PCB电镀沉铜药水控制工艺

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1、平板现行工艺参数及其控制范围、监测频次缸名/容积控制项目控制范围调整值分析频率酸性除油7号温度2530281次/8hH2SO41050 ml /L30 ml/L3次/周FR1050ml/L30 ml/L3次/周浸硫酸450LH2SO460100ml/L80 ml/L1次/周镀铜缸1318H2SO4100120ml/L110 ml/L3次/周硫酸铜5水6080g/L70 g/L2次/周Cl-40-70ppm55 ppm2次/周赫氏槽片3次/周温度2028241次/班退镀缸56缸HNO3250280g/L260 g/L2次/周平板现行开缸及补充、换缸要求缸号缸名及容积配缸步骤(按顺序)补充、换缸要

2、求操作条件与要求7酸性除油450L加入1/2体积DI水,加入硫酸(50%)35 L,再加入除油剂FR 15L,加DI水至合适液位。化学室分析补加8000500 m2更换温度282颜色开缸无色,之后淡蓝色10浸硫酸缸450L加入1/2体积DI水,加入50%硫酸 90 L;加入DI水至合适液位1.5L100 m2 5000500 m2更换温度室温颜色开缸无色,之后淡蓝色13、14、15、16、17、18镀铜缸 (共有6个大铜缸,两个集液槽总体积13000L)加入1/2体积DI水,小心加入50% H2SO4 3720 L,加入CuSO45H2O 910 kg,加DI水至合适液位。冷却后分析调整Cl-

3、含量,调整氯离子含量达到5070ppm;加入40 L酸铜添加剂,循环充分后做赫氏槽片,根据试验效果添加酸铜补充剂和酸铜添加剂进度调整,(按5:1比例),化学室分析并试产。化学成分由化学室分析调整。酸铜补充剂,酸铜添加剂均采用自动添加,一般为每100AH添加8- 10ml,特殊情况下由工艺确定。温度20-28过滤10m滤芯,每月更换打气打气充分液位低于阳极袋口2-2.5cm颜色深蓝色42退镀缸300L有退镀母液先加入退镀母液,,然后加入HNO3(浓),按加硝酸量的13补水,保证循环正常;化学室分析并调整硝酸至合适浓度。新配退镀缸需加硝酸120L,加水40L1020L/1000 m2温度室温颜色深

4、蓝色平板药缸工艺操作规范药缸名称 槽积(L)温度范围调整值测量频次循环过滤打气槽寿命酸性除油45025-30281次/天有无8000 m2 浸硫酸缸450室温1次/天无无镀铜13000L22-25241次/班 有适当退镀300L室温1次/周有无工艺通知图电工艺参数及其控制范围、监测频次缸名/容积控制项目控制范围调整值分析 方法分析频率酸性除油900L温度25-3028员工实测1次/8hH2SO45-8%6%化学分析1次/天FR5-8%6%化学分析1次/天微蚀480L温度25-3028员工实测1次/8hNPS20-60 g40 g/L化学分析1次/天H2SO440-60ml/L50 ml/L化学

5、分析1次/天浸硫酸480LH2SO460-100 ml/L 80 ml /L化学分析2次/周镀铜缸22400LH2SO4100-120 ml /L110 ml /L化学分析2次/周CuSO45H2O60-80 g /L70 g/L化学分析2次/周Cl-40-70ppm55ppm化学分析2次/周赫氏槽片化学室2次/周温度20-2823员工实测1次/8h预浸氟硼酸480L氟硼酸25-45 g/L35 g/L化学分析2次/周镀锡铅4200L氟硼酸100-160 g/L130 g/L化学分析2次/周氟硼酸铅812 g/L10 g/L化学分析2次/周氟硼酸亚锡1220 g/L16 g/L化学分析2次/周

6、温度20-2826员工实测1次/8h退镀缸 HNO3200-280 g/L250 g/L化学分析1次/周图电开缸及补充、换缸要求缸号缸名及容积配缸步骤(按顺序)补充、换缸要求操作条件与要求14/15酸性除油900L加入1/2体积DI水,加入硫酸(50%)140 L,再加入除油剂FR 54 L,加DI水至合适液位。化学室分析补加8000500 m2更换温度305颜色开缸无色,之后淡蓝色18微蚀480L留母液50L左右,加入1/2体积DI水,加入50%硫酸60L;再加入20 kg NPS,最后加入DI水至合适液位每周更换温度28322浸硫酸缸480L加入1/2体积DI水,加入50%硫酸100 L

