电子气体深度报告_半导体材料·电子气体投资宝典

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1、 1 59 请务必阅读正文之后的免责条款部分 专 题 半导体行业半导体行业 报告日期 2020 年 3 月 24 日 半导体材料 电子半导体材料 电子气体气体投资宝典投资宝典 电子气体深度报告 行 业 公 司 研 究 半 导 体 行 业 孙芳芳 执业证书编号 S1230517100001 021 80106039 sunfangfang 行业行业评级评级 半导体 看好 Table relate Table relate 相关报告相关报告 1 半导体设备 材料迎来国产代替窗口 期 2020 03 12 2 浙商电子行业点评 GaN 氮化镓 市场的爆发前夜 2020 02 16 3 智能医疗 疫情

2、过后的物联网新机会 2020 02 05 4 半导体行业处于上升轨道 各环节国 产替代有序进行 2018 02 06 5 一 周 行 业 要 闻 及 观 点 传 递 8 21 8 27 2017 08 28 报告撰写人 孙芳芳 数据支持人 蒋鹏 胡硕秋 报告导读报告导读 疫情放大供需矛盾 晶圆厂密集投产 电子特气国产代替速度超预期 投资要点投资要点 疫情是催化剂 放大电子特气供需矛盾疫情是催化剂 放大电子特气供需矛盾 1 国内供给端减少 国内供给端减少 疫情导致国外电子特气制造 物流 运输等等环节受限 造成电子气体在供给端减少 2 国内需求端复苏 国内需求端复苏 国内疫情控制效果明显 各个晶圆

3、厂已经进入全面复工 复产期 需求端全面复苏 3 供需矛盾被放大 供需矛盾被放大 疫情是催化剂 放大国内电子特气供需矛盾 国内需求 增加 国外供给减少 电子特气迎来代替窗口期 新工厂是新工厂是机会 电子特气迎来代替窗口机会 电子特气迎来代替窗口 1 新建晶圆厂投产 新建晶圆厂投产 2020 年 2022 年是中国大陆晶圆厂投产高峰期 以长江 存储 长鑫存储等新星晶圆厂和以中芯国际 华虹为代表的老牌晶圆厂正 处于产能扩张期 未来 3 年将迎来密集投产 2 特气代替窗口期 特气代替窗口期 根据电子特气的特性来推断 新建晶圆厂将是电子特气 国产代替的主要发展企业 国内新建晶圆厂的密集投产为电子特气打开

4、了 最佳代替窗口 部分完成代替 将迎来三百亿市场空间部分完成代替 将迎来三百亿市场空间 1 部分产品完成代替 部分产品完成代替 国内少数电子气体已经完成突破 业绩爆发即将到来 国内电子特气代替主要有四种方式 第一 产能优势来降低成本进入国际 主流晶圆厂 第二 通过收购国际知名公司直接打入核心供应链 第三 通过特定气体进入核心供应商 第四 业务扩展进入供应商名单 2 三三百亿空间已百亿空间已到来到来 根据国内晶圆厂的建设速度和规划 预计 2022 年国 内电子气体市场是 2019 年的两倍 电子气体市场迎来高速发展期 根据 2019 年的 20 亿美元的市场空间 预计 2022 年 中国大陆电子

5、气体市场空 间将会接近 300 亿元大关 关注电子气体标的关注电子气体标的 部分实现国产替代代表厂商有华特气体 ASML 供应商 雅克科技 科美特 昊华 科技 黎明院 光明院 南大光电 飞源气体 以空分气体或者大化工进入半导体领 域 代表企业有巨化股份 中巨芯 三孚股份 金宏气体 凯美特气 和远气体等 风险提示 风险提示 1 客户进展较慢 客户进展较慢 2 价格下降 价格下降 3 景气度下行 景气度下行 行业催化剂 行业催化剂 1 晶圆厂建设超预期 晶圆厂建设超预期 2 国产替代率超预期 国产替代率超预期 证 券 研 究 报 告 table 半导体行业专题半导体行业专题 2 59 请务必阅读正

