《年产120000片集成电路晶圆级封装芯片项目环评报告表》由会员分享，可在线阅读，更多相关《年产120000片集成电路晶圆级封装芯片项目环评报告表（82页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、江苏中科智芯集成科技有限公司年产 120000 片集成电路晶圆级封装芯片项目环境影响报告表 I 目目 录录 建设项目基本情况 1 建设项目所在地自然环境社会环境简况 15 环境质量状况 21 评价适用标准 24 建设项目工程分析 30 项目主要污染物产生及预计排放情况 31 环境影响分析 34 建设项目拟采取的防治措施及预期治理效果 71 三同时 验收一览表 73 结论与建议 74 附图 附图 1 本项目地理位置图 附图 2 本项目周围 500 米建设现状图 附图 3 园区布置图 附图 4 本项目平面布置图 附图 5 徐州市生态红线图 附件 附件 1 本项目备案证 附件 2 企业营业执照 附件
2、 3 土地 规划文件 江苏中科智芯集成科技有限公司年产 120000 片集成电路晶圆级封装芯片项目环境影响报告表 1 建设项目基本情况建设项目基本情况 项目名称 年产 120000 片集成电路晶圆级封装芯片项目 建设单位 江苏中科智芯集成科技有限公司 法人代表 商立伟 联系人 吴经理 通讯地址 徐州经济技术开发区高新路东侧与创业路南侧 联系电话 15850307866 传真 邮政 编码 221001 建设地点 徐州经济技术开发区电子信息产业园 A6 栋 立项审批 部门 徐州经济技术开发区管委会 批准文号 徐开经发备 2018 125 号 建设性质 新建 行业类别 及代码 C3985电子专用材料
3、制造 占地面积 平方米 9062 67 绿化面积 平方米 总投资 万元 50000 环保投资 万元 570 环保投资 占总投资 比例 1 14 评价经费 万元 预期投产 日期 2019 年 11 月 原辅材料 包括名称 用量 及主要设施规格 数量 包括锅炉 发电站 原辅材料 包括名称 用量 及主要设施规格 数量 包括锅炉 发电站 1 主要原辅材料 本项目所需的主要原辅料具体情况见表 1 1 表表 1 1 原辅材料一览表原辅材料一览表 序号序号 原料名称原料名称 使用工序使用工序 用途用途 年消耗量年消耗量 备注备注 1 硅片 投片 120000 片 2 玻璃片 1000 片 3 金属载板 20
4、0 块 4 切割刀片 减薄划片 1500 片 5 Slurry 抛光液 100L 6 切割机清洗液 1200 加仑 7 贴片胶 贴片 20 卷 8 助焊剂 180kg 9 导电胶 diebond 20 卷 江苏中科智芯集成科技有限公司年产 120000 片集成电路晶圆级封装芯片项目环境影响报告表 2 10 硅片保护膜 DBTape 20 卷 11 非导电胶 点胶 20 卷 12 底填胶 100kg 环氧树脂 二氧化硅 13 导电银浆 400KG 丙烯酸树脂 6 11 聚丁二烯 衍生物 2 9 丁二烯共聚物 2 丙烯酸酯 3 8 环氧树脂 1 4 添加剂 2 银 72 82 14 散热胶 200
5、KG 15 增粘剂 涂胶 300KG 16 增粘剂 100KG 17 光阻胶 8 吨 聚酰亚胺 18 介电层 8 吨 30 羟基苯乙烯衍生物 10 三 苯酚衍生物 10 三聚氰胺 19 EBR AZ 去边剂 500KG 20 光刻胶 1 吨 丙二醇甲醚醋酸 酚醛树脂类 衍生物 21 丙酮 500L 22 液态 EMC 塑封 2000KG 二氧化硅 80 甲基六氢苯酐 10 2 2 1 6 亚萘基二 氧亚甲基 二环氧乙烷 10 23 粉末 EMC 4000KG 二氧化硅 80 甲基六氢苯酐 10 2 2 1 6 亚萘基二 氧亚甲基 二环氧乙烷 10 24 塑封用离型膜 100 卷 25 锡球 植
