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1、研究生专业课程考试答题册得分：学 号 2014260899 姓 名 史先琛 考试课程 传感器及测试仪器 考试日期 西北工业大学研究生院摘要:本文简要介绍了 CMOS 图像传感器的发展历程及工作原理, 对 CCD 图像传感器与 CMOS 图像传感器的优缺点进行了比较, 指出了 CMOS 图像传感器的技术优势, 并讨论了 CMOS 图像传感器的发展趋势.关键词：互补金属氧化物半导体 CCD 图像传感器 CMOS 图像传感器 传感器技术是现代测量和自动化系统的重要技术之一,从宇宙探索到海洋开发;从生产过程的控制到现代文明生活,几乎每一项现代科学技术都离不开传感器,因此,传感器技术发展速度十分惊人,半
2、导体压阻式力传感器亦不例外.图像传感器是将光信号转换为电信号的装置，在数字电视、可视通信市场中有着广泛的应用.60年代末期，美国贝尔实脸室发现电荷通过半导体势阱发生转移的现象，提出了固态成像这一新概念和一维CCD(Charge-Coupled Device 电荷耦合器件)模型器件.到90年代初，CCD技术已比较成热，得到非常广泛的应用.但是随着CCD应用范围的扩大，其缺点逐渐暴露出来.首先，CCD技术芯片技术工艺复杂，不能与标准工艺兼容.其次，CCD技术芯片需要的电压功耗大，因此CCD技术芯片价格昂贵且使用不便.目前，最引人注目，最有发展潜力的是采用标准的CMOS(Complementary
3、Metal Oxide Semiconductor 互补金属氧化物场效应管)技术来生产图像传感器，即CMOS图像传感器.CMOS图像传感器芯片采用了CMOS工艺，可将图像采集单元和信号处理单元集成到同一块芯片上.由于具有上述特点，它适合大规模批量生产，适用于要求小尺寸、低价格、摄像质量无过高要求的应用，如保安用小型、微型相机、手机、计算机网络视频会议系统、无线手持式视频会议系统、条形码扫描器、传真机、玩具、生物显微计数、某些车用摄像系统等大量商用领域.20世纪80年代，英国爱丁堡大学成功地制造出了世界上第一块单片CMOS图像传感器件.目前，CMOS图像传感器正在得到广泛的应用，具有很强地市场竞
4、争力和广阔地发展前景.1、 CMOS图像传感器的发展历史上世纪60年代末期，美国贝尔实验室提出固态成像器件概念：互补金属氧化物半导体图像传感器CMOS Complementary Metal Oxide Semiconductor电荷耦合器件图像传感器 （CCD）CMOS与CCD图像传感器的研究几乎是同时起步，固体图像传感器得到了迅速发展.CMOS图像传感器： 由于受当时工艺水平的限制， 图像质量差、分辨率低、噪声降不下来，因而没有得到重视和发展.CCD图像传感 器：光照灵敏度高、噪音低、像素少等优点一直主宰着图像传感器市场. 由于集成电路设计技术和工艺水平的提高，CMOS图像传感器过去存在的
5、缺点，现在都可以找到办法克服，而且它固有的优点更是CCD器件所无法比拟的，因而它再次成为研究的热点. 1970年,CMOS图像传感器在NASA的喷气推进实验室JPL制造成功， 80年代末，英国爱丁堡大学成功试制出了世界第一块单片CMOS型 图像传感器件， 1995年像元数为（128128）的高性能CMOS 有源像素图像传感器由喷气推进实验室首先研制成功， 1997年英国爱丁堡VLSI Version公司首次实现了CMOS图像传感器的商品化， 2000年日本东芝公司和美国斯坦福大学采用0.35mm技术开发的CMOS-APS，成为开发超微型CMOS摄像机的主流产品. 2000年9月美国Foveon
