《堀场汇博隆(C)S48-300HMT流量计、流量控制器说明书》由会员分享，可在线阅读，更多相关《堀场汇博隆(C)S48-300HMT流量计、流量控制器说明书（38页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、 气体质量流量控制器 流量计 气体质量流量控制器 流量计 S48 300 HMT 使用说明书使用说明书 Ver 2 0 北京堀场汇博隆精密仪器有限公司 北京堀场汇博隆精密仪器有限公司 目 录 目 录 1 概述1 概述 1 2 术语 符号2 术语 符号 2 3 工作原理3 工作原理 5 4 技术指标4 技术指标 7 5 产品安装5 产品安装 8 6 使用方法和操作步骤6 使用方法和操作步骤 16 7 数字通讯功能使用方法和操作7 数字通讯功能使用方法和操作 18 8 通讯协议编码格式8 通讯协议编码格式 20 9 警告和注意9 警告和注意 25 10 故障判断和处理10 故障判断和处理 28 附
2、录一 通信指令集附录一 通信指令集 31 附录二 标定和不同气体的换算附录二 标定和不同气体的换算 34 1 1 概述 1 概述 本产品为热式质量流量控制器 利用气流流过毛细管 改变毛细管温度分布 造成上下游温差方法 而测得气体质量流量 不同于容积式流量计 其流量精度 不受气体压力 环境温度影响 由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量 所 以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制 1 1 使用范围 1 1 使用范围 质量流量控制器广泛应用于半导体制造 真空镀膜 分析 化工 环境等行 业的气流测量与控制 1 2 质量流量控制器和质量流量计 1 2 质量流量控制器和质量流量计 质量流量控制
3、器 Mass Flow Controller 缩写为MFC 具备流量测量和流量 控制两种功能 质量流量计 Mass Flow Meter 缩写为MFM 只有流量测量功能 不具备气流 控制功能 1 3 S48 300 HMT质量流量控制器的特点 1 3 S48 300 HMT质量流量控制器的特点 S48 300 HMT型质量流量控制器是在引进HORIBA STEC技术基础上 结合国 内需要而研制的一种数字式质量流量控制器产品 采用当今先进的32位ARM系列处 理器做数字控制 具有流量精度高 线性好 零漂小 气流响应速度快 过冲小精度高 线性好 零漂小 气流响应速度快 过冲小 等特点 RS232
4、485串口 Modbus RTU 开放协议 协议简单可靠 兼容性强 易于组网 配合上位机 可进行各种复杂的计量 控制操作及组态 2 耐压高及适用于真空条件下工作 气体流量不因温度 压力的变化而变化 气阻较小 工作压力范围宽 主体采用不锈钢 316L 结构 气密材料采用PTFE 氟橡胶等 耐腐蚀性 强 可任意角度安装 兼容数字和模拟控制及显示 使用方便 易于与电气或自动控制系统配合 配合MT 50或51系列流量显示仪 可对气流的瞬时流量进行精确测量和计量 型式批准证书 2011F215 11 执行 Q CYHMT001 2011 企业标准 许可证编号 京制 01050063 号 2 2 术语术语
5、 符号符号 2 1 2 1 质量流量质量流量 以单位时间内流过某截面的流体质量表示的流量 气体质量流量一般将换算 成标准状态下的 体积 分钟 来表示 例如 毫升 分钟即mL min SCCM行业标准 升 分钟即L min SLM行业标准 标准状态 气体温度 273 15K 0 气压 101325Pa 1atm 2 2 2 2 F S F S Full Scale Full Scale 表示满量程值 2 3 2 3 准确度准确度 3 满量程精度 控制器示值与标准器测量的实际值之差与满量程 F S 实际 值相比的百分比值 如 0 3 F S 带后缀F S 2 4 2 4 标定条件标定条件 标准状态
