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1、1蓝宝石生产设备及测量仪器蓝宝石生产设备及测量仪器第1版 2010年08月02日第2版 2011年03月05日第3版 2011年06月20日第1版 2010年08月02日第2版 2011年03月05日第3版 2011年06月20日大途电子（上海）有限公司大途电子（上海）有限公司大途电子（上海）有限公司大途电子（上海）有限公司联系人：冯频联系人：冯频联系人：冯频联系人：冯频电电电电话：话：话：话：021021021021- - - -60932193609321936093219360932193302 302 302 302 传传传传真：真：真：真：021021021021- - - -609
2、32173609321736093217360932173手手手手机：机：机：机：13801652112138016521121380165211213801652112电电电电邮：邮：邮：邮：2蓝宝石生产设备及测量仪器蓝宝石生产设备及测量仪器公司简介：公司简介：公司简介：公司简介：公司名：公司名：公司名：公司名：株式会社（株式会社（株式会社（株式会社（ 英文名英文名英文名英文名 DAITO ELECTRON CO., LTD. DAITO ELECTRON CO., LTD. DAITO ELECTRON CO., LTD. DAITO ELECTRON CO., LTD. ）成立日：成立日
3、：成立日：成立日：昭和昭和昭和昭和27272727年（年（年（年（1952195219521952年年年年）6 6 6 6月月月月24242424日日日日注册资本：注册资本：注册资本：注册资本： 2,200,708,5602,200,708,5602,200,708,5602,200,708,560円円円円员工人数：员工人数：员工人数：员工人数： 363363363363名名名名使用银行：使用银行：使用银行：使用银行： 瑞穗银行、三菱东京瑞穗银行、三菱东京瑞穗银行、三菱东京瑞穗银行、三菱东京UFJUFJUFJUFJ银行银行银行银行日本国内营业据点：日本国内营业据点：日本国内营业据点：日本国内营
4、业据点：仙台宇都宮东京国立町田横浜松本静冈名古屋金沢栗东仙台宇都宮东京国立町田横浜松本静冈名古屋金沢栗东仙台宇都宮东京国立町田横浜松本静冈名古屋金沢栗东仙台宇都宮东京国立町田横浜松本静冈名古屋金沢栗东京都大阪神戸広島福冈京都大阪神戸広島福冈京都大阪神戸広島福冈京都大阪神戸広島福冈工厂：町田工厂：町田工厂：町田工厂：町田经营范围：电子部品组件、半导体、电源装置、画像观察装置、部品、情报系统、经营范围：电子部品组件、半导体、电源装置、画像观察装置、部品、情报系统、经营范围：电子部品组件、半导体、电源装置、画像观察装置、部品、情报系统、经营范围：电子部品组件、半导体、电源装置、画像观察装置、部品、情
5、报系统、光器件制造设备、光器件制造设备、光器件制造设备、光器件制造设备、LSILSILSILSI制造设备、液晶面板制造设备、电子材料制造设备、功能器件制造设备、液晶面板制造设备、电子材料制造设备、功能器件制造设备、液晶面板制造设备、电子材料制造设备、功能器件制造设备、液晶面板制造设备、电子材料制造设备、功能器件制造设备等制造销售。以及上述设备的输入输出业务。制造设备等制造销售。以及上述设备的输入输出业务。制造设备等制造销售。以及上述设备的输入输出业务。制造设备等制造销售。以及上述设备的输入输出业务。海外据点：海外据点：海外据点：海外据点：中国上海、深圳、香港、台湾、美国、马来西亚、韩国、泰国。