6、文之后的免责条款部分 正文目录正文目录 1 电子气体是半导体制造的电子气体是半导体制造的 血液血液 7 1 1 集成电路是电子气体主要应用领域 7 1 2 电子气体是电子制造的 血液 9 1 2 1 刻蚀电子气体 11 1 2 2 化学沉积气体 12 1 2 3 离子注入气体 12 1 2 4 外延沉积气体 13 1 2 5 光刻镭射气体 13 1 2 6 惰性保护气体 14 2 半导体材料市场空间广泛半导体材料市场空间广泛 15 2 1 中国半导体材料市场稳步增长 15 2 2 电子气体是半导体制造材料的第二大耗材 16 2 3 政策引导 半导体材料将重点发展 17 2 4 中国电子气体市场

7、空间巨大 18 2 4 1 中国大陆晶圆厂产能持续扩张 18 2 4 2 产能扩张推动气体市场规模增长 20 3 电子气体制备壁垒高电子气体制备壁垒高 21 3 1 技术壁垒 21 3 1 1 气体纯度壁垒 21 3 1 2 气体精度壁垒 22 3 2 黏性壁垒 22 3 3 资质壁垒 22 4 电子气体国产替代势在必行电子气体国产替代势在必行 23 4 1 国内企业奋起直追 23 4 2 欧美企业寡头垄断 24 4 2 1 美国空气化工产品 24 4 2 2 林德集团 26 4 2 3 法国液空集团 27 4 3 日本电子特气 28 4 3 1 昭和电工 28 4 3 2 太阳日酸 30 4

8、 3 3 关东电化工 32 4 3 4 艾迪科 33 table 半导体行业专题半导体行业专题 3 59 请务必阅读正文之后的免责条款部分 4 4 中国电子特气公司 35 4 4 1 中航重工 718 所 37 4 4 2 昊华科技 37 4 4 3 华特气体 40 4 4 4 雅克科技 44 4 4 5 南大光电 47 4 4 6 金宏气体 49 4 4 7 巨化股份 52 4 4 8 凯美特气 53 4 4 9 三孚股份 54 4 4 10 和远气体 56 A 股相关电子气体上市公司股相关电子气体上市公司 58 图表目录图表目录 图 1 2018 年中国特种气体下游细分领域占比 8 图 2

9、 2017 年中国高纯电子气体下游细分领域占比 8 图 3 特种气体分类 8 图 4 各种电子气体在半导体制造种的作用 11 图 5 刻蚀气体的在刻蚀中的作用 11 图 6 化学沉积气体的反应过程 12 图 7 离子注入气体的反应过程 12 图 8 外延气体的反应过程 13 图 9 光刻气体反应过程 14 图 10 氮气作为清洗气体和保护气体 14 图 11 全球半导体材料销售额及增速 单位 十亿美元 15 图 12 各个国家和地区历年半导体材料销售额 单位 十亿美元 15 图 13 2018 年各个国家和地区的销售占比 15 图 14 半导体材料销售额和中国大陆占比 单位 十亿美元 15 图

10、 15 2018 年半导体材料消耗占比 16 图 16 2018 年半导体制造和封装材料占比 16 图 17 2018 年全球半导体前道各材料市场比重 16 图 18 全球半导体前道材料市场预测 16 图 19 2010 2024 年全球晶圆厂产能增加量 单位 百万片 年 等效 8 寸晶圆 18 图 20 2010 2020 中国半导体晶圆厂投资额 单位 亿美元 18 图 21 国家大基金一期投资比例 18 图 22 集成电路用电子特体市场规模 20 图 23 中国电子气体市场规模和增速 20 table 半导体行业专题半导体行业专题 4 59 请务必阅读正文之后的免责条款部分 图 34 气体

11、合成流程 21 图 25 气体混配流程 21 图 26 中国大陆电子气体市场占比 23 图 27 公司营收持续增长 25 图 28 公司净利润情况 25 图 29 法国液空集团销售毛利率及净利率情况 26 图 30 公司营收持续增长 27 图 31 公司净利润情况 27 图 32 法国液空集团销售毛利率及净利率情况 28 图 33 公司营收持续增长 29 图 34 公司净利润情况 29 图 35 昭和电工销售毛利率及净利率情况 30 图 36 日本太阳日酸 110 年发展历史 30 图 37 公司营收持续增长 31 图 38 公司净利润情况 31 图 39 日本太阳日酸销售毛利率及净利率情况

