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1、MSF维修培训一. H轴原点调整： H轴原点是通过NOZZLE SHAFT上端的径向轴承最低的NOZZLE来进行调整的，SHAFT的长度由于在UNIT制造时被制作成0.02 mm以内,所以有0.04 mm 偏差量。1. 最低NOZZLE的选定： 各NOZZLE单独选择 (用SUB CONTROL单独选定) ,并MANU (ON/OFF) 上下动作,通过打在NOZZLE下面的百分表的动作来进行判定 (需使用JIG，加在被测HEAD上)，选出位置最低的HEAD SHAFT。 JIG 来回旋转，微调。注意：连轴未锁紧前，不可放松，否则H轴会落下。2 以最低NOZZL为基准，通过NC MOVING，设
2、定H = 0（ORG 0.101），通过手动下降（手盘ON / OFF），使得百分表摆动为0.1mm，即H轴PLATE与NOZZLE上端COLLER的间隙为0.1mm。丝杠连轴节 松开H MOTOR连轴节（M3），旋转上部内六角扳手，调整最低NOZZLE下端百分表显示为0.1mm。H MOTOR3 H轴吸着高度的确认： 以最低NOZZL为基准，使用 NOZZLE JIG PICKUP HIGH JIG JOG方式，H = - 40 GAP = 0.5 mm 如没有JIG测量，可采用FEEDER JOG方式，H = -39.5 GAP = 0.5 mm4 HEAD UNIT 平行度调整： ( 0
3、.02 mm )调整螺丝略松4粒紧固螺丝 A B调整步骤： JOG方式检测A / B点，平行度：0.02 mm 如果NG，略松4粒紧固螺丝，调整HEAD上部的两粒反吊螺丝。 右旋：HEAD UNIT 上升 左旋：HEAD UNIT 下降 调整完毕，锁紧4粒紧固螺丝。5 NOZZLE HEIGHT调整： 为保证所有HEAD下端NOZZLE高度一致，公差0.05 mm范围内。可以通过加减垫片（黄），以中间值作为基准，做适当调整。 例如： 8#为最低NOZZLE， 0.03-0.04 = -0.01 9#为最高NOZZLE，-0.11+0.05 = -0.06HEAD12345678910测量值0-
4、0.02-0.08-0.05-0.07-0.020.010.03-0.11-0.07调整后-0.04-0.03-0.01-0.06-0.03*“调整后”栏空格处为数据不变注意：1 必须用最低点NOZZLE作为基准，目的为了防止压下过量。 2 H (0.101,ORG)位置，当有多个最低点时，H轴MOVE方式，整体下降0.1 mm， 直至找出最低点NOZZLE。 3 放上JIG调整，保证每个HEAD的原点位置。6 H轴SENSOR位置确认： H轴位置及状态： H = 0.101 ORG（LEVEL 2） H = -31 LEVEL 1 H = -35 X - Y INTERLOCK H = -4
5、0 RECOGNITION, VACUUM, MOUNT H = -43 X Y NOZZLE CHANGE H = -46 TRAY VACUUM +LIMIT （0.5 1.5）（ONOFF） （914SA1） ORG （OFF） （914S1） X -Y INTERLOCK （-34.7 -35.0）（OFFON） （914S1） AREA SENSOR （LEVEL 1） （-28.0 -32.0） （OFFON） （914SA1）调整SENSOR位置 * 4个SENSOR位置调整，其中只要LIMIT SENSOR OK，其余也OK。 H 10H 9二. 轴原点的调整：ORG SENS
6、ORSENSOR DOG调整步骤： 1拆下ORG SENSOR，SENSOR ON。 2轴回原点 3放松皮带，装上SENSOR。 4调整SENSOR DOG位置居中（上下高度 / 旋转角度），锁紧M3螺丝。 正方向： 2 4 OFF 负方向： 358 356 OFF 注意：1 皮带不可以完全松掉，必须要稍带一点力，否则会造成马达脱力，致使驱 动器报警，必须关机才能解除。 2皮带轮槽口对齐，轴旋转一圈（360），HEAD旋转1/4圈（90）。 BLOW 0.12 MPA TY UP/DOWN HEAD SELE 0.10 MPA 0.30 MPA VACUUM 0.43 MPA TY VACUU
7、M三. 真空压力的调整：（VACUUM BLOW PRESSURE） 标准规格VACUUM： -80 KPA 以下 -600 mmHg 以下 BLOW： 10 13 KPA 75 98 mmHg VACUUM PRESSURE： S NOZZLE 每个HEAD测定， IF NG，REGULATOR调整。 BLOW PRESSURE： 1SC TIMER CHANGE： No：44 0.061.00 No：45 0.061.00 由于时间太短，来不及测量，需设置较长时间 2S NOZZLE 每个HEAD测定， IF NG，REGULATOR调整高度调整 3SC TIMER 恢复，切勿忘记。2 -
8、 M6四. X-Y AXIS直角度调整：（一）SERVO OFF状态：直角尺移动RAIL Y 2 Y 1固定RAIL6 - M8垫片 X 2 X 1步骤：1 直角规放于RAIL上，与固定RAIL边对齐。2 调整直角规，测Y 1= 0；Y 2 = 0；偏差 0.05 mm。3 检测X方向，偏差 0.05 mm。 4IF NG，加减垫片（一般放置在X AIXS的右恻）注意： 1不要撞X / Y方向的极限，关机状态下，推力很重。 2松开8颗螺丝，切不可取下，用力拉开间隙，加入塞片。 3两片塞片的厚度一致，厚度为实际测量偏差值的1/4 1/5。 4横梁上的高度调整螺丝，切勿松开！（二）SERVO ON
9、状态： MSF Y1 / Y2 / X轴的行程由MEASURING UNIT读取标尺来决定。 MEASURING UNIT的调整： 1SERVO ON（ORG）。 2直角规置于RAIL上，Y1 / Y2（JOG方式）测定直角规0 0。BOLT A 3X1 / X2测定0.05 mm以内（以直角规为基准）。 4IF NG： BOLT A略松（太松机器会暴走） SET SCREW微调 （MEASURING UNIT调整方 向和Y轴补偿方向相反） （调整时，一头先松，另一边 旋紧，调整完成后锁紧。）SET SCREW BOLT A锁紧MEASURING UNIT锁紧反吊螺丝移动RAIL直角尺固定RA
10、ILSLOWLY TIHTEN（三）残留扭矩（公斤力）的检测： 由于直角度调整不良，LM GUIDE正负公差，MEASURING UNIT位置调整不良等 因素，X-Y轴会产生扭矩。如果X轴SERVO OFF与SRVO ON两个状态Y轴相对位移 大于0.4 mm，会造成：SERVO ON 1Y轴丝杠卡死，原点不可以复位。 2LM GUIDE寿命减短。0.4 mm 3机器运转时，Y轴产生异音。 Y轴马达异音：SERVO OFF LM GUIDE 1机器水平调整不良 2X -Y轴直角度调整不良 3光栅磁头不能读取 4光标尺上有油污 5Y轴LM GUIDE不平行 YL YR（四）扭矩检测方法（SERVO ON / OFF）： 1SROVO ON（ORG） 2NC MOVE 先Y = 0.5 再MOVE Y = 0 3先SERVO OFF记录下Y的当前
