《ATHM 磁悬浮分子泵安装注意事项培训》由会员分享，可在线阅读，更多相关《ATHM 磁悬浮分子泵安装注意事项培训（27页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、ATHM系列磁悬浮分子泵系列磁悬浮分子泵 安装注意事项培训安装注意事项培训 ATHM磁悬浮分子泵使用注意事项培训 2 All rights reserved 2004 Alcatel Alcatel 磁悬浮磁悬浮分子泵分子泵 磁悬浮复合型分子泵磁悬浮复合型分子泵 从从 400 400 400 400 l l l l s s s s 到到 2300 2300 2300 2300 l l l l s s s s磁悬浮复合型分子泵磁悬浮复合型分子泵 从从 400 400 400 400 l l l l s s s s 到到 2300 2300 2300 2300 l l l l s s s s AT
2、H400M ATH1300M ATH1600M ATH2300MATH400M ATH1300M ATH1600M ATH2300M ATHM磁悬浮分子泵使用注意事项培训 3 All rights reserved 2004 Alcatel 温度传感器 吹扫气体 马达 分子牵引级 定子 转子 支撑轴承 水冷系统 径向磁性轴承 排气 轴向磁性轴承 横截面横截面 Alcatel 磁悬浮磁悬浮分子泵的工作原理分子泵的工作原理 ATHM磁悬浮分子泵使用注意事项培训 4 All rights reserved 2004 Alcatel Alcatel 磁悬浮磁悬浮分子泵的工作原理分子泵的工作原理 Sig
3、nal processing V0V0V0V0 Rotor V0 V0 V0 V0 VpVpVpVp VpVpVpVp AlcatelAlcatelAlcatelAlcatel采用采用ACTIDYNEACTIDYNEACTIDYNEACTIDYNE 磁力轴磁力轴 承承 S S S S2 2 2 2MMMM专利专利 对转子进行五轴 对转子进行五轴 控制 控制 位置传感器可获得各个轴向上的位置传感器可获得各个轴向上的 偏移量 根据该偏移量 控制器偏移量 根据该偏移量 控制器 改变该轴向上的磁力轴承电流 改变该轴向上的磁力轴承电流 从而使转子重新回到合理的位置 从而使转子重新回到合理的位置 ATHM
4、磁悬浮分子泵使用注意事项培训 5 All rights reserved 2004 Alcatel Alcatel 磁悬浮磁悬浮分子泵的工作原理分子泵的工作原理 氮气吹扫可保氮气吹扫可保 护分子泵的轴护分子泵的轴 承 电机等不承 电机等不 受到工艺气体受到工艺气体 的侵蚀 的侵蚀 ATHM磁悬浮分子泵使用注意事项培训 6 All rights reserved 2004 Alcatel Alcatel 磁悬浮磁悬浮分子泵的工作原理分子泵的工作原理 对于工作在较高压力或流量对于工作在较高压力或流量 较大的工艺 沉积物容易累较大的工艺 沉积物容易累 积在靠排气口端从而造成泵积在靠排气口端从而造成泵
5、 的损坏 的损坏 内置加热带可以帮助泵运行内置加热带可以帮助泵运行 在较高温度 最高在较高温度 最高75757575摄氏摄氏 度 从而避免沉积物的累度 从而避免沉积物的累 积 积 加热带由控制器进行温度控加热带由控制器进行温度控 制 制 ATHMTATHMTATHMTATHMT型分子泵已随型分子泵已随 泵携带冷却水阀泵携带冷却水阀 ATHM磁悬浮分子泵使用注意事项培训 7 All rights reserved 2004 Alcatel Alcatel 磁悬浮磁悬浮分子泵的工作原理分子泵的工作原理 分子泵转速的调节分子泵转速的调节 待机转速 待机转速 StandbyStandbyStandby
