【精编】电子工厂洁净厂房设计规范范本

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1、国家标准 电子工厂洁净厂房设计规范 中强制性条文GB50472 2008 陈霖新中国电子工程设计院2009年07月 1 电子工厂洁净厂房特点2 章节内容简介3 强制性条文等介绍4 结语 1 电子工厂洁净厂房特点 电子产品生产发展迅猛IC特征尺寸0 05 m 12 16 64GTFT第六代产品对化学污染物的严格要求大面积 大体量 组合式 多层洁净厂房投资大 能量消耗大 1 电子工厂洁净厂房特点 集成电路对化学污染物的控制指标 电子工厂洁净厂房的特点 微粒控制十分严格 要求控制0 02 m甚至更小粒径ISO1级或更严格 高纯物质 包括高纯水 高纯气体高纯化学品的供应 输送 对微振控制十分严格 需制

2、定切实可行的规定对防静电 电磁兼容等大体量 多层单向流洁净室 二层 三层布置数万m2 1 电子工厂洁净厂房特点 1 电子工厂洁净厂房特点 表1国内外一些微电子洁净厂房的高度和洁净生产区面积 1 电子工厂洁净厂房特点 表1国内外一些微电子洁净厂房的高度和洁净生产区面积 1 电子工厂洁净厂房特点 表22几类电子产品所需气体品种 1 电子工厂洁净厂房特点 表25集成电路芯片 64M 生产过程部分化学品的质量要求 1 电子工厂洁净厂房特点 表128 大规模集成电路生产用高纯水质量指标 前工序 1 电子工厂洁净厂房特点 集中新风处理 各种循环新风 集中送风方式 FFU 隧道送风 1 电子工厂洁净厂房特点

3、 美国消防标准 强制性标准 NFPA318 洁净室消防标准 StandardfortheProtectionofCleanrooms 2000 第1章总则 范围 目的 适用性 等同性 术语等 第2章消防自动灭火系统 报警系统和检测系统 烟感 可燃气体等 第3章通风和排风系统 送风和循环风 局部排风 排烟系统 第4章土建 洁净区与非洁净区的分隔等 第5章化学品贮存和处理 对危险化学品贮存 分配间的设计 建造要求等 第6章危险气体钢瓶的存放 分配 第7章大宗硅烷系统 管式拖车 集装气瓶 第8章生产与辅助设备 工艺液体加热设备 电气设备 真空泵等 第9章出入口方式 按NFPA101生命安全规范进行设

4、计 第10章参照出版物 所列NFPA或ASTM或SEMI等 被认为是标准的一部分 1 电子工厂洁净厂房特点 2 章节内容安排 1 总则2 术语3 电子产品生产环境设计要求3 1一般规定3 2生产环境设计要求4 总体设计4 1位置选择和总平面布置4 2洁净室形式4 3洁净室布置和综合协调5 工艺设计5 1一般规定5 2工艺布局5 3人员净化5 4物料净化5 5设备及工器具 6 洁净建筑设计6 1一般规定6 2防火与疏散6 3室内装修7 空气净化7 1一般规定7 2气流流型和送风量7 3净化空调系统7 4空气净化设备7 5采暖通风7 6排烟7 7风管 附件8 给水排水设计8 1一般规定8 2给水

5、8 3排水8 4雨水8 5消防给水和灭火设备9 纯水9 1一般规定9 2纯水系统9 3管材 阀门和附件10 气体供应10 1一般规定10 2常用气体系统10 3干燥压缩空气系统10 4特种气体系统11 化学品供应11 1一般规定11 2化学品储存 输送11 3管材 阀门 12 电气设计12 1配电12 2照明12 3通信及安全保护装置12 4自动控制12 5接地13 防静电与接地设计13 1一般规定13 2防静电措施13 3防静电接地14 噪声控制14 1一般规定14 2噪声控制设计15 微振控制15 1一般规定15 2容许振动值15 3微振动控制设计 2 章节内容安排 附录A各类电子产品生产

6、对洁净度等级的要求附录B电子产品生产间 工序火灾危险性分类举例附录C一些精密设备 仪器仪表的允许振动值附录D洁净室 区 性能测试和认证本规范用词说明附 条文说明 2 章节内容安排 3 强制性条文等介绍 1 0 2本规范适用于新建 扩建和改建的电子工业洁净厂房设计 1 0 3电子工业洁净厂房的设计应满足需洁净环境的电子产品生产工艺要求 并应根据具体情况为今后产品生产发展或生产工艺改进的需要预留条件 1 0 5电子工业洁净厂房设计除应执行本规范外 尚应符合国家现行有关标准的规定 3 2 2各种电子产品 有关工序的空气洁净度等级根据产品生产工艺要求确定 无要求时 可参照附录A要求确定 3 2 3洁净

