TFT-LCD制造流程技术讲义

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1、 TFT LCD產品的基本構成元件 基本構造背光板 BACKLIGHT 下偏光片 DOWNPOLARIZER 薄膜基板 TFTSUBSTRATE 液晶 LIQUIDCRYSTAL 彩色濾光片 COLORFILTER 上偏光片 UPPOLARIZER TFT LCD構造剖面圖 下偏光片 薄膜 TFT 基板 液晶 電晶體 彩色濾光片 上偏光片 線路 TFT LCD的顯示原理 一 TFT LCD的顯示原理 二 TFTTurnOFF TFTTurnON 光源經液晶層扭轉90 TFT LCD的顯示原理 三 TFT LCD的驅動原理 Array 電晶體 矩形陣列 TFT基板生成 Cell 面板生成 Pan

2、el Module 產品模組組裝 製造流程概述 一 製造流程概述 二 薄膜ThinFilm 黃光Photo ColorFilter OK 蝕刻Etch 測試ArrayTest 基板投入 CELL TFTProcess TFT的製造流程概述 一 素玻璃 TFT基板 鍍膜 sputter cvd 光罩 reticle 蝕刻 etch 去光阻液stripper 鍍下一層膜 TFT的製造流程概述 二 酸 氣體 顯影液 TFT的循環製程圖解1 去光阻液 顯影液 酸 氣體 TFT的循環製程圖解2 去光阻液 鍍第三層膜 請依之前所示範的方法舉一反三 自行模擬想像 TFT的循環製程圖解3 CELL的製造流程概

3、述 一 TFT基板 TFTSubstrate 彩色濾光片 ColorFilter CELL的製造流程概述 二 PI塗佈PICoating PI塗佈PICoating 配向Rubbing 配向Rubbing Spacer灑佈SpacerSpray 框膠SealantDispenser 點銀膠AgDispenser 對位Misalignment 熱壓Hotpress 切割裂片Scribe Break 液晶注入LCinjection 封口Endsealing 再配向Isotropic 偏光片貼片PolarizerAttachment 加壓脫泡AutoClave Cell測試Celltest TFT

4、CF 穿透式TFTLCD側視圖 Printedcircuitboard Prismsheet 螢光灯泡 背光模組 偏光板 偏光板 TFTArray 液晶層 ColorFilter TFT LCD的剖面圖 畫素結構圖 何謂畫素 Pixel 顯示色彩學 一 畫素 PIXEL 構成螢幕上所有顏色的單位主要以三元色為主 紅 綠 藍 其中紅 綠 藍三色則稱為子畫素 畫素 子畫素 彩色濾光片ColorFilter 顯示色彩學 二 不同畫素的組合及應用 Mosaic Triangle Strip 適合AV動畫 小尺寸panel之設計 常用於Monitor NB等大尺寸Panel 0 20 0 25 0 30

5、 6 8 10 12 14 16 18 9 4 8 4 7 8 6 5 12 1 11 3 10 4 15 0 14 1 13 3 12 1 10 4 14 1 15 0 DiagonalSizeofScreen inch PixelPitch mm 85 90 95 100 105 110 120 130 0 15 140 150 160 170 115 125 ppi 12 1 12 1 14 1 15 0 VGA 640 x480 921 600 SVGA 800 x600 1 44M XGA 1024x768 2 36M SXGA 1400 x1050 4 41M UXGA 1600

6、x1200 5 76M QXGA 2048x1536 9 44M 15 0 17 0 13 3 畫素與尺寸規格 CrGlassInput ColorFilterOutput BlackMatrix Rsub pixel Gsub pixel Bsub pixel andthenITO PositiveresistCoating Dosing Developing Post baking Etching Stripping RNegativeresistCoating Dosing Developing Post baking GNegativeresistCoating Dosing Deve

7、loping Post baking BNegativeresistCoating Dosing Developing Post baking Cutting FinalInspection ColorFilter的製造流程 二 ColorFilter的Profile LCDTVsPureTVsProductsmanufacturedbyTVbrandsandsoldthroughconventionalTVdistribution consumer channelMulti FunctionMonitors MFMs OtherproductssoldasLCDTVsbyPCbrandsth

8、roughconsumerchannel MFM CEOtherproductssoldasLCDTVsbyPCbrandsthroughITchannel MFM ITLCDMonitorsProductsmanufacturedbyPCbrandsandsoldthroughITdistributionchannel LCDTV的定義 AVEnjoymentAnytimeAnyplace Inthegym Free StyleSettingtoMatchAnyAVViewingSituation Inthekitchen Inthecar BedroomTV PersonalTV AVEn

9、tertainment Easytocarry LCDTV未來的應用 一 Inthelivingroom Inthepersonal diningroom Inthebedroom LCDTV未來的應用 二 大尺寸TFT LCD的發展趨勢 PanelSize Application NB Monitor TV NB TV Monitor 1 HighBrightness2 WeightReducing3 HighResolution4 PowerConsumptionSaving 1 HighColorPurity2 WideViewAngle3 FasterResponseTime 1 Hi

10、ghResolution2 HighColorSaturation3 HighContrast Resolution Application NB Monitor TV TFT LCD的願景 ReducedmaterialcostHigherthroughputequipmentsLargersubstratewithimprovedproductivity CostReduction Standardization ReplacingCRTProducts Monitor LCD TV Creatingnewapplicationarea Game Web Pad PDA HHP etc MarketGrowth EvolutionofTechnology HigherPerformance CRTCompatible Cost 10 inch Volume 100Munits LowerCostProcess Product Glass Parts TFT LCDBusinesswillexceedCRTin2005

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