6、中国上海、深圳、香港、台湾、美国、马来西亚、韩国、泰国。中国上海、深圳、香港、台湾、美国、马来西亚、韩国、泰国。中国上海、深圳、香港、台湾、美国、马来西亚、韩国、泰国。日本上市公司。日本上市公司。日本上市公司。日本上市公司。3蓝宝石生产设备及测量仪器蓝宝石生产设备及测量仪器掏棒掏棒滚磨滚磨倒角倒角研磨研磨激光打标激光打标平坦度测量仪平坦度测量仪表面粗糙度表面粗糙度包装包装强光灯强光灯空气质量流量计空气质量流量计双面刷洗双面刷洗贴片贴片抛光抛光线切割线切割轮廓仪轮廓仪砂轮砂轮4掏棒机掏棒机蓝宝石生产设备及测量仪器蓝宝石生产设备及测量仪器掏棒机掏棒机将蓝宝石晶砣掏成规则形状晶棒的工具。将蓝宝石晶砣
7、掏成规则形状晶棒的设备。可对应蓝宝石晶棒的滚磨机。将蓝宝石晶砣掏成规则形状晶棒的工具。将蓝宝石晶砣掏成规则形状晶棒的设备。可对应蓝宝石晶棒的滚磨机。线切割线切割可对应激光打标机以及晶圆研磨前分选机。可对应激光打标机以及晶圆研磨前分选机。钻管钻管多线切割机。多线切割机。5倒角机倒角机蓝宝石生产设备及测量仪器蓝宝石生产设备及测量仪器砂轮砂轮倒角机倒角机单工位数控全自动倒角机。更可提供双工位数控全自动倒角机。单工位数控全自动倒角机。更可提供双工位数控全自动倒角机。大途设计、生产设备。大途设计、生产设备。对晶圆进行R或T形倒角后的倒角量执行高精度测量。对晶圆进行R或T形倒角后的倒角量执行高精度测量。大
8、途设计、生产设备。大途设计、生产设备。砂轮砂轮可提供各种规格的倒角砂轮。可提供各种规格的倒角砂轮。轮廓仪轮廓仪轮廓仪轮廓仪6研磨机研磨机蓝宝石生产设备及测量仪器蓝宝石生产设备及测量仪器双面刷洗清洗机双面刷洗清洗机可对应高精度晶圆双面研磨的研磨机。针对各种材料的晶圆及形状，可提供最佳的研磨机。可对应高精度晶圆双面研磨的研磨机。针对各种材料的晶圆及形状，可提供最佳的研磨机。研磨机研磨机清洗机清洗机双面刷洗清洗机机。双面刷洗清洗机机。大途设计、生产设备。高压水洗单元为选项。大途设计、生产设备。高压水洗单元为选项。颗粒度测量仪颗粒度测量仪颗粒度测量仪颗粒度测量仪可提供气体中颗粒度测量仪、液体中颗粒度测
9、量仪。还可提供手持式气体中颗粒度测量仪。可提供气体中颗粒度测量仪、液体中颗粒度测量仪。还可提供手持式气体中颗粒度测量仪。7贴片机贴片机抛光机抛光机蓝宝石生产设备及测量仪器蓝宝石生产设备及测量仪器全自动贴片机。节省成本、节省人力、提供单位产量，可提供最佳的全自动贴片机全自动贴片机。节省成本、节省人力、提供单位产量，可提供最佳的全自动贴片机贴片机贴片机抛光机抛光机可对应高精度晶圆单面抛光机。针对高精度的抛光要求，可提供最佳的抛光机。可对应高精度晶圆单面抛光机。针对高精度的抛光要求，可提供最佳的抛光机。平坦度测量仪平坦度测量仪平坦度测量仪平坦度测量仪采用斜射方式测量平坦度的平坦度测量仪。采用斜射方式