6、和国家半导体公司采 用0.18mm CMOS工艺开发出1600万像素（40964096）CMOS图像传感器 到目前为止, 在开发CMOS图象传感器中所采用的先进的关键技术可归纳如下：(1) 相关双取样 (CD ) 电路技术； (2) 微透镜阵列制备技术；(3) 彩色滤波器阵列技术；(4) 数字信号处理 (DSP) 技术；(5) 抑制噪声电路技术；(6) 模拟数字转换 (A/D ) 技术；(7) 亚微米和深亚微米光刻技术.2、 CMOS图像传感器的原理设计 右图为CMOS图像传感器的功能框图. 首先，外界光照射像素阵列，发生光电效应，在像素单元内产生相应的电荷.行选择逻辑单元根据需要，选通相应的
7、行像素单元.行像素单元内的图像信号通过各自所在列的信号总线传输到对应的模拟信号处理单元以及A/D转换器，转换成数字图像信号输出.其中的行选择逻辑单元可以对像素阵列逐行扫描也可隔行扫描.行选择逻辑单元与列选择逻辑单元配合使用可以实现图像的窗口提取功能.模拟信号处理单元的主要功能是对信号进行放大处理，并且提高信噪比.另外，为了获得质量合格的实用摄像头，芯片中必须包含各种控制电路，如曝光时间控制、自动增益控制等.为了使芯片中各部分电路按规定的节拍动作，必须使用多个时序控制信号.为了便于摄像头的应用，还要求该芯片能输出一些时序信号，如同步信号、行起始信号、场起始信号等. 象素阵列工作原理 图像传感器一
8、个直观的性能指标就是对图像的复现的能力.而象素阵列就是直接关系到这一指标的关键的功能模块.按照像素阵列单元结构的不同,可以将像素单元分为无源像素单元PPS(passive pixel schematic)，有源像素单元APS(active pixel schematic)和对数式像素单元，有源像素单元APS又可分为光敏二极管型APS、光栅型APS. 以上各种象素阵列单元各有特点，但是他们有着基本相同的工作原理.以下先介绍它们基本的工作原理，再介绍各种象素单元的特点.下图是单个象素的示意图.(1) 首先进入“复位状态”，此时打开门管M.电容被充电至V，二极管处于反向状态；(2) 然后进人“取样状
9、态”.这时关闭门管M,在光照下二极管产生光电流，使电容上存贮的电荷放电，经过一个固定时间间隔后，电容C上存留的电荷量就与光照成正比例，这时就将一幅图像摄入到了敏感元件阵列之中了；(3) 最后进入“读出状态”.这时再打开门管M,逐个读取各像素中电容C上存贮的电荷电压.无源像素单元PPS出现得最早，自出现以来结构没有多大变化.无源像素单元PPS结构简单，像素填充率高，量子效率比较高，但它有两个显著的缺点.一是，它的读出噪声比较大，其典型值为20个电子，而商业用的CCD级技术芯片其读出噪声典型值为20个电子.二，随着像素个数的增加，读出速率加快，于是读出噪声变大. 光敏二极管型APS量子效率比较高，
10、由于采用了新的消噪技术，输出图形信号质量比以前有许多提高，读出噪声一般为75100个电子,此种结构的C3&适合于中低档的应用场合. 在光栅型APS结构中，固定图形噪声得到了抑制.其读出噪声为1020个电子.但它的工艺比较复杂，严格说并不能算完全的CMOS工艺.由于多晶硅覆盖层的引入，使其量子效率比较低，尤其对蓝光更是如此.就目前看来，其整体性能优势并不十分突出.3、 CMOS图像传感器的优缺点1) 噪声 这是CMOS传感器受到制约的首要问题.这种噪声包括固定图形噪声FPN（Fixed pattern noise）、暗电流噪声、热噪声等.固定图形噪声产生的原因是一束同样的光照射到两个不同的象素上
11、产生的输出信号不完全相同.噪声正是这样被引入的.对付固定图形噪声可以应用双采样或相关双采样技术.具体地说来有点像在设计模拟放大器时引入差分对来抑制共模噪声.双采样是先读出光照产生的电荷积分信号，暂存然后对象素单元进行复位，再读取此象素单元地输出信号.两者相减得出图像信号.两种采样均能有效抑制固定图形噪声.另外，相关双采样需要临时存储单元，随着象素地增加，存储单元也要增加.2) 暗电流 物理器件不可能是理想的，如同亚阈值效应一样，由于杂质、受热等其他原因的影响，即使没有光照射到象素，象素单元也会产生电荷，这些电荷产生了暗电流.暗电流与光照产生的电荷很难进行区分.暗电流在像素阵列各处也不完全相同，
