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1、 25 kV25 kV 15 kV15 kV 5 kV5 kV 公式中 d为电子束斑直径 为孔径角 Cs为末级透镜的球差系数 为入射电子波 长 Ip为电子束电流 为电子束的亮度 如何高效利用扫押B镜拍出高质量的匹门初寸园丿人N4949999944444444904449494VT11如何利用扫描电镜拍出高质量的一、扫描电镜的工作原理、扫描电镜的构造、扫描电镜的成像(衬度)原理影响扫描电镜像质量的主要因素、操作要点六、样品制备11LHH一、扫描电镜的工作原理汇直表电及转反电子枪发射的电子束经两级聚光镜及物镜的精,形成具有一定能量、一定束流强度和束斑径的微细电子束,在扫描线圈驱动下,于试样面按一定
2、时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦子束与试样相互作用,产生二次电子发射(以其它物理信号,二次电子信号被探测器收集换成电讯号,经视频放大后输入到显像管得到映试样表面形貌的二次电子像。扫描电镜成像的物理信号“背散射电子它是被固体样品中原子反射回来的一部分入射电子。又分弹性背散射电子和非弹性背散射电子,前者是指只受到原子核单次或很少几次大角度弹性散射后即被反射回来的入射电子,能量没有发生变化;后者主要是指受样品原子核外电子多次非弹性散射而反射回来的电子。二次电子它是被入射电子束轰击出来的样品核外电子,又称为次级电子。在样品上方装一个电子检测器来检测不同能量的电子,结果如图所示。二次电子的能量比较低,一般小于50eV;背散射电子的能量比较高,其约等于入射电子能量E0。u榛吁电子能谱团一次电孔.初次肤散射电一|多次非弹性散射目单次芸弹性散射_l乙了教日特征X射线特征X射线是原子的内层电子受到激发之后,在能级跃迁过程中直接释放的具有特征能量和波长的一种电磁波辐射。
