《西安交通大学非电量电测课件-第5章 电容式传感器》由会员分享，可在线阅读，更多相关《西安交通大学非电量电测课件-第5章 电容式传感器（23页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、第五容式传感器 1 结构简单 没有活动触点 工作可靠 寿命长 2 灵敏度和分辨率高 传感器输出信号强 有利于信号传输 3 重复性好 线性度好 4 能测非常小的位移 但随着测量范围增大分辨率下降 主要特点 5 1工作原理与结构 一 基本原理 二 结构 1 变间隙式2 变面积式3 变介电常数式 5 2特性 一 变间隙式 由于 和A都不变 电容与极板间的距离成反比 非线性关系 当很小时 高次相可以忽略不计 输入与输出的关系近似为线性 由此带来的误差 为了改善传感器的特性 常采用差动结构 这样可以提高灵敏度一倍 更重要的是可将级数中的二次相抵消而使线性度提高 传感器的灵敏度 可见 要提高灵敏度 就应减
2、小起始间隙 但这受电容器击穿电压的限制 而且增加装配加工的困难 另外 减小起始间隙会限制传感器的测量范围 否则将产生较大的非线性误差 二 变面积式 输入和输出呈线性关系 两极板间的电容 传感器的灵敏度 三 变介电常数式 1 线性关系 2 非线性关系 3 线性关系 5 3测量电路 交流电桥 单臂时 而 输出电压与电容C成反比但如果传感器为变间隙式电容传感器 输出与被测位移成正比 差动电容时 半桥 其中 2 变压器式交流电桥 3 双T电桥 二 二极管不平衡环形电桥 三 差动脉宽调制电路 四 运算放大器式电路 若传感器为变间隙式电容器 五 调频式电路 5 4两个要注意的问题 一 分布电容的影响 二 边缘效应的影响