6、下 氮气N2标定 如果某质量流量计标定为其它种类气体 则是经 过换算 而成为所标定的气体在标准状态下用 体积 分种 表示的质量流量 2 5 2 5 响应时间响应时间 当设定值发生阶跃变化 例 0 100 气体流量将跟随改变 经过一段时 间将达到相对最终稳态值的误差范围之内 经过的这段时间就叫响应时间 T98 是规定离最终稳定值相差 2 F S 的时刻 2 6 2 6 工作压力工作压力范围范围与耐压与耐压 工作压力范围是指能保证控制器在全量程范围内正常稳定工作的最小到最大 的入口与出口压力差 耐压是指控制器管路内压力相对安装环境 大气压 的安全不泄露的极限耐 受压力 2 7 2 7 流动方向流动
7、方向 气流流过流量控制器或流量计的方向 由于热式流量计产品结构特点 决定了气流流动方向只能是阀体上箭头所示 方向 不能装反 否则将无法使用或损坏 2 8 2 8 模式切换模式切换 上电后自动切换到模拟控制模式 通过上位机发送设定指令 能自动将控制 器切换到数字控制模式 4 通过上位机串口的 模拟数字切换 指令可在数字控制模式和模拟控制模式 之间切换 2 2 9 9 阀控选择阀控选择 阀状态分为三种 分别是 清洗状态 关闭状态和阀控状态 既可用模拟控 制方式进行切换 也可用数字控制方式进行切换 2 2 9 9 1 1 模拟模拟切换切换 在控制器插头 阀控 引出脚加 15Vdc 阀将处于清洗状态
8、即阀开度最大 若 阀控 引出脚悬空 阀将进入阀控状态 由设定值来控制阀开度 若 阀控 引出脚加 15Vdc 阀将处于关闭状态 S48 300 HMT MFC 在 阀控 引出脚加入的 清洗 和 关闭 命令 优先 于 设定输入 执行 即不管设定输入为何值 2 2 9 9 2 2 数字数字切换切换 阀控 引出脚悬空 通过上位机串口的 阀控状态 指令可将阀设定为清 洗状态 关闭状态或阀控状态 S48 300 HMT MFC 输入的 清洗 和 关闭 指令 优先于 设定输入 执 行 即不管设定输入为何值 2 2 9 9 3 3 阀控制状态阀控制状态优先级优先级 模拟清洗状态 模拟关闭状态 数字清洗状态 数
9、字关闭状态 设定输入 2 2 1010 自动自动关闭关闭 设定值小于满量程 1 时 阀将自动关闭 控制器的控制范围为满量程的 2 100 5 2 11 2 11 自动调零自动调零 质量流量控制器 流量计 由于环境的变化和长时间的使用 可能出现零点漂移 的情况 为了得到更高的流量控制精度 需要对零点进行修正 S48 300 HMT质量 流量控制器 流量计 具备自动调零功能 当零点偏移时 控制器可自动调整零点 S48 300 HMT MFC 在设定输入为0 或者关闭状态且保持5分以上时 自动调零模块 会对零点进行自动调整 3 3 工作原理 工作原理 数字式质量流量控制器由分流器通道 质量流量传感器
10、 信号放大调理 信 号采集 流量控制调节阀 驱动电路 CPU等部件组成 本流量控制器利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分 布效应而制成 即热分布式流量计 Thermal Profile Flowmeter 采用毛细管 传热温差量热法原理测量气体的质量流量 可以不受温度压力的影响 将模拟电压设定值送入CPU或者将上位机发来的数字设定值从串口送入CPU 作为设定值 将传感器测得的流量信号放大送入CPU 作为CPU控制调节阀的反馈 值 CPU实时将设定值和流量信号反馈值进行数字化处理 生成控制量 驱动调节 阀逐步开启到相应的开度 直至流量值达到设定值 分流器用于在主通道和毛细管间产
11、生层流 使流过毛细管流量检测通道和流 过主通道的气流成比例 控制调节阀为比例电磁阀 随所加在电磁线圈上的电流大小而相应改变阀门 开度 6 S48 300 HMT MFC可直接与计算机实现RS232 485连接 采用Modbus RTU协议 通讯 只需要用户提供 15V直流供电 无需A D D A 转换卡等 S48 300 HMT MFC同时兼容模拟设定输入 模拟流量信号输出 其均为 0 5 V 电压形式 与之配套的MT 51 50 系列流量显示仪备有 15V直流电源供电 3 位 半数字流量值显示 设定电位器 外设 内设转换和三位阀控开关等 与MT 50 流量显示仪连接后的工作原理如图一所示 图
