、光刻胶及其配套试剂 技改扩能项目环境影响评价 报告书及江阴江化微电子材料股份 有限公司年产1.6万吨超高 纯湿电子化学品一一蚀刻 液、剥离液技改扩能项目环 境影响评价报告书化学需

9、氧量23. 3632一悬浮物17. 617一氨氮0. 26一总磷0.029一总氮0. 29一有组织废气氮氧化物一1. 18氨气0. 22氯化氢0. 34氟化物-0. 93硫酸雾一0. 06挥发性有机物2.235备注挥发性有机物总量以二甲苯、非甲烷总煙、酚类化合物、丙酮、甲醇合计。3、验收检测内容3.1废气检测点位、项目和频次类别样品性质采样点位检测项目检测频次废气排气筒废气Q1氨水洗涤塔排 气筒氨、氟化物3次/天,2天Q2总酸洗涤塔排 气筒氯化氢、氟化物、硫酸雾3次/天,2天Q3硝酸洗涤塔排 气筒氮氧化物3次,天,2天Q4三氯氧磷洗涤 塔氯化氢3次/天,2天Q5有机洗涤塔排 气筒酚类化合物、二

10、甲苯、非甲烷 总煙、甲醇、丙酮3次/天,2天Q6总酸洗涤塔排 气筒氯化氢、氮氧化物、氟化物3次/天,2天Q7总酸洗涤塔排 气筒氯化氢、氟化物3次/天,2天Q8回收洗涤塔排 气筒氯化氢、氮氧化物、氟化物3次天,2天厂界废气下风向3个点 (G1-G3)氮氧化物、氟化物、氯化氢、 氨、非甲烷总煙3次/天,2天备注排气筒高度为20米3. 2废水检测点位、项目和频次类别样品性质釆样点位检测项目检测频次备注废水接管水接管口pH、化学需氧量、悬浮物、 氨氮、总磷、总氮、氟化 物3次,天,2天/生产废水 原水混凝沉淀池进口pH、化学需氧量、悬浮物、 氟化物3次/天,2天/混凝池出水混凝沉淀池出口pH、化学需氧

11、量、悬浮物、 氟化物3次/天,2天/备注类别样品性质釆样点位检测项目检测频次备注噪声厂界噪声8个点 (Z1-Z8)厂界昼间、夜间噪声1次/天,2天/备注一3. 3噪声检测点位、项目和频次4、质量保证及质量控制4.1及时了解工况情况,保证检测过程中工况负荷满足验收检测要求。4. 2合理布设检测点位,保证各检测点位布设的科学性和可比性。4.3检测分析方法釆用国家有关部门颁布的标准(或推荐)方法,检测人员持证上岗。4.4实验室落实质量控制措施,保证验收检测分析结果的准确性、可靠性。4. 5气样的釆集、运输、保存、实验室分析和数据计算的全过程均按照空气和废气监 测分析方法(第四版)的要求进行。4.6噪

12、声仪在使用前后用声校准器校准,校准读数偏差不大于0.5分贝。4.7测量数据严格实行三级审核制度,经过校对、校核,最后由技术负责人审定。5、检测方法5. 1废气检测项目的分析方法序号项目分析方法方法来源检出限1氮氧化物 (无组织)环境空气氮氧化物的测定 盐酸蔡乙 二胺分光光度法HJ479-20090. 005mg/m32氟化物 (无组织)环境空气氟化物的测定滤膜釆样氟 离子选择电极法HJ955-201800. 5ug/m!3氯化氢 (无组织)(固定污染源排气中氯化氢的测定硫氤 酸汞分光光度法HJ/T27-19990. Oomg/ nf4氨 (无组织)环境空气和废气氨的测定纳氏试剂 分光光度法*H

13、J533-20090. 01mg/m35非甲烷总炷(无组织)环境空气总煙、甲烷和非甲烷总炷的 测定直接进样-气相色谱法HJ 604-20170. 07mg/ m!6氮氧化物 (有组织)固定污染源排气中氮氧化物的测定盐 酸荼乙二胺分光光度法HJ/I43-19990. 7mg/m37氟化物 (有组织)大气固定污染源氟化物的测定离子 选择电极法HJ/T67-20010. 06mg/m38氯化氢 (有组织)固定污染源排气中氯化氢的测定硫氤 酸汞分光光度法HJ/T27-19990. 9mg/m39氨 (有组织)环境空气和废气氨的测定纳氏试剂 分光光度法HJ533-20090. 25mg/m310非甲烷总煙(有组织)固定污染源废气总煙、甲烷和非甲烷 总煙的测定气相色谱法HJ 38-20170. 07mg/ms11硫酸雾 (有组织)固定污染源废气硫酸雾的测定离子 色谱法HJ544-20160. 005mg/m(12二甲苯 (有组织)、环境空气苯系物的测定活性炭吸附/ 二硫化碳解吸-气相色谱法HJ584-20101. 5X10 3mg/m313丙酮 (有组织)空气与废气监测方法6. 4. 6. 1气相色 谱法空气与废气监 测方法0.

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