12、它会导致固定图形噪声.对于含有积分功能的像素单元来说，暗电流所造成的固定图形噪声与积分时间成正比.暗电流的产生也是一个随机过程，它是散弹噪声的一个来源.因此，热噪声元件所产生的暗电流大小等于像素单元中的暗电流电子数的平方根.当长时间的积分单元被采用时，这种类型的噪声就变成了影响图像信号质量的主要因素，对于昏暗物体，长时间的积分是必要的，并且像素单元电容容量是有限的，于是暗电流电子的积累限制了积分的最长时间. 为减少暗电流对图像信号的影响，首先可以采取降温手段.但是，仅对芯片降温是远远不够的，由暗电流产生的固定图形噪声不能完全通过双采样克服.现在采用的有效的方法是从已获得的图像信号中减去参考暗电
13、流信号. 3) 象素的饱和与溢出模糊 类似于放大器由于线性区的范围有限而存在一个输入上限，对于CMOS图像传感芯片来说，它也有一个输入的上限.输入光信号若超过此上限，像素单元将饱和而不能进行光电转换.对于含有积分功能的像素单元来说，此上限由光电子积分单元的容量大小决定：对于不含积分功能的像素单元，该上限由流过光电二极管或三极管的最大电流决定.在输入光信号饱和时，溢出模糊就发生了.溢出模糊是由于像素单元的光电子饱和进而流出到邻近的像素单元上.溢出模糊反映到图像上就是一片特别亮的区域.这有些类似于照片上的曝光过度.溢出模糊可通过在像素单元内加入自动泄放管来克服，泄放管可以有效地将过剩电荷排出.但是
14、，这只是限制了溢出，却不能使象素能真实还原出图像了.4、 CMOS图像传感器的应用需求1) 数码相机 人们使用胶卷照相机已经上百年了，20世纪80年代以来，人们利用高新技术，发展了不用胶卷的CCD数码相机.使传统的胶卷照相机产生了根本的变化.电可写可控的廉价FLASH ROM的出现，以及低功耗、低价位的CMOS摄像头的问世.为数码相机打开了新的局面，数码相机功能框图如右下图所示. 从图中可以看出，数码相机的内部装置已经和传统照相机完全不同了，彩色CMOS摄像头在电子快门的控制下，摄取一幅照片存于DRAM中，然后再转至FLASH ROM中存放起来.根据FLASH ROM的容量和图像数据的压缩水平
15、，可以决定能存照片的张数.如果将ROM换成PCMCIA卡，就可以通过换卡，扩大数码相机的容量，这就像更换胶卷一样，将数码相机的数字图像信息转存至PC机的硬盘中存贮，这就大大方便了照片的存贮、检索、处理、编辑和传送.2) CMOS数字摄像机 美国Omni Vison公司推出的由OV7610型CMOS彩色数字图像芯片和OV511型高级摄像机以及USB接口芯片所组成的USB摄像机，其分辨率高达640 x 480，适用于通过通用串行总线传输的视频系统.OV511型高级摄像机的推出，可使得PC机能以更加实时的方法获取大量视频信息，其压缩芯片的压缩比可以达到7:1，从而保证了图像传感器到PC机的快速图像传输.对于CIF图像格式，OV511型可支持高达30帧/秒的传输速率、减少了低带宽应用中通常会出现的图像跳动现象.OV511型作为高性能的USB接口的控制器，它具有足够的灵活性，适合包括视频会议、视频电子邮件、计算机多媒体和保安监控等场合应用.3) 其他领域应用 CMOS图像传感器是一种多功能传感器，由于它兼具CCD图像传感器的性能，因此可进入CCD的应用领域，但它又有自己独特的优点，所以开拓了许多新的应用领域.除了上述介绍的主要应用之外，CMOS图像传感器还可应用于数字静态摄像机和医用小型摄像机等.例如，心脏外科医生可以在患者胸部安装一个小“硅眼”，以便在手术后监视手术效果，
