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1、 页数 1/66制定实施静电对策实施手册ESD-01J 规定番号1. 适用范围本手册适用于 MEC 川越事业所以及、协力工厂、海外据点生产半导体部品、光学PU、半完成品的所有部门。2. 目的此规定的目的是：明确 MEC 川越事业所生产部所管辖的生产据点的静电对策基准，谋求预防劣化的产生、提高生产工程、市场的品质。3.相关规定静电对策管理规定 AES-A004 （全社规定）静电对策管理标准 全社规定 符号 修改年月日 实施年月日 修改内容. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .PIONEER作成宫沢起案. 宫沢.确认承认页数
2、2/66讲 习 会 资 料实 施 手 册 内 容1. 地线效果、电源供给方面（AC 插座）的确认2. 接地工程的确认3. 除电对策的实施4 人体除电对策、静电手环的着用5. 人体除电对策、导电鞋、导电胶皮垫子的测量方法6. 机器、设备的接地对策7. 治具、周围、环境的除电对策8. 标识的实施9. 对策的维持管理10. 参考 IEC61340-5-1 、5-2页数 3/591.地线接地效果、电源供给方（AC 插座）的确认1.使用测定器 AC 电压计（万用表）1. 1 电源插座部的动作确认在接电源插座前，请确认下图所示的电位1. 2 地线接地部的效果确认（利用 AC 插座部确认的方法）在生产现场确
3、认地线接地效果的方法如下所示确认 AC 插座和下图所示的测定点的电1.3 测定判定的结果测定点 测定内容 测定值、允许范围a)测定场所 1 电源供给电压确认 AC100V（允许范围+75%）b)测定场所 2 电源供给、电压、极性、以及地线效果的确认+端子、地线端子间的电压AC100V（+75%）c)测定场所 3-1，3-2电源供给、电压、极性、以及地线效果的确认端子、地线端子间的电压测AC0V（允许范围 5V 以下）超出允许范围时的对应有不满足上记测定项目要求的地方要即时纠正原因可能有配错线，忘连接等，要防止机器出现异常动作和发生损坏，以及要重视保护人体在短时间内作出对策插座部测定场所 3-1
4、测定场所 2测定场所 3-2地线地线干线测定场所 3-1地线端子测定场所 2页数 4/592.接地工程的确认所谓的接地，简单说来就是，以低电阻来将电力设备、通信设备和大地连接起来通电。由于接地的目的很多，所以虽然要进行接地工程，但也要整理成以下几类。a)防止触电 b)电位的均等化 c)防止静电障碍d)避雷 e) 大地回路的利用 f)抑制通信障碍在进行这些接地时，起到安装于大地的电气端子的作用的是接地的电极。3. 1 使用静电对策的接地工程接地电阻：100 以下使用线材：地线的线皮是绿色，软铜线是 2mm（单线 1.6 mm 以上）接地方法：D 类的接地或电线的接地（从建筑结构物上接地）或者是避
5、雷设备、建筑基准法所规定的钢筋混泥土的建筑物中的地线也可以。3. 2 制造现场等的接地电阻值的管理a) 一般在静电对策部门的制造现场，所提到的设备等的地线接地，就是指：连接在制造生产线上配置的地线，就是接地工程。管理它的连接状态的是管理制造部门的接地电阻值；连接状态的确认方法就是请参照 1.项的地线接地效果、电源供给方（AC 电源）的确认。另外，接地电极的维持管理是设备部门的业务。b) 一般，制造部门或者很多部门的地线，多半是象下图那样连接例子：MEC 川越事业所的构成责任管理部门（ 制造、各部门 ） （设备部门）.安全接地制造线内的地线 制造部门、各部门的地线要连接在分电盘的地线干线里。设备
6、、治具，各相关机器要连接到地线上（地线干线）上记两个项目的管理是接地电阻的管理。换句话说，最好要确认插座部的极性和确认地线接地的效果。注意：接地的目的不同，种类也会不同。上图的地线是以安全接地为目的的一种接地法。在电气设备中，防止触电和火灾等是接地的主要目的，而不是 ESD 对策，目前只要理解它的接地是没有问题的一种接法。电源是 200 伏的生产线的地线有脉冲性质的杂波，使用时用 100 伏的生产线的。使用耐性很差的半导体机器时，推荐使用埋设有 ESD 接地极的，且接地电阻是10分电盘配电盘盘地线干线接地极以下的是最好的。页数 5/592.3 ESD 对策接地极效果（接地电阻值）确认ESD 对
