《光刻技术简介课件》由会员分享，可在线阅读，更多相关《光刻技术简介课件（23页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、一个人拥有健康，美貌，诚信，机敏，才学，金钱，荣誉，7个背囊，渡船开始时风平浪静，可是不久就刮起了大风，船夫说要扔掉一个背囊，你会扔掉那个背囊呢？最后你要扔掉哪一个？为什么呢?说说你的理由。 一个人拥有健康，美貌，诚信，机敏，才学，金钱，荣誉，7个背囊，渡船开始时风平浪静，可是不久就刮起了大风，船夫说要扔掉一个背囊，你会扔掉那个背囊呢？最后你要扔掉哪一个？为什么呢?说说你的理由。 一个人拥有健康，美貌，诚信，机敏，才学，金钱，荣誉，7个背囊，渡船开始时风平浪静，可是不久就刮起了大风，船夫说要扔掉一个背囊，你会扔掉那个背囊呢？最后你要扔掉哪一个？为什么呢?说说你的理由。 利用光致抗蚀剂(或称光刻
2、胶)感 光后因光化学反应而形成耐蚀性 的特点，将掩模板上的图形刻制 到被加工表面上。 利用照相复制与化学腐蚀相结 合的技术，在工件表面制取精 密、微细和复杂薄层图形的化 学加工方法。多用于半导体器 件与集成电路的制作。 光刻 ： 原理 ： 一个人拥有健康，美貌，诚信，机敏，才学，金钱，荣誉，7个背囊，渡船开始时风平浪静，可是不久就刮起了大风，船夫说要扔掉一个背囊，你会扔掉那个背囊呢？最后你要扔掉哪一个？为什么呢?说说你的理由。 光刻胶：也称为光致 抗蚀剂，它是由感光 树脂、增感剂和溶剂 三部分组成的对光敏 感的混合液体。 光刻胶主要用来将 光刻掩模板上的图形 转移到元件上。 一个人拥有健康，美
3、貌，诚信，机敏，才学，金钱，荣誉，7个背囊，渡船开始时风平浪静，可是不久就刮起了大风，船夫说要扔掉一个背囊，你会扔掉那个背囊呢？最后你要扔掉哪一个？为什么呢?说说你的理由。 根据光刻胶的化 学反应机理和显 影原理，可将其 分为正性胶和负 性胶。 负胶在光刻工艺上应用最早，其工艺成本低，产量高，但由于它吸 收显影液后会膨胀，导致其分辨率不如正胶，因此对于亚微米甚至 更小尺寸加工技术，主要使用正胶作为光刻胶。 一个人拥有健康，美貌，诚信，机敏，才学，金钱，荣誉，7个背囊，渡船开始时风平浪静，可是不久就刮起了大风，船夫说要扔掉一个背囊，你会扔掉那个背囊呢？最后你要扔掉哪一个？为什么呢?说说你的理由。
4、 1 底膜处理 2 涂胶 3 前烘 4 曝光 5 显影 6 坚模 7 刻蚀 8 去胶 一个人拥有健康，美貌，诚信，机敏，才学，金钱，荣誉，7个背囊，渡船开始时风平浪静，可是不久就刮起了大风，船夫说要扔掉一个背囊，你会扔掉那个背囊呢？最后你要扔掉哪一个？为什么呢?说说你的理由。 底膜处理是光刻工艺的第一步，其主要目的是对底膜表面 进行处理，以增强其与光刻胶之间的粘附性。 步骤： 1 清洗 2 烘干 3 增粘处理 一个人拥有健康，美貌，诚信，机敏，才学，金钱，荣誉，7个背囊，渡船开始时风平浪静，可是不久就刮起了大风，船夫说要扔掉一个背囊，你会扔掉那个背囊呢？最后你要扔掉哪一个？为什么呢?说说你的理