10、测量平坦度的平坦度测量仪。8表面粗糙度测量仪表面粗糙度测量仪蓝宝石生产设备及测量仪器蓝宝石生产设备及测量仪器表面粗糙度测量仪表面粗糙度测量仪可提供晶圆表面粗糙度测量仪。可提供晶圆表面粗糙度测量仪。外观检查灯外观检查灯外观检查灯外观检查灯可提供晶圆表面检查用外观检查灯。采用卤素平行光。可提供晶圆表面检查用外观检查灯。采用卤素平行光。真空包装机真空包装机可提供抽真空、抽氮气的真空包装机。可提供抽真空、抽氮气的真空包装机。真空包装机真空包装机9掏棒机及钻管掏棒机及钻管掏棒机及钻管掏棒机及钻管10线切割机线切割机线切割机线切割机摇摆式圆弧加工方式自动跟踪固定单元自动卷线功能划分20步骤，可控制各种加工
11、条件11倒角机倒角机双工位倒角机双工位倒角机大途设计、生产设备大途设计、生产设备设备特点：设备特点：设备特点：设备特点：加工平台（加工平台（加工平台（加工平台（stagestagestagestage）为）为）为）为2 2 2 2轴的双加工轴倒角机轴的双加工轴倒角机轴的双加工轴倒角机轴的双加工轴倒角机。占地面积比原有机型节省约占地面积比原有机型节省约占地面积比原有机型节省约占地面积比原有机型节省约35%35%35%35%。采用晶圆端面非接触定位机构。采用晶圆端面非接触定位机构。采用晶圆端面非接触定位机构。采用晶圆端面非接触定位机构。提升设备维护性、生产性。提升设备维护性、生产性。提升设备维护性
12、、生产性。提升设备维护性、生产性。设备规格：设备规格：设备规格：设备规格：晶圆：平边（晶圆：平边（晶圆：平边（晶圆：平边（OFOFOFOF、IF) IF) IF) IF) 或定位槽（或定位槽（或定位槽（或定位槽（NotchNotchNotchNotch）晶圆尺寸：晶圆尺寸：晶圆尺寸：晶圆尺寸：4 4 4 4“”“”“”“”8 8 8 8”装载部卸载部：装载部卸载部：装载部卸载部：装载部卸载部：4 4 4 4片架片架片架片架主轴：外周倒角用（主轴：外周倒角用（主轴：外周倒角用（主轴：外周倒角用（2 2 2 2轴轴轴轴 使用横型使用横型使用横型使用横型100100100100或或或或200mm20
13、0mm200mm200mm的金属砂轮）的金属砂轮）的金属砂轮）的金属砂轮）定位机构：晶圆端面非接触方式定位机构：晶圆端面非接触方式定位机构：晶圆端面非接触方式定位机构：晶圆端面非接触方式 或或或或 接触方式接触方式接触方式接触方式清洗：甩干清洗干燥清洗：甩干清洗干燥清洗：甩干清洗干燥清洗：甩干清洗干燥选项：选项：选项：选项：NotchNotchNotchNotch倒角用主轴：使用倒角用主轴：使用倒角用主轴：使用倒角用主轴：使用2 2 2 2轴横型轴横型轴横型轴横型NotchNotchNotchNotch用金属用金属用金属用金属砂轮砂轮砂轮砂轮厚度测量单元：多点测量厚度测量单元：多点测量厚度测量
14、单元：多点测量厚度测量单元：多点测量( ( ( (可执行厚度分类可执行厚度分类可执行厚度分类可执行厚度分类) ) ) )直径测量单元：晶圆端面接触式直径测量单元：晶圆端面接触式直径测量单元：晶圆端面接触式直径测量单元：晶圆端面接触式 或或或或 非接触式非接触式非接触式非接触式还可提供单工位倒角机还可提供单工位倒角机WBM-210012轮廓仪轮廓仪【晶圆晶圆晶圆晶圆】倒角量倒角量倒角量倒角量X1X1X1X1、X2X2X2X2：5 5 5 5m m m m以下以下以下以下（倒角角度倒角角度倒角角度倒角角度22222222时时时时）倒角角度倒角角度倒角角度倒角角度1 1 1 1、2 2 2 2：0.
