电容式传感器C特征特点及误差分析

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1、1 1 传感器与检测技术 同济大学电子与信息工程学院控制科学与工程系 主讲教师：苏永清 电子与信息工程学院控制科学与工程系 2 例题 图为二极管环形检波测量电路。C1和C2为差动式电 容传感器，C3为滤波电容，RL为负载电阻。R0为限流电 阻。UP是正弦波信号源。设RL很大，并且C3C1,C3C2 。 试分析此电路工作原理； 画出输出端电压UAB在C1=C2、C1C2、C1C2三种情况下 波形图； 推导数学表达式。 电子与信息工程学院控制科学与工程系 3 UAB波形图如图3-5(b）所示。由 波形图可知 ，则 输出电压平均值 ，式中K为滤波系数 电子与信息工程学院控制科学与工程系 4 上讲复习

2、 1、电容传感器的等效电路 等效电容 电子与信息工程学院控制科学与工程系 5 2、交流不平衡电桥 思考 和应变式传感器直流电桥的关系 电子与信息工程学院控制科学与工程系 6 3、二极管环形检波电路 如图3-10所示： 电子与信息工程学院控制科学与工程系 7 4、差动脉冲宽度调制电路 电子与信息工程学院控制科学与工程系 8 5、运算法测量电路 电子与信息工程学院控制科学与工程系 9 3-3 电容式 特点及误差分析 1温度稳定性好 传感器的电容值一般与电极材料无关，仅取决于电极 的几何尺寸，且空气等介质损耗很小，因此只要从强度、 温度系数等机械特性考虑，合理选择材料和几何尺寸即 可，其他因素(因本

3、身发热极小) 影响甚微。而电阻式传 感器有电阻，供电后产生热量；电感式传感器存在铜损 、涡流损耗等，引起本身发热产 生零漂。 2结构简单，适应性强 电容式传感器结构简单，易于制造。能在高低温、强 辐射及强磁场等各种恶劣的环境条件下工作，适应能力 强，尤其可以承受很大的温度变化，在高压力、高冲击 、过载等情况下都能正常工作，能测超高压和低压差， 也能对带带磁工件进行测量。此外传感器可以做得体积很 小，以便实现某些特殊要求的测量。 电子与信息工程学院控制科学与工程系 1010 3动态响应好 电容式传感器由于极板间的静电引力很小，（约几个10-5N） ，需要的作用能量极小，又由于它的可动部分可以做得

4、很小很薄 ，即质量很轻，因此其固有频率很高，动态响应时间短，能在几 MHz的频率下工作，特别适合动态测量。又由于其介质损耗小可 以用较高频率供电，因此系统工作频率高。它可用于测量高速变 化的参数，如测量振动、瞬时压力等。 4可以实现非接触测量、具有平均效应 当被测件不能允许采用接触测量的情况下,电容传感器可以完成测 量任务。当采用非接触测量时,电容式传感器具有平均效应,可以 减小工件表面粗糙度等对测量的影响。 电容式传感器除上述优点之外，还因带电极板间的静电引力 极小，因此所需输入能量极小，所以特别适宜低能量输入的测量 ，例如测量极低的压力、力和很小的加速度、位移等，可以做得 很灵敏，分辨力非

5、常高，能感受0.001m甚至更小的位移。 电子与信息工程学院控制科学与工程系 1111 不足： 1输出阻抗高，负载能力差 电容式传感器的容量受其电极几何尺寸等限制，一般为几十 到几百pF，使传感器的输出阻抗很高，尤其当采用音频范围内的 交流电源时，输出阻抗高达106108。因此传感器负载能力差 ，易受外界干扰影响而产生不稳定现象，严重时甚至无法工作， 必须采取屏蔽措施，从而给设计和使用带来不便。容抗大还要求 传感器绝缘部分的电阻值极高（几十M以上），否则绝缘部分 将作为旁路电阻而影响传感器的性能（如灵敏度降低），为此还 要特别注意周围环境如温湿度、清洁度等对绝缘性能的影响。高 频供电虽然可降低