7、,加入DI水至合适液位6.5L500 m2 8000500 m2更换温度室温颜色开缸无色,之后淡蓝色24-39镀铜缸 (22400)加入1/2体积DI水,小心加入50% H2SO4 6400 L,加入CuSO45H2O 1560 kg,加DI水至合适液位。冷却后分析调整Cl-含量,加入67 L酸铜添加剂,循环充分后做赫氏槽片,根据试验效果添加酸铜补充剂和酸铜添加剂进度调整,(按5:1比例),化学室分析并试产。化学成分由化学室分析调整。酸铜补充剂,酸铜添加剂均采用自动添加,一般为每1000Ah添加 8-10 ml,特殊情况下由工艺确定。温度20-25过滤10m滤芯,每月更换打气打气充分液位低于阳

8、极袋口2-2.5cm颜色深蓝色13预浸氟硼酸缸加入1/2体积DI水,加入氟硼酸 36L搅拌均匀;再加入DI水至合适液位每200m2补充1L、特殊情况由工艺人员酌定1012镀锡铅缸加入1/2体积DI水、加入氟硼酸980 L、 氟硼酸锡182 L、氟硼酸铅63 L、加入硼酸84 kg (用60DI水预先溶解)加锡添加剂B 126 L、 锡添加剂A 84 L加入DI水至合适液位,拖缸处理30分钟,电流密度1.5A/dm2 。定期补充硼酸(遇特殊情况由有关工艺人员酌定)57退镀缸400L有退镀母液先加入退镀母液,然后加入HNO3(浓),按加硝酸量的13补水,保证循环正常;化学室分析并调整硝酸至合适浓度

9、。新配退镀缸需加水60L,加硝酸 180L,开启循环,调整循环缸液位,保证循环正常,化学室分析硝酸浓度并调整铜离子浓度.20L/1000m2温度室温图电药缸工艺操作规范药缸名称槽积(L)循环过滤打气槽寿命酸性除油900有无8000 m2微蚀480有有每周更换或铜含量超过35g/l换缸浸硫酸缸480无无8000 m2镀铜22400有有工艺要求浸氟硼酸缸480无无10000 m2镀锡铅缸4200有无工艺要求退镀400有无工艺要求4.2.3沉铜线各药水缸工艺控制要求:(罗门哈斯药水体系)序号药缸名称参考时间(min)控制项目规格范围调整值1溶胀340L6-9澎松剂MLB211NaOH温度10%-13

10、%-16%30g/L-40g/L70-8013%35g/L752凹蚀430L9-12KMnO4K2MnO4NaOH温度再生电流40-60g/L25g/L40-50g/L70-80100-150A50g/L45g/L753预中和340L0.5-1.0H2O2 (30%) H2SO4(50%)温度5-15mL/L10-20mL/L室温10mL/L15mL/L4中和340L2-3中和剂3316H2SO4H2O2(30%)温度40-50ml/L10-30mL/L10ml-20ml/L20-2545ml/L20ml/L15ml/L225除油340L5-7除油剂3325温度8%-10%-12%60-701

11、0%676微蚀370L1-2H2SO4NPS Cu2+ 微蚀速率温度15-25mL/L30-70g/LCu2+1.12Cu2+1.134Pd强度:55-75%3-12g/L2g/L42-45240g/L65%4g/L4310沉铜770L15-18铜NaOH甲醛EDTA比重沉铜厚度温度1.7-2.3g/L9.5-11.5g/L3-5g/L25-35g/LS.G1.120.25-0.625m30-362.0g/L10.5g/L4g/L30g/LS.G1.120.4m324.2.4沉铜生产线药水补充用量缸号化学药品补充份量(每一百平米补充量)溶胀缸澎松剂MLB211NaOH1L300g/L的溶液1 L凹蚀缸KMnO4NaOH1 Kg300g/L的溶液2 L中和缸H2SO4(50%)H2O2 (30%)中和剂33164 L1.5 L除油缸除油剂33251.5 L微蚀缸H2SO4(50%)NPS5 L5 Kg预浸缸预浸盐4042.5 Kg活化缸预浸盐404配成50g/L(20%)的水溶液,补充液位活化剂44400 mL沉铜缸NaOH300g/L的溶液10 L甲醛7 L沉铜液880A5 L沉铜液880E3.5 L 4.2.5沉铜线各缸药水分析频次缸名控制项目范围分析频率沉铜缸NaOH8.511.5 g/L1次/4H甲醛3.05.0 g/L1次/4H880A(Cu2+)

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