7、室 区 的温度和相对湿度应按表3 2 3确定 3 2 5单向流和混合流洁净室 区 的的噪声级 空态 不应大于65dB A 非单向流洁净室 区 的噪声级 空态 不应大于60dB A 表3 2 3洁净室 区 温度和相对湿度要求 3 强制性条文等介绍 4 2 2电子工厂洁净厂房垂直单向流洁净室的空间应包括活动地板以下的下技术夹层 洁净生产层和吊顶以上的上技术夹层 4 2 3洁净室型式的选择应综合生产工艺要求 节约能源 减少投资和降低运行费用等因素确定 各种空气洁净度等级的电子工业洁净厂房宜采用混合流洁净室 对空气洁净度净度要求严格时 宜采用微环境等型式 4 3 3洁净室 区 内应少分隔 但下列情况应

8、设隔墙 1按火灾危险性分类 甲 乙类的房间与相邻的生产区段或房间之间 或有防火分隔要求时 2在电子产品生产过程中 经常不同时使用的两个生产区段或房间之间 3生产过程中排放影响产品质量的有害气体或化学污染物的工序 设备 宜分隔设独立房间 3 强制性条文等介绍 5 4 2物料净化用室与洁净室 区 之间应设置气闸室或传递窗 5 5 6电子工厂洁净厂房内 设置真空泵时 应符合下列规定 1 使用油润滑的真空泵应设置除油装置 除油后尾气排入排气系统 2 对传输含有可燃气体的真空泵 若可燃气体浓度超过爆炸下限的20 时应设尾气处理装置 去除 稀释 可燃气体组份后才能排入排气系统 3 传输易燃 自燃化学品或高

9、浓度氧气的真空泵 应采用不燃泵油 并应配置氮气吹扫 吹扫控制阀与生产工艺设备操作系统联锁 3 强制性条文等介绍 6 2 l洁净厂房的耐火等级不应低于二级 6 2 3洁净厂房内防火分区的划分 应符合现行国家标准 建筑设计防火规范 GB50016的有关规定 丙类生产的电子工业洁净厂房的洁净室 区 在关键生产设备设有火灾报警和灭火装置以及回风气流中设有灵敏度严于0 01 obs m的高灵敏度早期火灾报警探测系统后 其每个防火分区的最大允许建筑面积可按生产工艺要求确定 6 2 4洁净室的上技术夹层 下技术夹层和洁净生产层 当按其构造特点和用途作为同一防火分区时 上 下技术夹层的面积可不计入防火分区的建

10、筑面积 但应分别采取相应的消防措施 3 强制性条文等介绍 微电子洁净厂房消防设施现状 火灾报警系统 热感型 烟感型 早期烟雾探测器等 3 强制性条文等介绍 微电子洁净厂房消防设施现状 火灾报警系统 热感型 烟感型 早期烟雾探测器等 3 强制性条文等介绍 高灵敏度早期烟雾探测装置 VESDA VeryEarlySmokeDetectorApparatus 或空气取样式烟雾探测系统 AirSamplingTypeSmokeDetectionSystem 空气采样烟雾报警装置 3 强制性条文等介绍 3 强制性条文等介绍 VESDA与一般烟雾探测器的比较 3 强制性条文等介绍 6 2 6在综合性厂房的

11、一个防火分区内 洁净生产区域与一般生产区域之间应设置不燃烧体隔断设施 不燃烧体隔断设施应符合现行国家标准 洁净厂房设计规范 GB50073的有关规定 6 2 7洁净厂房的安全出口的设置 应符合下列规定 1每一生产层 每个防火分区或每一洁净室的安全出口数目 应符合现行国家标准 洁净厂房设计规范 GB50073的有关规定 2安全出口应分散布置 并应设有明显的疏散标志 安全疏散距离应符合现行国家标准 建筑设计防火规范 GB50016的有关规定 安全疏散用门应向疏散方向开启 并应设观察玻璃窗 3丙类生产的电子工业洁净厂房 在关键生产设备自带火灾报警和灭火装置以及回风气流中设有灵敏度严于0 01 obs

