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1、硅片等级分类及标准一、优等品1：硅片表面光滑洁净。2：TV：22020m。3：几何尺寸：边长1250.5mm；对角1500.5mm、1480.5mm、1650.5mm；边长1030.5mm、对角1350.5mm；边长1500.5mm 、1560.5mm、对角2030.5mm、2000.5mm。同心度：任意两个弧的弦长之差1mm。垂直度：任意两边的夹角：900.3。二、合格品 一级品：1：表面有少许污渍、轻微线痕。2：22020m TV22030m。3：几何尺寸：边长1250.5mm；对角1500.5mm、1480.5mm、1650.5mm；边长1030.5mm、对角1350.5mm；边长150
2、0.5mm 、1560.5mm、对角2030.5mm、2000.5mm。同心度：任意两个弧的弦长之差1.2mm。垂直度：任意两边的夹角：900.5。二级品：1：表面有少许污渍、线痕、凹痕，轻微崩边。2： 22030m TV22040m。3：凹痕：硅片表面凹痕之和30m。4：崩边范围：崩边口不是三角形状，崩边口长度1mm，深度0.5mm5：几何尺寸：边长1250.52mm；对角1500.52mm、1480.52mm、1650.52mm；边长1030.52mm、对角1350.52mm；边长1500.52mm 、1560.52mm、对角2030.52mm、2000.52mm。同心度：任意两个弧的弦长之差1.5mm。垂直度：任意两边的夹角：900.8。三级品： 1：表面有油污但硅片颜色不发黑，有线痕和硅落现象。2：22040m TV22060m。3：硅落：整张硅片边缘硅晶脱落或部分硅晶脱落。三、不合格品严重线痕、厚薄片：TV22060m。崩边片：有缺损但可以改103的硅片。气孔片：硅片中间有穿孔 。外形片：切方滚圆未能磨出的硅片。倒角片（同心度）：任意两个弧的弦长之差1.5mm。菱形片（垂直度）：任意两边的夹角900.8。凹痕片：硅片两面凹痕之和30m。脏片：硅片表面有严重污渍且发黄发黑。尺寸偏差片：几何尺寸超过二级品的范围。 注：以上标准针对的硅片厚度为220m。