6、Standby ATHMATHMATHMATHM磁悬浮分子泵的转速可以调节运行在最低待机转速与额定转速磁悬浮分子泵的转速可以调节运行在最低待机转速与额定转速 之间 这样可以根据客户的工艺情况 如运行在较高压力下 使泵之间 这样可以根据客户的工艺情况 如运行在较高压力下 使泵 运行在最优状态 运行在最优状态 对于分子泵进气口压力对于分子泵进气口压力 0 1 0 1 0 1 0 1 mbarmbarmbarmbar的情况 分子泵转速可以调节的情况 分子泵转速可以调节 在以下范围 在以下范围 最低转速最低转速 15000 15000 15000 15000 rpmrpmrpmrpm 最高转速最高转速
7、 34000 34000 34000 34000 rpmrpmrpmrpm ATHATHATHATH1300130013001300MMMM MTMTMTMT 39000 39000 39000 39000 rpmrpmrpmrpm ATHATHATHATH1600160016001600MMMM MTMTMTMT 31000 31000 31000 31000 rpmrpmrpmrpm ATHATHATHATH2300230023002300MMMM MTMTMTMT ATHM磁悬浮分子泵使用注意事项培训 8 All rights reserved 2004 Alcatel Alcatel
8、磁悬浮磁悬浮分子泵的安装分子泵的安装 磁悬浮分子泵的安装要求磁悬浮分子泵的安装要求 磁悬浮分子泵运行时所具备的动能非常高 泵出现机械故障或发生意外磁悬浮分子泵运行时所具备的动能非常高 泵出现机械故障或发生意外 时 没有正确安装的泵完全可能时 没有正确安装的泵完全可能 由于动能传递到泵体而使得泵脱由于动能传递到泵体而使得泵脱 离设备从而造成事故 离设备从而造成事故 当泵在运行过程中转子突然卡死时 当泵在运行过程中转子突然卡死时 转子的动能将被传递到泵体和设备转子的动能将被传递到泵体和设备 上 上 通过模拟分子泵损坏时的最坏状况通过模拟分子泵损坏时的最坏状况 转子在全速时碎成两半 可以 转子在全速
9、时碎成两半 可以 知道三种顺时负载的状况 知道三种顺时负载的状况 ATHM磁悬浮分子泵使用注意事项培训 9 All rights reserved 2004 Alcatel Alcatel 磁悬浮磁悬浮分子泵的安装分子泵的安装 轴向载荷轴向载荷 转子可能弹出分子泵进气口 从而影响到进口阀门或系统中的其他部件 转子可能弹出分子泵进气口 从而影响到进口阀门或系统中的其他部件 如果该部件离分子泵进口很近且有较高的硬度 则系统将承受较高的如果该部件离分子泵进口很近且有较高的硬度 则系统将承受较高的 轴向载荷 轴向载荷 弯矩弯矩 转子将会对泵体产生径向的力 而转子将会对泵体产生径向的力 而 该径向力则最
10、终造成对整个系统产该径向力则最终造成对整个系统产 生一定的弯矩 生一定的弯矩 扭矩扭矩 转子在减速过程中将产生一定的扭转子在减速过程中将产生一定的扭 矩 并最终传递给系统 矩 并最终传递给系统 ATHM磁悬浮分子泵使用注意事项培训 10 All rights reserved 2004 Alcatel Alcatel 磁悬浮磁悬浮分子泵的安装分子泵的安装 最大轴向载荷与最大弯矩基本上发生在同一时间 而最大最大轴向载荷与最大弯矩基本上发生在同一时间 而最大 扭矩则一般会延迟几毫秒之后才发生 扭矩则一般会延迟几毫秒之后才发生 ATHM磁悬浮分子泵使用注意事项培训 11 All rights res
11、erved 2004 Alcatel Alcatel 磁悬浮磁悬浮分子泵的安装分子泵的安装 ATHATHATHATH1300130013001300MMMM ATHATHATHATH2300230023002300MMMM 最大轴向载荷 弯矩以及扭最大轴向载荷 弯矩以及扭 矩一览 矩一览 ATHM磁悬浮分子泵使用注意事项培训 12 All rights reserved 2004 Alcatel Alcatel 磁悬浮磁悬浮分子泵的安装分子泵的安装 因此 在安装分子泵 因此 在安装分子泵 紧固螺栓时必须考虑到紧固螺栓时必须考虑到 最大载荷 根据要求来最大载荷 根据要求来 紧固螺栓 紧固螺栓 应