12、32 图 40 公司营收持续增长 33 图 41 公司净利润情况 33 图 42 关东电化工销售毛利率及净利率情况 33 图 43 公司营收持续增长 34 图 44 公司净利润情况 34 图 45 ADEKA 销售毛利率及净利率情况 35 图 46 2019 2021 年全球 NF3 市场供需结构 36 图 47 黎明院营业收入 毛利率 净利率情况 40 图 48 黎明院板块构成收入占比 40 图 49 光明院营业收入 毛利率 净利率情况 40 图 50 光明院板块构成收入占比 40 图 51 公司营收持续增长 40 图 52 公司净利润情况 40 图 53 公司营收持续增长 44 图 54

13、公司净利润情况 44 图 55 公司主营业务构成 44 图 56 公司销售毛利率与净利率情况 44 图 57 科美特历史营收和净利润情况 亿元 45 图 58 六氟化硫 四氟化碳 三氟化氮单价 万元 吨 45 图 59 公司营收持续增长 47 图 60 公司净利润情况 47 图 61 公司主营业务构成 47 图 62 公司销售毛利率与净利率情况 47 图 63 公司营收持续增长 49 图 64 公司净利润情况 49 图 65 公司主营业务构成 49 图 65 公司销售毛利率与净利率情况 49 图 66 公司营收持续增长 51 table 半导体行业专题半导体行业专题 5 59 请务必阅读正文之

14、后的免责条款部分 图 67 公司净利润情况 51 图 68 公司主营业务构成 51 图 69 公司销售毛利率与净利率情况 51 图 70 公司营收持续增长 53 图 71 公司净利润情况 53 图 72 公司主营业务构成 53 图 73 公司销售毛利率与净利率情况 53 图 74 公司营收持续增长 54 图 75 公司净利润情况 54 图 76 公司主营业务构成 54 图 77 公司销售毛利率与净利率情况 54 图 78 公司营收持续增长 56 图 79 公司净利润情况 56 图 80 公司主营业务构成 56 图 81 公司销售毛利率与净利率情况 56 图 82 公司营收持续增长 57 图 8

15、3 公司净利润情况 57 图 84 公司主营业务构成 57 图 85 公司销售毛利率与净利率情况 57 表 1 电子气体分类 7 表 2 电子特种气体及电子大宗气体占比 7 表 3 集成电路线宽与电子气体纯度 9 表 4 不同气体在半导体制造中的作用 10 表 5 2019 年部分地区相关布局 17 表 6 中国地区新增晶圆厂情况 19 表 7 光刻气体种类 22 表 8 中国电子气体代表产品 24 表 9 美国空气化工产品气体种类及应用领域 25 表 10 林德集团气体种类及应用领域 26 表 11 法国液空电子材料种类及应用领域 27 表 12 昭和电工半导体材料种类及应用领域 29 表

16、13 日本太阳日酸气体种类及应用领域 31 表 14 关东化工气体种类及应用领域 32 表 15 艾迪科半导体材料种类及应用领域 34 表 16 中航重工 718 所 气体种类及应用领域 37 表 17 昊华科技电子特气产能及应用领域 39 表 18 昊华科技电子特气对应的收入 39 表 19 华特气体电子气体情况 41 表 20 华特气体产品实现进口替代的具体过程和表现 42 表 21 华特气体光刻气体销售情况 42 表 22 华特气体下游客户及在手订单销售情况 43 表 23 华特气体特种气体销售情况 43 表 24 科美特营收收入 成本预测 46 table 半导体行业专题半导体行业专题 6 59 请务必阅读正文之后的免责条款部分 表 25 科美特营收收入 成本预测 46 表 26 公司的特气种类及产能情况 48 表 27 飞源气体产品客户进展 48 表 28 电子特种气体与电子大宗气体在不同应用领域占比 50 表 29 金宏气体特气收入主要来源 50 表 30 公司的储备 在研产品 技术情况 51 表 31 巨化股份 中巨芯 电子气体情况 52 表 32 凯美特气电子气体情况