6、传感器输出阻抗，但放大、传输远比低频时复 杂，且寄生电容影响加大，难以保证工作稳定。 电子与信息工程学院控制科学与工程系 1212 2寄生电容影响大 传感器的初始电容量很小，而其引线电缆电容(l2m导线 可达800pF)、测量电路的杂散电容以及传感器极板与其周围 导体构成的电容等“寄生电容”却较大，降低了传感器的 灵敏度；这些电容(如电缆电容)常常是随机变化的，将使传 感器工作不稳定，影响测量精度，其变化量甚至超过被测量 引起的电容变化量，致使传感器无法工作。因此对电缆选择 、安装、接法有要求 3、输出特性非线性 变极距型电容传感器的输出特性是非线性的，虽可采用差动结 构来改善，但不可能完全消

7、除。其他类型的电容传感器只有 忽略了电场的边缘效应时，输出特性才呈线性。否则边缘效 应所产生的附加电容量将与传感器电容量直接叠加，使输出 特性非线性。 电子与信息工程学院控制科学与工程系 13 13 2消除和减小边缘效应 适当减小极间距，使电极直径或边长与间距比增大，可减小边缘 效应的影响，但易产生击穿并有可能限制测量范围。电极应做得 极薄使之与极间距相比很小，这样也可减小边缘电场的影响。此 外，可在结构上增设等位环来消除边缘效应。等位环3与电极2在 同一平面上并将电极2包围，且与电极2电绝缘但等电位，这就能 使电极2的边缘电力线平直，电极1和2之间的电场基本均匀，而 发散的边缘电场发生在等

8、位环3外周不影响传感器两 极板间电场。 带有等位环的平板电容 传感器结构原理图 均匀电场 1 2 3 3 边缘电场 边缘效应引起的非线性与变极距 型电容式传感器原理上的非线性 恰好相反，在一定程度上起了补 偿作用。 电子与信息工程学院控制科学与工程系 1414 （1）增加传感器原始电容值 采用减小极片或极筒间的间距(平板式间距为0.20.5mm， 圆筒式间距为0.15mm)，增加工作面积或工作长度来增加原始电 容值，但受加工及装配工艺、精度、示值范围、击穿电压、结构 等限制。一般电容值变化在 10-3103 pF范围内，相对值变化在 10-61范围内。 寄生电容与传感器电容相并联，影响传感器灵

9、敏度，而它的 变化则为虚假信号影响仪器的精度，必须消除和减小它。可采用 方法： 3消除和减小寄生电容的影响 （1）增加传感器原始电容值 （2）注意传感器的接地和屏蔽；（3）集成化 （4）采用“驱动电缆”(双层屏蔽等位传输)技术 （5）采用运算放大器法； 电子与信息工程学院控制科学与工程系 15 （2）注意传感器的接地和屏蔽 图为采用接地屏蔽的圆筒形电容式传感器。图中可动极筒与 连杆固定在一起随被测量移动。可动极筒与传感器的屏蔽壳（良 导体）同为地，因此当可动极筒移动时，固定极筒与屏蔽壳之间 的电容值将保持不变， 从而消除了由此产生的 虚假信号。 引线电缆也必须屏 蔽在传感器屏蔽壳内。 为减小电

10、缆电容的影响 ，应尽可能使用短而粗 的电缆线，缩短传感器 至电路前置级的距离。 绝缘体屏蔽壳固定极筒 可动极筒 连杆 导杆 接地屏蔽圆筒形电容式传感器示意图 电子与信息工程学院控制科学与工程系 16 （3）集成化 将传感器与测量电路本身或其前置级装在一个壳体内，省去 传感器的电缆引线。这样，寄生电容大为减小而且易固定不变， 使仪器工作稳定。但这种传感器因电子元件的特点而不能在高、 低温或环境差的场合使用。 （4）采用“驱动电缆”(双层屏蔽等位传输)技术 当电容式传感器的电容值很小，而因某些原因(如环境温度 较高)，测量电路只能与传感器分开时，可采用“驱动电缆”技术。 传感器与测量电路前置级间的

