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1、 技术交流 内存ATE测试 20072007年年 3 3月月 服务客户，精益求精服务客户，精益求精 概概 览览 qqATEATE测试和测试和ATEATE测试设备测试设备 qqATEATE测试设备特点测试设备特点 qqHP83K/T5592HP83K/T5592简介简介 qqATEATE测试简介测试简介 ATEATE测试测试 什么是ATE测试？ qATE 是 Automated Test Equipment 的简称， 即自动测试设备，它是对内存条或SDRAM 芯片的品质进行检测的测试设备。 qATE 测试 即使用自动测试设备对内存条或 SDRAM芯片的品质进行测试。 ATEATE测试测试 ATE
2、 的工作原理： 被测器件 （DUT） 测试系统 （ATE） Test Program Results Input Output ATEATE测试设备测试设备 q高档的ATE测试设备有： Verigy公司的93K系统 Advantest公司的T5581/T5585/T5592系统 KINGTIGER公司的KT2A PRO系统 q 特点： 精度高 速度快 完整的电性能、功能和时序测试及分析 价格昂贵 专业的厂商使用 T5592T5592系统系统 T5592T5592系统：系统： T5592T5592系统系统 T5592T5592系统系统 T5592T5592系统系统 T5592T5592系统系统
3、T5592T5592系统系统 KT-2A PROKT-2A PRO系统系统 ATEATE测试设备测试设备 ATEATE测试设备的特点测试设备的特点 qq高精度的定时性能高精度的定时性能 qq大向量内存大向量内存 qq可编程的电流负载可编程的电流负载 qqPer PinPer Pin的时序与电平的时序与电平/ /电压电压 qq高价格高价格 T5592T5592简介简介 T5592测试系统简介 T5592T5592参数简介参数简介 q 能够测试各种存储器（专用） q 最高测试频率可以达到1.066GHz q 定时精度达到150ps(OTA) q 最大可测试芯片64颗，DDR内存条16条（2Stat
4、ion) q Driver与双向口分开，节约成本（存储器特点专门设计） T5592T5592简介简介 硬件部分 T5592T5592简介简介 ATEATE测试简介测试简介 ATE测试简介 T5592测试项目 q 连接性测试 q 漏电流测试 q 电源电流测试 q 功能测试 q 重要DC AC参数测试 q SPD的读写测试 T5592T5592简介简介 连接性测试原理连接性测试原理 ATEATE测试简介测试简介 ATEATE测试简介测试简介 漏电流测试原理漏电流测试原理 ATEATE测试简介测试简介 IDDIDD（动态电源电流）测试原理（动态电源电流）测试原理 功能测试原理功能测试原理 时间条件时
5、间条件 电压条件电压条件 波形条件波形条件 逻辑值逻辑值 驱动器驱动器 （ATEATE） 比较器比较器 被测试器件被测试器件 （DUTDUT） 图形文件 RESULT: P/F 芯片芯片 电源电源 ATEATE测试简介测试简介 功能测试功能测试Pattern Pattern Check-board Check-board ATEATE测试简介测试简介 功能测试功能测试Pattern March-6NPattern March-6N ATEATE测试简介测试简介 DC参数测试 DCDC 参数参数 测试测试 电压参数测试 电流参数测试 测试方法：测试方法： 1 1。加电压测电流、。加电压测电流、
6、加电流测电压加电流测电压 2 2。改变。改变DCDC参数，进行参数，进行 功能测试，找到功能测试，找到P/FP/F 转变点转变点 3 3。运行。运行patternpattern程序，程序， 直接对参数测量直接对参数测量 ATEATE测试简介测试简介 DC测试 ATEATE测试简介测试简介 目的：检测芯片的各项电气性能 VSIMVSIM ISVISV MM DC test unitDC test unit DCDC参数测试参数测试 电压参数测试 q主要电压参数 电源电压VDD、VDDQ、VREF 输入电压VIL、VIH 输出电压VOL、VOH q测试目的： 评估DUT能正常工作的电压范围 评估输
7、入管脚区分输入逻辑状态的能力 评估输出管脚的输出相应逻辑电压的能力 电流参数测试 q主要电流参数 电源电流IDD 输入漏电流IIL、IIH 输出漏电流IOL、IOH、IOZ q测试目的： 评估DUT的漏电流大小 评估供给DUT工作时所需的电源电流大小 DCDC参数测试参数测试 工程测试工程测试 AC参数测试 AC参数测试基本原理： 改变需要测试的参数，重复执行功能 测试，直到测试结果由PASS转为FAIL 为止。记录PASS/FAIL转换点，进行必 要的数学运算，得出需要测试的参数实 际数值。实质是以时间条件为基础来执 行功能测试。 AC参数测试 qAC参数测试目的： 保证器件的时序参数满足器
8、件SPEC的要求 保证器件在不同的时序条件限制下可正常工作 分析器件时序参数解决故障问题 Debug/优化测试程序的工具 工程测试工程测试 典型典型ACAC参数的时序图参数的时序图（ （CL/tRCD/tRPCL/tRCD/tRP ） ACAC参数测试参数测试 Shmoo 图例-Margin Test (潜力测试） 用于评价芯片实际能力，通常使用SHMOO PLOT 工具进行分析 ACAC参数测试参数测试 Shmoo 图例 二维Shmoo 同时改变两个 相互关联的参 数，执行功能 测试 红色FAIL区域 绿色PASS区域 ACAC参数测试参数测试 ATEATE 测试测试 生产测试生产测试 （m
9、ass productionmass production） 工程工程/ /评估测试评估测试 （engineering/evaluationengineering/evaluation ） ATEATE测试简介测试简介 生产测试流程生产测试流程 基本基本 电性能电性能 测试测试 重要重要 ACAC 参数参数 测试测试 功能功能 测试测试 连接性测试、 漏电流测试、 IDD测试 时序宽松、时序宽松、 时序严格、时序严格、 基本功能、基本功能、 重要的重要的POPULAR POPULAR PATTERNPATTERN 选用选用 engineeringengineering 的测试方法的测试方法 对重要参数对重要参数 进行测试进行测试 ATEATE测试简介测试简介 工程测试工程测试 工程测试（工程测试（engineering)engineering) DCDC参数参数 测试测试 ACAC参数参数 测试测试 功能功能 测试测试 工程测试工程测试 谢谢谢谢! !
