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1、氦质谱测漏仪 北京亚科晨旭科技有限公司 一、工作原理 灯丝 加热 电子 电离 室内残气和漏孔氦气 进入 均匀电场 分离放大 测量 加热：产生电子 电压：给电子加速 碰撞：电离气体 均匀磁场：离子圆周运动，半径不同，离子 分离 核心公式： R为离子偏转轨道半径; B为磁场强度; M/Z为离子的质量与电荷之比; U 为离子的加速电压 信息：当B,U不变时，不同核质比M/Z的离子，圆 周半径不同，不同离子被分离；当R, B为固定值时 ,改变加速电压,可使不同质量的离子通过磁场和接 收缝到达接收极而被检测到。 下图所示为不同压力下的粒子流强度 我们需要的粒子流强度 二、氦质谱检漏方法 漏点型（定性）：
2、确定要检部件的具体漏点 或漏孔的位置喷氦法（抽真空 喷氮 检测）-注 意方向 漏率型（定量）：不确定检测器件的漏点或 漏孔的位置和数量，只是计算漏率（在已知漏泄 处两侧压差的情况下，单位时间内流过漏泄处的给定温度的干燥气体量 ） 三、常见的两种检漏仪 单级磁偏转型氦质谱检漏仪 双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪 单级磁偏转型氦质谱检漏仪 步骤： 当质谱室内的总压强（真空度）10-6MPa 时， 电离室中由钨丝制成的灯丝启动，加热后产生高 速电子轰击离子源中的气体分子，使分子电离 大部分的气体分子都能变成离子，离子在电场中 被（加速电压）加速，从而进入与其垂直的偏转 磁场，不同质量数的离子其偏转半径不同 加速电压使得氦离子可以打到放大器的入口（电 子倍增器），从而检测出氦离子流的强度，氦离 子流与容器内的氦分压成正比，因此对氦离子的 测量可以确定被检件的漏率 双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪 与单级磁偏转型氦质谱检漏仪相比较： 离子在进入第二个分析器前再次被加速 ，减少 了非氦离子到达收集器的机率 仪器本底及本底噪声显著地减小，同时提高了仪 器灵敏度 问题一：抽真空的真空度是多少 问题二：氦质谱检漏仪的检测精度如何： 粗检和精检 问题三：一个好的设备
