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FT-S100微力传感器FemtoTools的FT-S100系列微力传感探头是一种沿着传感器轴径方向的微力传感器（传感器构造如图1所示）。该系统的测量范围可达5nN到10mN，其探头尺寸为50m50m3mm（如图2所示），在10Hz时的分辨率为0.005N。能同时测压缩力和张力，FT-S微力传感探头设计用于整合到FemtoTools微机械检测系统中，能够独立的校准并拥有较好的长期稳定性保障，使其在这一受力范围内比其他任何力传感系统有更好的测量精度。当传感器探头沿轴径发生压缩或拉伸时，芯片中电容间距发生改变，从而电容值发生改变（如图3 所示），所得结果将转换为电压信号线性输出，在供电电压为5V的情况下，输出灵敏度能达到50N/V（如图4所示）。图1图2图3.图41 / 1