15、50.50.50.5以下以下以下以下端面端面端面端面R R R R30303030m m m m以下以下以下以下端面端面端面端面直线度直线度直线度直线度15151515m m m m以下以下以下以下【NotchNotchNotchNotch】NotchNotchNotchNotch深度深度深度深度5 5 5 5m m m m以下以下以下以下NotchNotchNotchNotch底底底底R R R R20202020m m m m以下以下以下以下NotchNotchNotchNotch角度角度角度角度0.50.50.50.5以下以下以下以下NotchNotchNotchNotch肩肩肩肩R R
16、 R R50505050m m m m以下以下以下以下【直径测量直径测量直径测量直径测量】直径測定直径測定直径測定直径測定10101010m m m m以下以下以下以下晶圆倒角品质管控的利器晶圆倒角品质管控的利器晶圆倒角品质管控的利器晶圆倒角品质管控的利器轮廓仪轮廓仪大途设计、生产设备大途设计、生产设备13砂轮砂轮砂轮砂轮NotchNotchNotchNotch倒角砂轮、晶圆倒角砂轮、倒角砂轮、晶圆倒角砂轮、倒角砂轮、晶圆倒角砂轮、倒角砂轮、晶圆倒角砂轮、SOISOISOISOI加工专用砂轮加工专用砂轮加工专用砂轮加工专用砂轮包装盒、垫片（缓冲材）包装盒、垫片（缓冲材）包装盒、垫片（缓冲材）包
17、装盒、垫片（缓冲材）14? 上定盘采用具有知识产权的弹簧机构，避免上定盘采用具有知识产权的弹簧机构，避免上定盘采用具有知识产权的弹簧机构，避免上定盘采用具有知识产权的弹簧机构，避免了下盘时的碎片及缺损的发生了下盘时的碎片及缺损的发生了下盘时的碎片及缺损的发生了下盘时的碎片及缺损的发生。可对应较脆可对应较脆可对应较脆可对应较脆材质的晶圆以及较薄晶圆材质的晶圆以及较薄晶圆材质的晶圆以及较薄晶圆材质的晶圆以及较薄晶圆。? 采用无级减速装置，可采用无级减速装置，可采用无级减速装置，可采用无级减速装置，可任意任意任意任意选择适合晶圆最选择适合晶圆最选择适合晶圆最选择适合晶圆最佳的转速佳的转速佳的转速佳的
18、转速。? 可精确控制可精确控制可精确控制可精确控制上下定上下定上下定上下定盘的平面度，实现盘的平面度，实现盘的平面度，实现盘的平面度，实现高精度高精度高精度高精度晶圆生产晶圆生产晶圆生产晶圆生产。研磨机研磨机双面研磨机双面研磨机15研磨机研磨机双面研磨机双面研磨机16研磨机研磨机双面研磨机双面研磨机17清洗机清洗机高生产节拍和低价格的实现高生产节拍和低价格的实现通过采用传送带传送实现30秒个通过采用传送带传送实现30秒个表面活性剂纯水清洗表面活性剂纯水清洗除去研磨生料、除去0.3um以上微粒除去研磨生料、除去0.3um以上微粒驱动轮驱动晶片转动型驱动轮驱动晶片转动型不需校准单元，最小化工艺改变
19、不需校准单元，最小化工艺改变采用脱离简单的刷子轴采用脱离简单的刷子轴高维护性高维护性可对应各种刷子可对应各种刷子设定PVA刷子标准、尼龙刷等选项设定PVA刷子标准、尼龙刷等选项双面刷洗清洗机双面刷洗清洗机大途设计、生产设备大途设计、生产设备18颗粒度测量仪颗粒度测量仪气体颗粒度测量仪气体颗粒度测量仪最小可测量粒径0.3m,试样空气流量0.5L/min符合JIS B9921可同时测量、显示段粒子自动流量控制，操作简易本体内置打印机，可打印测量结果(测量值、个数浓度、平均値) 光源 : 半导体激光粒径区分 : 0.3、0.5、1、2、5m各粒径以上5段尺寸及重量 : 约135（H）300（W）30
20、0（D）mm（突起物除外）、约6.3 kg 19颗粒度测量仪颗粒度测量仪手持式气体颗粒度测量仪手持式气体颗粒度测量仪最小测量粒径0.3（KR-11A）试样空气流量2.83L/min 手持式颗粒度测量仪（超小型手持式）粒径范围为0.3、0.5 以上的2段11A粒径范围为0.5、5 以上的段11BRS-232C 出力光学系 : 侧方散乱光源 : 半导体激光个数浓度 : 70,000个/L尺寸及重量 : 约211（H）116（W）65（D）mm（最大尺寸）、约1Kg20颗粒度测量仪颗粒度测量仪液体颗粒度测量仪液体颗粒度测量仪光源 : 半导体激光激励固体激光粒径区分 : 可设定1段至10段粒径设定范围