5、由。 增粘层 光刻胶膜 底膜 涂胶 进行底模处理后，便可进行涂胶，即在底模上涂一层粘附良好厚度 适当，均匀的光刻胶。一般采用旋转法进行涂胶，其原理是利用底 模转动时产生的离心力，将滴于模上的胶液甩开。在光刻胶表面张 力和旋转离心力的共同作用下，最终形成光刻胶膜。 一个人拥有健康，美貌，诚信，机敏，才学，金钱，荣誉，7个背囊，渡船开始时风平浪静，可是不久就刮起了大风，船夫说要扔掉一个背囊，你会扔掉那个背囊呢？最后你要扔掉哪一个？为什么呢?说说你的理由。 前烘，又称软烘， 就是在一定的温度 下，使光刻胶膜里 面的溶剂缓慢的、 充分的逸出来，使 光刻胶膜干燥。 一个人拥有健康，美貌，诚信，机敏，才学
6、，金钱，荣誉，7个背囊，渡船开始时风平浪静，可是不久就刮起了大风，船夫说要扔掉一个背囊，你会扔掉那个背囊呢？最后你要扔掉哪一个？为什么呢?说说你的理由。 掩模 板 光刻胶 膜 增粘 层 底膜 曝光 光源 曝光就是对涂有 光刻胶的基片进 行选择性的光化 学反应，使接受 到光照的光刻胶 的光学特性发生 改变。 一个人拥有健康，美貌，诚信，机敏，才学，金钱，荣誉，7个背囊，渡船开始时风平浪静，可是不久就刮起了大风，船夫说要扔掉一个背囊，你会扔掉那个背囊呢？最后你要扔掉哪一个？为什么呢?说说你的理由。 光源的波长对光刻 胶的感光性有很大 影响，每种光刻胶 都有自己的吸收峰 和吸收范围，它只 对波长在吸
7、收范围 内的光才比较敏感 ，因此选择的曝光 光源必须要满足光 刻胶的感光特性。 一个人拥有健康，美貌，诚信，机敏，才学，金钱，荣誉，7个背囊，渡船开始时风平浪静，可是不久就刮起了大风，船夫说要扔掉一个背囊，你会扔掉那个背囊呢？最后你要扔掉哪一个？为什么呢?说说你的理由。 显影就是用显影液溶解掉 不需要的光刻胶，将光刻 掩模板上的图形转移到光 刻胶上。显影液的选择原 则是：对需要去除的那部 分光刻胶膜溶解的快，溶 解度大；对需要保留的那 部分光刻胶膜溶解度极小 。 坚膜也是一个热处理步骤 。坚膜的目的就是使残留 的光刻胶溶剂全部挥发， 提高光刻胶与衬底之间的 粘附性以及光刻胶的抗腐 蚀能力。 一
8、个人拥有健康，美貌，诚信，机敏，才学，金钱，荣誉，7个背囊，渡船开始时风平浪静，可是不久就刮起了大风，船夫说要扔掉一个背囊，你会扔掉那个背囊呢？最后你要扔掉哪一个？为什么呢?说说你的理由。 刻蚀就是将涂胶前 所沉积的薄膜中没 有被光刻胶覆盖和 保护的那部分去除 掉，达到将光刻胶 上的图形转移到其 下层材料上的目的 。 刻蚀 一个人拥有健康，美貌，诚信，机敏，才学，金钱，荣誉，7个背囊，渡船开始时风平浪静，可是不久就刮起了大风，船夫说要扔掉一个背囊，你会扔掉那个背囊呢？最后你要扔掉哪一个？为什么呢?说说你的理由。 湿法刻蚀是将刻蚀材料浸泡在腐蚀液内 进行腐蚀的技术。 特点： 1：具有优良的选择性
9、。 2：各向同性腐蚀 一个人拥有健康，美貌，诚信，机敏，才学，金钱，荣誉，7个背囊，渡船开始时风平浪静，可是不久就刮起了大风，船夫说要扔掉一个背囊，你会扔掉那个背囊呢？最后你要扔掉哪一个？为什么呢?说说你的理由。 干法刻蚀是用等离子体进 行薄膜刻蚀的技术。 特点：分辨率高，各向异 性强。 干法刻蚀又分为物理性刻 蚀（溅射刻蚀）、化学性 刻蚀和物理化学性刻蚀。 例如：反应离子刻蚀-RIE 。 一个人拥有健康，美貌，诚信，机敏，才学，金钱，荣誉，7个背囊，渡船开始时风平浪静，可是不久就刮起了大风，船夫说要扔掉一个背囊，你会扔掉那个背囊呢？最后你要扔掉哪一个？为什么呢?说说你的理由。 去胶 当刻蚀完