12、 m的高灵敏度早期火灾报警探测系统后 安全疏散距离可按工艺需要确定 但不得大于本条第2款规定的安全疏散距离的1 5倍 注 对于玻璃基板尺寸大于1500mm 1850mm的TFT LCD厂房 且洁净生产区人员密度小于0 02人 m2 其疏散距离应按工艺需要确定 但不得大于120m 3 强制性条文等介绍 6 2 8洁净厂房的洁净区各层外墙应设置专用消防口 并应符合下列规定 1洁净区各层专用消防口的设计 应符合现行国家标准 洁净厂房设计规范 GB50073的有关规定 2洁净厂房外墙上的吊门 电控自动门以及装有栅栏的窗 均不应作为专用消防口 6 2 9洁净厂房内有爆炸危险的房间应靠建筑外墙布置 且不得

13、与疏散安全口 楼梯间 贴邻 有爆炸危险的房间的防爆措施 泄爆面积等应符合现行国家标准 建筑设计防火规范 GB50016的有关规定 3 强制性条文等介绍 6 3 1洁净厂房的建筑围护结构和室内装修 应选用气密性良好 且在温度和湿度变化时变形小的材料 洁净室装饰材料及其密封材料不得采用释放对电子产品品质有影响物质的材料 装修材料的燃烧性能应符合现行国家标准 建筑内部装修设计防火规范 GB50222的有关规定 装修材料的烟密度等级不应大于50 材料的烟密度等级应符合现行国家标准 建筑材料燃烧或分解的烟密度试验方法 GB T8627的有关规定 6 3 4洁净厂房技术夹层的墙壁和顶棚应满足使用功能要求

14、且表面应平整 光滑 位于地下的技术层或技术夹层应采取防水或防潮 防霉措施 3 强制性条文等介绍 7 1 6洁净室 区 与周围的空间应保持一定的静压差 静压差应符合下列规定 1各洁净室 区 与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定 2不同等级的洁净室 区 之间的静压差应大于等于5Pa 3洁净室 区 与非洁净室 区 之间的静压差应大于5Pa 洁净室 区 与室外的静压差应大于10Pa 7 2 1气流流型的设计 应符合下列要求 1气流流型应满足产品生产工艺和空气洁净度等级的要求 空气洁净度等级为1 5级时 应采用单向流或混合流 空气洁净度等级为6 9级时 宜采用非单向流 2洁净室工作区的气流流速应满足生

15、产工艺和工作人员健康的要求 3 强制性条文等介绍 7 2 2洁净室的送风量 应符合现行国家标准 洁净厂房设计规范 GB50073的有关规定 7 2 3洁净室 区 所需的满足空气洁净度等级的洁净送风量和气流流型 宜按表7 2 3计算 表7 2 3洁净送风量 静态 和气流流型 注 1换气次数适用于层高小于4 0m的洁净室 2室内人员少 热源少时 宜采用下限值 3 强制性条文等介绍 7 3 3净化空调系统新风的室外吸入口位置 应远离本建筑或其它建筑物排放有害物质或可燃物的排气口 7 3 5净化空调系统设计应合理利用回风 但下列情况不得回风 1在生产过程中向车间内散发的有害物质超过规定时 2采用局部处

16、理不能满足卫生要求时 3对其它工序有危害或不能避免交叉污染时 3 强制性条文等介绍 7 5 1空气洁净度等级严于8级的洁净室 区 不应采用散热器采暖 7 5 3洁净室 区 的排风系统设计 应符合下列要求 1应防止室外气流倒灌 2含有易燃 易爆物质的局部排风系统应按其物理化学性质采取相应防火防爆措施 3局部排风系统排出的有害气体 当其有害物质浓度超过排放标准时 应采取有效处理措施 排气管高度和排放速率应满足国家现行有关排放标准的规定 4对含有水蒸汽或凝结物质的排风系统 应设置坡度及排放口 5排风介质中含有剧毒物质时 应设置备用排风机和处理设备 并应设置应急电源 6排风介质中含易燃 易爆等危险物质或工艺可靠性要求较高时 应设置备用排风机 并应设置应急电源 7排除有爆炸危险的气体和粉尘的局部排风系统 其风量应按在正常运行和事故情况下 风管内爆炸危险的气体和粉尘的浓度不大于爆炸下限的20 计 8排除有爆炸危险的气体和粉尘的局部排风系统 应设置消除静电的接地装置 3 强制性条文等介绍 7 5 4对排风系统中含有毒性 爆炸危险性物质的排气管路 应保持相对于路由区域一定的负压值 7 5 6洁净室 区