21、 : 0.05 m0.2 m额定流量 : 10 mL/min计数效果提高10%（是以往仪器KS-17AF的10倍）可高精度测量液体中的0.05m最小测量粒径0.05 m、额定流量10 m/min粒径区分可设定0.05 m0.2m之间的任意10段21? 采用机械臂搬送晶圆，实现高产能。采用机械臂搬送晶圆，实现高产能。? 采用高精度伺服电机，实现涂蜡厚度的均一性。采用高精度伺服电机，实现涂蜡厚度的均一性。? 可对应180485陶瓷盘可对应180485陶瓷盘。贴片机贴片机贴片机贴片机还可提供手动贴片机还可提供手动贴片机22? 采用超高精度的自动刻槽机构采用超高精度的自动刻槽机构 ，可在线制作高精度定
22、盘形状。，可在线制作高精度定盘形状。? 抛光荷重采用空气加压方式，可任意控制荷重。抛光荷重采用空气加压方式，可任意控制荷重。? 压头采用中间加压方式，可任意控制陶瓷盘内荷重分布（选项）压头采用中间加压方式，可任意控制陶瓷盘内荷重分布（选项）? 设置修整盘，可实现在线定盘修整。设置修整盘，可实现在线定盘修整。機種SLM-140SLM-285SLM-485 SLM-140SLM-285SLM-485 外観130285485枚数2枚2枚2枚貼付枚数2 3枚2 18枚(11枚)3 7枚4 4枚4 14枚66枚8 3枚定盤4008001300装置W930D1060H1850W1400D1583H1900
23、W1920D2150H1950重量約900kg約1200kg約4500kgNEW抛光机抛光机单面抛光机单面抛光机23? 具备4组加工用压头，可实现量产需求。具备4组加工用压头，可实现量产需求。? 陶瓷盘的投入、搬出可采取全自动对应。（选项）陶瓷盘的投入、搬出可采取全自动对应。（选项）? 抛光荷重采用空气加压方式，可任意控制荷重。抛光荷重采用空气加压方式，可任意控制荷重。? 压头采用中间加压方式，可任意控制陶瓷盘内荷重分布（选项）压头采用中间加压方式，可任意控制陶瓷盘内荷重分布（选项）機種SLM-12ALSLM-14ASLM-19ASLM-12ALSLM-14ASLM-19A外観32036048
24、5枚数4枚4枚4枚貼付枚数312枚46枚62枚3 13枚4 7枚63枚4 15枚（11枚）67枚(6枚)8 3枚定盤7609001230装置W1080D1500H2900W1437D2233H2472W1550D2370H2653重量約3500kg約3500kg約6000kg抛光机抛光机单面抛光机单面抛光机24平坦度测量仪平坦度测量仪平坦度测量仪平坦度测量仪FTFTFTFT- - - -17171717（130mm130mm130mm130mm以下以下以下以下）本平坦度测量仪利用激光斜入射干涉计，通过干涉纹位相切换法，本平坦度测量仪利用激光斜入射干涉计，通过干涉纹位相切换法，本平坦度测量仪利用
25、激光斜入射干涉计，通过干涉纹位相切换法，本平坦度测量仪利用激光斜入射干涉计，通过干涉纹位相切换法，根据画像分析，可数字化高精度测量各类平面样品的仪器。根据画像分析，可数字化高精度测量各类平面样品的仪器。根据画像分析，可数字化高精度测量各类平面样品的仪器。根据画像分析，可数字化高精度测量各类平面样品的仪器。设置测量物设置测量物设置测量物设置测量物、测量后到结果输出为止，均为自动处理，操作简单，测量后到结果输出为止，均为自动处理，操作简单，测量后到结果输出为止，均为自动处理，操作简单，测量后到结果输出为止，均为自动处理，操作简单，高速测量。高速测量。高速测量。高速测量。测量物表面从粗糙到镜面、测量
26、物表面从粗糙到镜面、测量物表面从粗糙到镜面、测量物表面从粗糙到镜面、透明体透明体透明体透明体以及异形，可广泛对应。以及异形，可广泛对应。以及异形，可广泛对应。以及异形，可广泛对应。测量结果可通过测量结果可通过测量结果可通过测量结果可通过3D3D3D3D等显示方式，视觉化的显示测量结果等显示方式，视觉化的显示测量结果等显示方式，视觉化的显示测量结果等显示方式，视觉化的显示测量结果。25表面粗糙度仪表面粗糙度仪表面粗糙度仪表面粗糙度仪测量参数：Ra, Ra, Rt, Rp, Rv, Rsm, Rq, Rsk, Rku, Rmr(c), Rmr, Rc, Rq, Rc，Ry, Rmax, Rpm,