10、成后，光刻胶 膜已经不再有用，需要 将其彻底去除，完成这 一过程的工序就是去胶 。此外刻蚀过程中残留 的各种试剂也要清除掉 。 去胶结束，整个光刻流 程也就结束了。 一个人拥有健康，美貌，诚信，机敏，才学，金钱，荣誉，7个背囊，渡船开始时风平浪静，可是不久就刮起了大风，船夫说要扔掉一个背囊，你会扔掉那个背囊呢？最后你要扔掉哪一个？为什么呢?说说你的理由。 聚偏二氟乙烯（PVDF）是一种高结晶度的含氟聚 合物 ,属于一种坚韧的热塑性工程材料。 PVDF 压电薄膜是经过高压电场极化从而具有压电 效应的薄膜 。 PVDF压电薄膜的优点：压电电压常数高、声阻抗 小、频率响应宽、介电常数小、耐冲击性强、
11、可 以加工成任意形状等。 一个人拥有健康，美貌，诚信，机敏，才学，金钱，荣誉，7个背囊，渡船开始时风平浪静，可是不久就刮起了大风，船夫说要扔掉一个背囊，你会扔掉那个背囊呢？最后你要扔掉哪一个？为什么呢?说说你的理由。 1：PVDF压电薄膜两侧的电极层的尺寸大小和 形状与薄膜不匹配。 2：未经过处理的压电薄膜在电极两侧加上电 压时，会产生放电现象。 传统方法制作电极的缺陷： PVDF压电薄膜被广泛的应用于超声领域。本例 中选择了厚度为9微米的PVDF压电薄膜作为超声 敏感元件。 一个人拥有健康，美貌，诚信，机敏，才学，金钱，荣誉，7个背囊，渡船开始时风平浪静，可是不久就刮起了大风，船夫说要扔掉一
12、个背囊，你会扔掉那个背囊呢？最后你要扔掉哪一个？为什么呢?说说你的理由。 设计要制作的电极的形状与尺寸第一步 ： 一个人拥有健康，美貌，诚信，机敏，才学，金钱，荣誉，7个背囊，渡船开始时风平浪静，可是不久就刮起了大风，船夫说要扔掉一个背囊，你会扔掉那个背囊呢？最后你要扔掉哪一个？为什么呢?说说你的理由。 对PVDF压电薄膜进行清洗处理。采用有 机溶剂丙酮。 第二步 ： 第三步 ： 涂胶。选用正性光刻胶，采用手工操作 涂到需要保护的电极层上。 第三步： 前烘与曝光。 第四步 ： 腐蚀。采用湿法刻蚀方法。选取碘和碘化 钾的水溶液（质量比为1:4:40）作为金的 腐蚀溶剂，体积分数为40%的氢氟酸作
13、为 铬层的腐蚀溶剂。 第五步 ： 去胶。需要将起保护作用的正性胶去掉， 采用乙醇做去胶溶剂。 一个人拥有健康，美貌，诚信，机敏，才学，金钱，荣誉，7个背囊，渡船开始时风平浪静，可是不久就刮起了大风，船夫说要扔掉一个背囊，你会扔掉那个背囊呢？最后你要扔掉哪一个？为什么呢?说说你的理由。 制备好的电极： 设计图样 制备的电极 与设计图样一致 一个人拥有健康，美貌，诚信，机敏，才学，金钱，荣誉，7个背囊，渡船开始时风平浪静，可是不久就刮起了大风，船夫说要扔掉一个背囊，你会扔掉那个背囊呢？最后你要扔掉哪一个？为什么呢?说说你的理由。 表一是用万用表测试保 留的电极层及被腐蚀处 的导电性。 表二的数据是对压电薄 膜的压电常数的测量。 一个人拥有健康，美貌，诚信，机敏，才学，金钱，荣誉，7个背囊，渡船开始时风平浪静，可是不久就刮起了大风，船夫说要扔掉一个背囊，你会扔掉那个背囊呢？最后你要扔掉哪一个？为什么呢?说说你的理由。