11、引线为双屏蔽层电缆，其内屏蔽层 与信号传输线(即电缆芯线)通过1:1放大器成为等电位，从而消 除了芯线与内屏蔽层之间的电容。由于屏蔽线上有随传感器输出 信号变化而变化的电压，因此称为“驱动电缆”。采用这种技术可 使电缆线长达10m之远也不影响仪器的性能，如图。 电子与信息工程学院控制科学与工程系 17 外屏蔽层接大地或接仪器地，用来防止外界电场的干扰。内外屏 蔽层之间的电容是1:1放大器的负载。1:1放大器是一个输入阻抗 要求很高、具有容性负载、放大倍数为1(准确度要求达 1/10000)的同相(要求相移为零)放大器。因此“驱动电缆”技术对 1:1放大器要求很高，电路复杂，但能保证电容式传感器

12、的电容值 小于1pF时，也能正常工作。 1：1 测量 电路 前置级 外屏蔽 层 内屏蔽 层 芯线 传感器 “驱动电缆”技术原理图 当电容式传感器的 初始电容值很大(几百 F)时，只要选择适当 的接地点仍可采用一 般的同轴屏蔽电缆， 电缆可以长达10m，仪 器仍能正常工作。 电子与信息工程学院控制科学与工程系 18 5防止和减小外界干扰 当外界干扰(如电磁场)在传感器上和导线之间感应出电压并与信 号一起输送至测量电路时就会产生误差。干扰信号足够大时，仪 器无法正常工作。此外，接地点不同所产生的接地电压差也是一 种干扰信号，也会给仪器带来误差和故障。防止和减小干扰的措 施归纳为： u屏蔽和接地。传

13、感器壳体；导线；传感器与测量电路前置级等 等。 u增加原始电容量，降低容抗。 u导线和导线之间要离得远，线要尽可能短，最好成直角排列， 若必须平行排列时，可采用同轴屏蔽电缆线。 u尽可能一点接地，避免多点接地。地线要用粗的良导体或宽印 制线。 u采用差动式电容传感器，减小非线性误差，提高传感器灵敏度 ，减小寄生电容的影响和温度、湿度等误差。 电子与信息工程学院控制科学与工程系 19 电容式传感器的应用 1、电容式差压变送器 1高压侧进气口 2低压侧进气口 3过滤片 4空腔 5柔性不锈钢波纹隔离膜片 6导压硅油 7 凹形玻璃圆片 8镀金凹形电极 9弹性平膜片 10 腔 电子与信息工程学院控制科学

14、与工程系 20 高压侧 进气口 低压侧 进气口 电子线 路位置 内部不锈钢膜片的位置 电子与信息工程学院控制科学与工程系 21 2、电容式液位计 电子与信息工程学院控制科学与工程系 22 电子与信息工程学院控制科学与工程系 23 电容式液位限位传感器 液位限位传感器与液位变送器 的区别在于：它不给出模拟量，而 是给出开关量。当液位到达设定值 时，它输出低电平。但也可以选择 输出为高电平的型号。 电子与信息工程学院控制科学与工程系 24 液位限位传感器的设定 智能化液位传感器的设定 方法十分简单： 用手指压住设定按钮，当 液位达到设定值时，放开按钮 ，智能仪器就记住该设定。正 常使用时，当水位高

15、于该点后 ，即可发出报警信号和控制信 号。 设定按钮 电子与信息工程学院控制科学与工程系 25 3、加速度传感器 图示加速度传感器以微细加工技术为基础，既能测量 交变加速度（振动），也可测量惯性力或重力加速度。其 工作电压为2.75.25V，加速度测量范围为数个g，可输 出与加速度成正比的电压也可输出占空比正比于加速度的 PWM 脉冲。 电子与信息工程学院控制科学与工程系 26 微加工三轴加速度传感器 技术指标： 灵敏度：500mV/g， 量程：10g 频率范围：0.5-2000Hz 安装谐振点:8kHz 分辨力：0.00004g 重量：200g 安装螺纹：M5 mm 线性误差：1% 电子与信息工程学院控制科学与工程系 27 硅微加工加速度传感器原理 1加速度测试单元 2信号处理电路 3衬底 4底层多晶硅（下电极） 5多晶硅悬臂梁 6顶层多晶硅（上电极） 电子与信息工程学院控制科学与工程系 28 利用微电子加工技术，可以将一块多晶硅加工成多层结构。 在硅衬底上，制造出三个多晶硅电极，组成差动电容C1、C2。图 中的底层多晶硅和顶层多晶硅固定不动。中间层多晶硅是一个可 以上下微动的振动片。其左端固定在衬底上，所以相当于