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1、. . . . .8. 精度確認 為了確認NSR的基本性能是否正確地被維持、作為精度確認的方法、準備有以下所示的5種項目。 請按一個月一次的間隔進行確認。 最佳曝光条件 ： 確認曝光時間和焦点補償的最佳値 Stepping精度 ： 確認Wafer stage的定位精度 重合精度 ： 確認Alignment精度(LSA , FIA , LIA) Reticle回轉 ： 確認残留Reticle回轉量和重複性 鏡頭畸変 ： 確認投影像的歪変8.1 測試Reticle和曝光数据 精度確認使用Nikon的測試Reticle及専用的曝光数据。請注意因為根据機種等的不同、使用的 Reticle及曝光数据也会
2、有差異。 (1) 測試Reticle G8 / i8 , i9型 (5英寸Reticle) : R2005A G8 / i8 , i9型 (6英寸Reticle) : R2005HA G7 / i7型 (5英寸Reticle) : R1755A (2) 曝光数据 毎個項目中都準備有以下所示的専用曝光数据。 這些数据通常以和程序名相同的名称被装入、没有装入時、請装入指定的曝光数据後使用。 表8-1確認項目工藝名程序名備考G8/i8 , i9(5)G8/i8 , i9(6)G7/i7最佳曝光条件20nUSR20HnUSR17nUSERTPRTest-2Stepping精度20nUSR20HnUSR
3、17nUSERSTEP重合精度20nUSR20nUSR20nUSR20nLIA20HnUSR20HnUSR20HnUSR20HnLIA17nUSER17nUSER17nFIA17nLIAREG1EGAFIALIA1st2nd(LSA)2nd(FIA)2nd(LIA)Reticle回轉20nUSR20HnUSRRR1 RR5RR1 RR51 25行鏡頭畸変20nUSR20HnUSRDISDIS注1） 機器型式後的括号内的数字表示Reticle尺寸的英寸数。注2） 工藝名内的n表示Wafer尺寸的英寸数。8.2 解像力図表和標尺 測試Reticle内各個部分制作有解像力図表和標尺。 使用這些解像力
4、図表和標尺進行精度確認。(解像力：分掩能力)8.2.1 解像力図表 最佳曝光条件由解像力図表確認。 比較毎個Shot的解像力図表内的線条空格、或圓点空隙、尋找条件最好的曝光Shot、以此Shot 的曝光条件為最佳曝光値。8.2.2 標尺 最佳曝光条件以外的精度由標尺測定。 因為根据確認的項目、標尺的位置等会有差異、所以請参考標尺内帯有的位置指標和確認項目、目 讀確切的標尺。 (1) 標尺的讀法 図8-3所示的標尺図形是主尺図形和副尺図形相重合的状態。 察看主尺図形和副尺図形的間隙、尋找間隙相等的地方。 找到的標尺下面所附帯的数字為讀数値。 数字単位為1/10m、根据数字間的和記号、可以判定正負
5、。 (2) 位置指標 標尺内一定帯有這種芯片内位置的指標。 根据此指標可以知道看芯片内何処的標尺。 例如、図8-4的情況下、表示標尺在16mm領域的右上位置。Shot内的領域標尺位置 注意 通過顕微鏡看時、像通常反轉。 也就是上述的例子中通過顕微鏡後的像、実際 的標尺在左下的位置。 (3) 確認項目名 重合精度(X , Y) Stepping精度(Y) Stepping精度(X) Reticle回轉(Y) 鏡頭畸変(X , Y) 図8-58.3 測定順序 改変操作者名 用戸作成的曝光数据和精度確認用曝光数据分別保存在不 同的領域内。 進行精度確認前、通過改変操作者名、使之成為可以使用 精度確認
6、用曝光数据的状態。(参照8.3.1) 指定曝光数据 根据ENTER指令、在各測定項目中、将指定的曝光数 据設定到CURRENT内。 通常、各曝光数据以和程序名相同的名称被装入、可以原 封不動地使用。 搬送Reticle&曝光Wafer 根据EXECUTE指令、実行測試Reticle的搬入和Wafer 曝光。 根据SET指令内的設定、還可以在EXECUTE指令実 行時進行曝光数据的指定。 連続進行几種精度確認時、Reticle以装入的状態、僅実 行Wafer曝光。 測量精度 由顕影曝光Wafer的顕影膠形成像的図形、計算精度。 精度測量有両種方法。 目測標尺計算精度的方法 根据AMS的自動測量(
7、参照12章) 搬出Reticle 根据READY指令、将Reticle搬回到Reticle盒内。 改変操作者名 将改変的操作者名復原。(参照8.3.1)8.3.1 改変操作者名 由指令菜単表示的状態、按 下PF2鍵、進入Set-up方 式。 選択1. Operator 从顕示的Set-up menu中、 選択Operator。 鍵入操作者名 使用精度確認用曝光数据 時 Operator name NIKON 使用用戸作成的曝光数据 時 Operator name DEFAULT 或者 Operator name USER 鍵入暗碼 Password Pass 操作者名使用NIKON, USER, DEFAULT時、暗碼同是PASS。 但是、暗碼不顕示在画面上。8.4 最佳曝光条件 指定曝光数据 由ENTER指令、指令曝光 数据。 此処使用的曝光数据(TPR)是 為了求得曝光時間和焦点補償 的測試曝光数据。(参照8.4.1) 実行曝光処理 由EXECUTE指令、実行 Reticle搬入和測試曝光。 請不要忘記設定測試曝光条 件。 Exposure time Focus center center step step 顕影被曝光的Wafer 求取最佳曝光条件 通過光