6、班 500KG 26 Flux spray 清洗液 SMT 3 吨 27 甲酸 1200L HCOOH 28 IPA 异丙醇 3000L CH3 2CHOH 29 双氧水 清洗 18 吨 MOS 级 20L 桶 30 去胶液 去胶 35 吨 二甲基亚砜 乙醇胺 四甲基 氢氧化铵 31 氨水 1000kg 32 显影液 20 吨 3 四甲基氢氧化铵 33 铜腐蚀液 湿法腐蚀 7 吨 5 H2O2 5 添加剂 34 硝酸 7 吨 35 钛腐蚀液 7 吨 47 HF 36 铝腐蚀液 7 吨 硝化酸混合物 37 铜互联液 金属互联 5 吨 10 硫酸 江苏中科智芯集成科技有限公司年产 120000 片
7、集成电路晶圆级封装芯片项目环境影响报告表 3 38 铜互联添加剂 100KG 30 硫酸铜 39 盐酸 1 吨 37 HCl 40 硫酸 9 吨 41 镍互联添加剂 1000KG 有机盐 42 镍互联液 1 吨 氨基磺酸镍 43 镍互联液添加剂 100KG 氯化镍 44 镍互联用硼酸 100KG 硼酸 45 锡银互联去泡剂 100KG 70 甲醇 10 表面活性剂 46 锡银互联添加剂 100KG 10 甲醇 10 表面活性剂 47 锡银互联游离酸 100KG 烷基璜酸 70 48 锡银互联银液 1 吨 烷基璜酸 1 烷基璜酸银 1 49 锡银互联锡液 1 吨 烷基璜酸 10 烷基璜酸锡 15
8、 50 氰化亚金钾 500KG 51 金互联液添加剂 100KG 52 锡银添加剂 100KG 10 甲醇 10 表面活性剂 53 消泡剂 80KG 甲醇 70 54 锌活化剂 化学互联 化学镀 100Kg 锌离子 络合剂 乙酸镍 55 锌去除剂 100Kg 硝酸 3 56 微蚀剂 500KG 硫酸 5 双氧水 2 57 化学镍互联补充剂 100KG 40 NiSO4 5 C3H6O3 乳 酸 58 化学镍互联活化剂 100KG 30 H2SO4 59 化学钯互联还原剂 LL2 100KG 60 化学镍互联还原剂 100KG 1 硝酸铅 61 化学后浸剂 C 100KG 40 对甲基苯磺酸 6
9、2 Al Pad 调整液 100KG 25 磷酸 25 硫酸 5 硫酸 铵 2 5 氢氟酸 63 Al Pad 酸性腐蚀液 100KG 25 醋酸铅 10 乙酸锌 64 Al Pad 碱性腐蚀液 100KG 1 氧化硼钠 65 活化剂 100KG 硫酸钯 氯化钯 66 化学 Ni 互联液 100KG 硫酸镍 次磷酸钠 67 钯互联液 100KG 68 化学金互联液 100KG 氰化物化金 氰化金钾 氰化 亚金钾 69 氢氟酸 500L 49 HF 70 四甲基氢氧化铵 TMAH 2 吨 江苏中科智芯集成科技有限公司年产 120000 片集成电路晶圆级封装芯片项目环境影响报告表 4 71 铜靶材
10、 PVD 50 个 铜 72 钛靶材 50 个 钛 73 铝靶材 50 个 铝 74 钛钨靶材 50 个 钛钨 75 碳酸钠 显影 100KG 76 边缘胶 键合 150L 77 去除液 150L 78 键合胶 150L 79 3M 电子氟化液 150L 20 80 甲基九氟丁基醚 20 80 甲基九氟异丁基醚 80 边缘胶 150L 81 环保清洗液 拆键合及清洗 2500L 正十二烯 90 十二烯 10 82 四氟化碳 CF4 灰化 900L 主要原辅料理化性质见表 1 2 表表 1 2 主主要要原辅材料理化性质原辅材料理化性质 名称名称 理化性质理化性质 燃烧爆炸性燃烧爆炸性 毒性毒理毒
11、性毒理 硫酸 H2SO4 无色透明的油状液体 无味 露 置空气中迅速吸水 能与水 乙 醇相溶 放出大量的热 与易燃物和有机物 接触会发生剧烈反 应 甚至引起燃烧 具有强腐蚀性 能 引起严重烧伤 双氧水 过氧化氢化学式为 H O 俗称双 氧水 是一种强氧化剂 水溶液 为无色透明液体 溶于水 醇 乙醚 不溶于苯 石油醚 爆炸性强氧化剂 过氧化氢自身不 燃 但能与可燃物 反应放出大量热量 和气氛而引起着火 爆炸 高浓度过氧化氢有 强烈的腐蚀性 急 性毒性 LD50 4060mg kg 大鼠 经皮 LC50 2000mg m3 4 小 时 大鼠吸入 盐酸 盐酸为不同浓度的氯化氢水溶 液 呈透明无色或黄