12、当使用扭矩扳手根据应当使用扭矩扳手根据 要求的数值 要求的数值 N N N N mmmm 来 来 紧固螺栓 紧固螺栓 扭矩太小 螺栓太松 安全扭矩太小 螺栓太松 安全 隐患 隐患 扭矩太大 可能损坏螺栓扭矩太大 可能损坏螺栓 ATHM磁悬浮分子泵使用注意事项培训 13 All rights reserved 2004 Alcatel Alcatel 磁悬浮磁悬浮分子泵的安装分子泵的安装 我们强烈建议分子泵进口采用我们强烈建议分子泵进口采用ISOISOISOISO F F F F或或CFCFCFCF F F F F法兰 法兰 我们之所以不推荐使用我们之所以不推荐使用ISOISOISOISO K
13、K K K法兰 是因为 法兰 是因为 法兰上并没有任何标识 法兰上并没有任何标识 ISOISOISOISO F F F F法兰上有螺孔 告诉用户在安装分子泵时法兰上有螺孔 告诉用户在安装分子泵时 应当用多少个钩头螺钉来紧固 应当用多少个钩头螺钉来紧固 紧固钩头螺钉时并不如紧固螺栓 紧固钩头螺钉时并不如紧固螺栓 ISOISOISOISO F F F F法兰 那样简单 法兰 那样简单 ISOISOISOISO K K K K法兰不能够防止当分子泵发生突发事故时扭矩所造成的泵的旋转 法兰不能够防止当分子泵发生突发事故时扭矩所造成的泵的旋转 这将可能造成进气管道以及氮气吹扫管路的损坏 从而可能造成对人
14、的伤这将可能造成进气管道以及氮气吹扫管路的损坏 从而可能造成对人的伤 害 害 ATHM磁悬浮分子泵使用注意事项培训 14 All rights reserved 2004 Alcatel Alcatel 磁悬浮磁悬浮分子泵的安装分子泵的安装 如果设备法兰的设计不能够承受分子泵突发事故时产生的最大载荷 则需如果设备法兰的设计不能够承受分子泵突发事故时产生的最大载荷 则需 要为分子泵增加一个支架 分子泵底部的要为分子泵增加一个支架 分子泵底部的6 6 6 6个个MMM M10 101010螺纹孔可用于这种情况 螺纹孔可用于这种情况 设备的机架应足够牢固以吸收分子泵设备的机架应足够牢固以吸收分子泵
15、突发事故时转子的动能 因此需要考突发事故时转子的动能 因此需要考 虑以下因素 虑以下因素 最大载荷最大载荷 法兰的尺寸法兰的尺寸 螺栓的数量以及质量螺栓的数量以及质量 分子泵的进气口和设备腔体之间不应分子泵的进气口和设备腔体之间不应 使用转接法兰或弯头使用转接法兰或弯头 ATHM磁悬浮分子泵使用注意事项培训 15 All rights reserved 2004 Alcatel Alcatel 磁悬浮磁悬浮分子泵进气口和排气口的连接分子泵进气口和排气口的连接 进气口 安装进气滤网 然后将泵安装到设备上或安装分子泵进气口阀门 进气口 安装进气滤网 然后将泵安装到设备上或安装分子泵进气口阀门 进气
16、滤网的安装 进气滤网的安装 将进气滤网将进气滤网 2 2 2 2 放置在分子泵进口腔体的沟槽中放置在分子泵进口腔体的沟槽中 1 1 1 1 将金属环将金属环 3 3 3 3 也放置到分子泵进口也放置到分子泵进口 腔体的沟槽中并将之前放入的进腔体的沟槽中并将之前放入的进 气滤网压紧 气滤网压紧 ATHM磁悬浮分子泵使用注意事项培训 16 All rights reserved 2004 Alcatel Alcatel 磁悬浮磁悬浮分子泵进气口和排气口的连接分子泵进气口和排气口的连接 排气口的连接 如果所抽气体具有腐蚀性或毒性等 应确保所抽气体经过排气口的连接 如果所抽气体具有腐蚀性或毒性等 应确保所抽气体经过 排气口之后连接到尾气处理装置 排气口之后连接到尾气处理装置 强烈建议在分子泵排气口与前级泵之间安装前级泵截止阀 强烈建议在分子泵排气口与前级泵之间安装前级泵截止阀 如果不安装该阀的话 则可能如果不安装该阀的话 则可能 造成分子泵突然停机时减速时造成分子泵突然停机时减速时 间增长 从而可能降低备用轴间增长 从而可能降低备用轴 承的寿命 承的寿命 尽可能将截止阀靠近分子泵排尽可能将截止
