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1、湿法刻蚀 湿法刻蚀的特点 优点 选择比高 一般高于100 1 生产速率高设备比较便宜缺点 各向同性 不适合形成3um以下的图形化学试剂用量大 并且污染环境气泡形成及化学蚀刻液无法完全与晶圆表面接触所造成的不完全及不均匀的蚀刻 湿法刻蚀的用处 曾经在特征尺寸大于3um的时代广泛使用 现在被干法刻蚀替代现在用于 漂去氧化膜去除残留物无图形薄膜的去除大尺寸图形刻蚀 二氧化硅的湿法刻蚀 HF酸溶液 极高的选择比 化学反应 SiO2 6HF H2SiF6 氟硅酸 2H2O氢氟酸对二氧化硅的蚀刻速率相当高 在制程上很难控制 因此在实际应用上都是使用稀释后的氢氟酸溶液 或是添加氟化铵作为缓冲剂的混合液 来进
2、行二氧化硅的蚀刻典型的缓冲氧化硅蚀刻液 BOE BufferOxideEtcher 体积比6 1之氟化铵 40 与氢氟酸 49 对于高温成长氧化层的蚀刻速率约为1000 min Si湿法刻蚀呢 Si的湿法刻蚀 在半导体制程中 单晶硅与复晶硅的蚀刻通常利用硝酸与氢氟酸的混合液来进行 此反应是利用硝酸将硅表面氧化成二氧化硅 再利用氢氟酸将形成的二氧化硅溶解总反应式 Si HNO3 浓 6HF H2SiF6 HNO2 H2 H2O上述的反应中可添加醋酸作为缓冲剂 以抑制硝酸的解离 而蚀刻速率的调整可藉由改变硝酸与氢氟酸的比例 并配合醋酸添加与水的稀释加以控制 注 单纯的浓硝酸不能和硅片直接反应 因为
3、反应生成的SiO2薄膜会阻挡反应继续进行 氮化硅的湿法刻蚀 热 150to200 C 85 H3PO4溶液对硅 二氧化硅有高选择比 应用于 硅的局部氧化 LOCOS 和STI氮化硅去除 Si3N4 4H3PO4 Si3 PO4 4 4NH3 其蚀刻速率与氮化硅的成长方式有关 以PVD辅助CVD形成之氮化硅 由于组成结构 SixNyHz相较于Si3N4 较以高温低压化学气相沉积方式形成之氮化硅为松散 因此蚀刻速率较快许多 但在高温热磷酸溶液中光阻易剥落 因此在作氮化硅图案蚀刻时 通常利用二氧化硅作为屏蔽 一般来说 氮化硅的湿式蚀刻大多应用于整面氮化硅的剥除 对于有图案的氮化硅蚀刻 最好还是采用干
4、式蚀刻为宜 铝的湿法刻蚀 80 磷酸 5 乙酸 5 硝酸和10 水的热溶液 42to45 C 2Al 6 H 2 Al 3H2 蚀刻反应的机制是藉由硝酸将铝氧化成为氧化铝 接着再利用磷酸将氧化铝予以溶解去除 如此反复进行以达蚀刻的效果 温度越高蚀刻速率越快 一般而言蚀刻速率约为1000 3000 min 而溶液的组成比例 不同的温度及蚀刻过程中搅拌与否都会影响到蚀刻的速率 湿式蚀刻铝的同时会有氢气泡的产生 这些气泡会附着在铝的表面 而局部地抑制蚀刻的进行 造成蚀刻的不均匀性 可在蚀刻过程中予于搅动或添加催化剂降低接口张力以避免这种问题发生 钛的湿法刻蚀 1 1双氧水 H2O2 和 酸 H2SO
5、4 混合溶液 Ti 2H2O2 2H2SO4 Ti SO4 2 4H2O双氧水会和Si反应生成SiO2 如需保护Si 则要阻挡层 自对准钛硅化物的形成 光刻胶的湿法刻蚀 光刻胶湿法刻蚀方法比较多 大体分为两种氧化去胶溶剂去胶 氧化去胶 H2SO4 H2O2工艺 该去胶工艺主要是利用H2SO4 H2O2的强氧化性 将胶中的主要成分C H氧化形成CO2和H2O 从而达到去胶的目的 药液配比 H2SO4 浓 H2O2 10 1 体积比 120 10 H2SO4 H2O2去胶工艺不适用于AL后去胶 氧化去胶工艺 SC1工艺 药液配比 NH4OH H2O2 H2O 1 1 5或1 2 10 体积比 去胶
6、原理 SC 1液中的H2O2具有很强的氧化性 可以把有机物和无机物等杂质氧化成高价离子和氧化物而清除 氨水是充当络合剂的作用 与杂质离子形成络合物溶于水中被清除 由于NH4OH易挥发 H2O2易分解 因此 该药液的有效时间较短 目前 规定换液2小时 1 1 5 75 5 或12小时 1 2 10 50 5 内有效 该去胶工艺主要用于SDG POLY及SD注入后的去胶清洗 即干法去胶后去表面的胶丝或POLYMER清洗 溶剂去胶 溶剂去胶主要是利用在溶剂中使聚合物溶胀并分解 溶于该溶剂 从而达到去胶的目的 溶剂 丙酮 50度 MSDS EKC 270 IPA清洗剂 NMP N 甲基吡咯烷酮 异丙酮 去胶后有可能有胶丝残留 感谢亲观看此幻灯片 此课件部分内容来源于网络 如有侵权请及时联系我们删除 谢谢配合