12、色 有刺激 性气味和强腐蚀性 易溶于水 乙醇 乙醚和油等 浓盐酸为含 38 氯化氢的水溶液 急性毒性 LD50900mg kg 兔 经口 LC503124ppm 1 小时 大鼠吸入 氢氟酸 氢氟酸是氟化氢气体的水溶液 清澈 无色 发烟的腐蚀性液 体 有剧烈刺激性气味 易溶于 水 乙醇 微溶于乙醚 不燃 但能与大多 数金属反应 生成 氢气而引起爆炸 具强腐蚀性 强刺 激性 可致人体灼 伤 丙酮 是一种无色透明液体 有特殊的 辛辣气味 易溶于水和甲醇 乙 醇 乙醚 氯仿 吡啶等有机溶 剂 易挥发 化学性质较活泼 极度易燃 具刺激 性 LD50 5800mg kg 大鼠经 口 20000mg kg
13、兔 经皮 氨水 氨气的水溶液 无色透明液体 有强烈刺鼻气味 具弱碱性 能与乙醇混溶 若遇 高热 容器内压增 大 有开裂和爆炸 的危险 在氧气中 急性毒性 10 LD50 350mg kg 大鼠经口 江苏中科智芯集成科技有限公司年产 120000 片集成电路晶圆级封装芯片项目环境影响报告表 5 燃烧生成氮气 氯化镍 Cl2Ni 常温下为绿色或草绿色单斜棱柱 状结晶 在干燥空气中风化 在 潮湿空气中潮解 在真空中升华 能很快吸收氨 受热失去部分结 晶水 超过 140 时完全失去结晶 水成为黄棕色无水氯化镍 易溶 于水 乙醇和氨水 水溶液呈酸 性 化学工业用于制造各种镍化 合物 防腐剂和化学反应的催
14、化 剂 还用于制造隐显墨水 电镀 工业用于镀镍 分析化学中用作 分析试剂等 另外其无水物用作 防毒面具的氨吸收剂 LD50 in mice rats mg kg 48 11 i p IARC 异丙醇 常温常压下是一种无色有强烈气 味的可燃液体 有似乙醇和丙酮 混合物的气味 溶于水 也溶于 醇 醚 苯 氯仿等多数有机溶 剂 能与水形成共沸混合物 含水 12 3 易生成过氧化物 引燃温度 399 爆炸上限 V V 12 7 爆炸下限 V V 2 0 低毒 半数致死量 大鼠 经口 2524mg kg 高浓 度蒸气有麻醉性 刺激性 硼酸 BH3O3 白色三斜轴面鳞片带光泽晶体 相对密度 1 43514
15、 折光率 1 337 1 461 1 462 溶于水 乙 醇和甘油中 水溶液呈酸性 本品大量吸收后 可出现恶心 呕 吐 腹泻 严重者 可至循环衰竭 休 克而死亡 致死量 成人 15 20g 小 儿 3 6g 硝酸 HNO3 纯硝酸是无色液体 一般带有微 黄色 遇 H 发孔剂 松节 油可燃 剧毒 吸入 大鼠 LC50 67 PPM 4 小 时 四甲基氢氧化铵 TMAH 有一定的氨气味 具有强碱性 易吸收空气中的 CO2 通常制 10 25 的水溶液 含 5 分子结 晶水的四甲基氢氧化铵为无色潮 解性针状结晶 加热到沸点时易 分解成三甲胺和甲醇 比重 1 00 25 4 小鼠皮下 LD50 19m
16、g kg 兔子静脉 LD50 1mg kg 四氟化碳 CF4 在常温下 四氟化碳是无色 无 臭 不燃的易压缩性气体 挥发 性较高 是最稳定的有机化合物 之一 用于各种集成电路的等离 子刻蚀工艺 也用作激光气体及 制冷剂 可燃 与可燃性气 体燃烧时 会分解 产生氟化物 有毒 2 主要设备 本项目主要生产设备见表 1 3 江苏中科智芯集成科技有限公司年产 120000 片集成电路晶圆级封装芯片项目环境影响报告表 6 表表 1 3 本项目主要生产设备本项目主要生产设备 序号序号 设备名称设备名称 型号型号 数量数量 台 台 套 套 应用工序应用工序 1 减薄贴膜机 RAD3510 3 研磨 2 晶圆减薄 贴切割膜机 DGP8761CMP 3 研磨 划片 1 3 塑封减薄机 DGP 8560 1 研磨 4 贴切割膜机 成品切 割 SW5500 2 划片 1 5 晶圆切割机 DFD6560 8 划片 1 6 贴干膜机 CSL M25E 1 贴膜 涂胶 2 7 贴芯片机 ESEC2100 10 贴片 8 塑封机 IDEALab TM 4 塑封 9 解键合及翘曲娇正机 Dyna Tech DT WD