12、一图一 数字热式质量流量控制器的工作原理数字热式质量流量控制器的工作原理 7 4 4 技术指标 技术指标 4 1 4 1 S48 300 HMT MFCS48 300 HMT MFC技术指标技术指标 表表1 S481 S48 300 300 H HMTMT数字流量控制器技术指标数字流量控制器技术指标 编号 项目 S48 300 HMT 1 流量规格 10 20 30 50 100 200 300 500 mL min 1 2 3 5 10 20 30 50 L min 2 调节阀类型 电磁调节阀 3 调节阀静止状态 常闭 4 安装角度 任意 5 流量控制范围 2 100 F S 6 流量测量范
13、围 0 100 F S 7 响应时间 1sec 8 工作环境温度 5 50 9 精度保证温度 15 35 10 精度 1 0 S P 30 F S 0 30 F S 30 F S 11 线性精度 0 5 F S 12 重复性 0 2 F S 13 工作压差 10mL min 5L min 50 300 kPa D 10L min 30L min 100 300 kPa D 50L min 150 300 kPa D 14 耐压 3MPa G 15 泄漏率 10k 20 流量输出信号 数字 RS485 RS232 模拟 0 5V 负载能力 3mA 21 通讯接口 数字 RS232 RS485 波
14、特率 4800 9600 19200bps Modbus RTU 协议从机 设备号可选范围 0 15 22 重量 kg 0 9 4 2 4 2 订货规范订货规范 在订货时应指明是质量流量控制器还是质量流量计 指明S48 300 HMT产品型 号 流量规格 使用气体种类 管接头种类 例如 MFC 或MFM S48 300 HMT 产品型号 500mL min 流量规格 N2 气体 种类 6 管路接头 在贮运过程中 不要打开产品包装 注意防雨 防尘 防磕碰 不能在极端严寒 高温 潮湿环境长时间存放 5 5 产品安装产品安装 5 1 5 1 安装环境安装环境 本产品为室内使用产品 工作环境温度为 5
15、 50 相对湿度40 60 应注意安装环境远离振动 尘埃 电磁干扰等 9 要求使用的气体洁净 无水汽及凝结可能 如果使用强腐蚀性气体需在订货 时声明 5 5 2 2 外形及安装尺寸外形及安装尺寸 图图二二 S48 3S48 30000 HM HMT T 系列质量流量控制器外形及安装尺寸系列质量流量控制器外形及安装尺寸 10 可以根据用户的不同需求 选用两种类型 1 双卡套 Swagelok a 6mm b 10 c 1 4 d 或其他 2 VCR a 1 4 b 3 8 连接方法如图三 图四所示 图三图三 双卡套接头的连接方法双卡套接头的连接方法 图四图四 VCR VCR 接头的连接方法接头的
16、连接方法 S48 300 HMT与气路的连接 可以根据不同的要求 选用不同的管件 如金属 管 塑料管等等 S48 300 HMT 系列质量流量计和流量控制器的默认连接形式为 双卡套 接管尺寸为 6 11 5 5 3 3 电路接线电路接线 S48 300 HMT系列质量流量控制器的接线插头 考虑到其兼容性 主要采用 DB 15 M 针型插座 其接线方法如图五所示 图五图五 DB15 M DB15 M 针型针型 插座接口定义图插座接口定义图 管脚 颜色 注释 1 黄 信号公共端 2 橙 流量信号输出 0 5V OUT 负载能力 3mA 3 棕 留用 4 空 5 红 15V 电源 150mA 6 绿 15V 电源 200mA 7 空 8 蓝 设定信号输入 0 5V IN 输入端阻抗 10k 9 黑 电源公共端 12 管脚 颜色 注释 10 紫 信号公共端 11 空 12 灰 阀控 空 阀控 15V 清洗 15V 关闭 13 留用 14 白 外壳地 大地 15 空 注 在电源处 信号公共端和电源公共端的3个管脚须连接 才能正常工作 图六图六 带隔离带隔离RS485RS485接口插座定义接口插座