27、Rk, Rvk, RpkPa, Pa, Pt, Pp, Pv, Psm, Pq, Psk, Pku, Pmr(c), Pmr, Pc, Pq, Pc, PPI，Wa, Wz, Wt, Wp, Wq, Wmr, Wsm, WCA,WCM,Sm,S,tp, Htp,q, a, HSC,a,q, Mr1, Mr2, A1, A2测量范围/分辨率：800um/0.0064um测量参数：Ra, Ra, Rt, Rp, Rv, Rsm, Rq, Rsk, Rku, Rmr(c), Rmr, Rc, Rq, Rc，Ry, Rmax, Rpm, Rk, Rvk, RpkPa, Pa, Pt, Pp, Pv,
28、Psm, Pq, Psk, Pku, Pmr(c), Pmr, Pc, Pq, Pc, PPI，Wa, Wz, Wt, Wp, Wq, Wmr, Wsm, WCA,WCM,Sm,S,tp, Htp,q, a, HSC,a,q, Mr1, Mr2, A1, A2测量范围/分辨率：800um/0.0064um26外观检查灯外观检查灯外观检查灯外观检查灯 灯罩和电源部分成两部分，具有独立式灯座 灯罩内部设置温度监视，当产生异常发热时，具有自动熄灯的功能 使用弊司特制的卤素灯泡 灯泡规格：100V 300W 最高辉度寿命：75小时以上 半辉度寿命：1000小时以上 反射鏡直径:直径为50抛物线型反射镜
29、 设计照射直径和距离：70mm、200mm 设计照射直径辉度:中央为40万lux（5万lux） 50万lux时照射直径：约60mm 倍径时距离和辉度:400mm,10万lux 辉度偏差和可变范围：最高辉度偏差为上限10%下限20%，可变范围为10：1以上 镜片：38F0.92（F2) 电源方式：半被动方式 调光方式：SCR位相控制（50/60自动切换） 冷却方式：強制空冷式 电压显示：通过旋钮设定 点灯方式：缓慢点灯、缓慢熄灯方式 发热监视：异常加热时强制熄灯（100） 冷却自动开关：有 合计重量：9Kg27真空包装机真空包装机真空包装机真空包装机用途用途用途用途及特长及特长及特长及特长：电动
30、抽真空充氮气包装机电动抽真空充氮气包装机电动抽真空充氮气包装机电动抽真空充氮气包装机操作方法：操作方法：操作方法：操作方法：电动电动电动电动气缸驱动气缸驱动气缸驱动气缸驱动包装包装包装包装方法方法方法方法：封口封口封口封口& & & &抽真空抽真空抽真空抽真空& & & &充氮气充氮气充氮气充氮气操作面板操作面板操作面板操作面板28空气质量流量计空气质量流量计流量计、混合浓度测量仪流量计、混合浓度测量仪1.0% 1.0% 1.0% 1.0% S.P.(setS.P.(setS.P.(setS.P.(set point)point)point)point)高精度高精度高精度高精度Full ran
31、ge1Full range1Full range1Full range1秒以内高响应速度秒以内高响应速度秒以内高响应速度秒以内高响应速度Multi Gas / Multi RangeMulti Gas / Multi RangeMulti Gas / Multi RangeMulti Gas / Multi Range对应对应对应对应29? 根据客户的需求，提供最佳的方案。根据客户的需求，提供最佳的方案。? 可提供激光打标机、分选仪等配套设备。可提供激光打标机、分选仪等配套设备。? 可提供关于抛光垫、抛光液、抛光盘等耗材方面的建议。可提供关于抛光垫、抛光液、抛光盘等耗材方面的建议。? 中国境内在上海、深圳、苏州、宁波设有售后服务点，中国境内在上海、深圳、苏州、宁波设有售后服务点，随时提供完善的售后服务。随时提供完善的售后服务。感谢您的观赏，感谢您的观赏，期待您的惠顾！期待您的惠顾！大途电子冯频大途电子冯频