7、策用的的接地极的电阻值，一般认为一般需要 D 类接地工程（100 以下）半导体机器的耐电压值低时，一般认为进行 A 类接地工程（10 以下）是比较理想的。判断接地极的效果时，需要专用的测定器，它是接地电阻计。据各测定器厂家说，接地电阻计种类多种多样。下面介绍一种有代表性的例子。3 电极式的接地电阻计测定范围 01000（与 AD 类接地工程的测定相对应）虽然是测量精度很准的基准测定器，但是实际测量时，也会出现很难测量的问题a)除了要测的接地极以外，另外 2 个辅助电极也要打入地面。最近，由于都市化进程的推进， ，常常发生辅助电极不能打进地面而造成电阻值测不出来（大地表面被沥青、混泥土覆盖而很难
8、测出来）b)作业、测定后的收拾等需要作业时间的机器。简易型接地电阻下记物品不要打入辅助电极，可简单迅速地测出 D 类接地工程的电阻值。测定范围 20500 （能测出 ESD 对策需要的电阻值）只要接 2 根引线就能测出来测定方法简单、只要测一个地方，只要花 10 分钟就能测出接地电阻值1. EARTH 和被接地极的连接辅助电极E：测定对象接地极P：电压电极C：电流电极制造公司 YOKOKAWA横川 MC 株式会社型号 3235接地电阻计外观图片返回引线 20m接地电阻计外观图片被接地极制造公司 HIOKI日置电机株式会社测定用的旋纽只要往左右旋调到最小值有利点：2. 2.RETURN 端子和返
9、回引线的连接附属的引线没有从地面上浮起的状态可直线延伸（约 20m）2.4 实施定期检查在各生产据点，必须进行定期检查。接地工程的责任部门要证明有实施 ESD 对策所需要的接地电阻值确认频度 1 年/1 次页数 6/593.除电对策的实施在材料的保管场所、作业台、作业现场，作为实施下列的静电对策的实施方法，要使它的表面导电后才实施静电对策。3. 1 方法关于材料保管架，作业台、作业员的步行范围，要使用导电胶皮垫子、导电性涂料、导电地板砖等的导电材料来实施除电对策。4. 2 实施例a) 地面 b)辅位凳 c)作业台 -1在各作业台的表面铺上导电胶皮垫子，装上连接用的电极与地线连接作业台的金属部分
10、也要连接接地左图的连接电极的颜色虽然使用的是黑色，但是市面上的销售品，因此可使用静电胶皮垫子 作业范围、步行范围要铺上导电胶皮垫子胶皮垫子和胶皮垫子的连接要在背面的低电阻导电层一边装上电极来连通电用防静电胶布等固定，使设置状态安稳（为防止脱落而使用）使用例 SF50（50mm 宽）ST-8（50mm 宽）注意：不使用一般的未对策品（绝缘性物品）在各段铺上导电胶皮垫子、装上连接用的胶皮垫子，连上地线本体的金属部分也要连接接地注意：地线的颜色要是绿色静电胶皮垫子静电胶皮垫子静电胶皮垫子页数 7/593.3 实施例c)作业台 -2（SERU 方式）e)高度矫正台的例子正确使用例 在表面铺上一层导电胶
11、皮垫子，连接地 用导电胶皮垫子盖住表面。线接地完毕 无地线、另外只接触到表面的高电阻导电层就没有除电效果f)材料架g)由于使用导电涂料而使地面导电的实例由于金属部分要除电，所以要接地。要在各层铺上导电胶皮垫子接地。作业台的金属部分也要连接接地注意地线的颜色要是绿色错误使用例在各层铺上导电胶皮垫子来接地架货架的金属部分也要连接线材来接地作为今后的推荐方法而展示的实例地面是用导电涂料处理作业范围作业台是用导电导管和导电轮导电了的台表面铺了导电胶皮垫子。注意导电轮有时不能满足所规定的电阻值，定位时，要将地线接地。作业台是用导电导管和导电轮导电了的台表面铺了导电胶皮垫子。注意导电轮有时不能满足所规定的
12、电阻值，定位时，要将地线接地。页数 8/593.4 导电胶皮垫子的接地方法导电胶皮垫子由于接地从而发挥了除电效果；各胶皮垫子一定要在装上了连接用的电极后才能接地线。装在导电胶皮垫子上的电极一定要和背面的低电阻导电层（1M 以下）连接。注意从高电阻导电层上连接，电阻值就会升高，就不会产生除电效果3.5 将电极装到导电胶皮垫子上的间隔地线的连接根据胶皮垫子种类的不同而方法也有所不同，但是只要没有指示，一般都是每隔 5m 就装一个连接用的电极来连接地线。3.6 连接在导电胶皮垫子上的电极、方法a) 3M 制的连接用的电极b)AKIRESU 制的接续用电极c)凡用模具低电阻导电层电极（从上侧看）电极、
13、 （从背面看）胶皮垫子表面、低电阻层上贯穿钩爪，弯折使它们接合在一起。引线SUS 制电极 安装用的双面胶撕下保护贴片，贴在低电阻导电层一边在胶皮垫子背面、低电阻导电层面装上电极用固定 PIN 来安装（和引线连接用）在引线线头使用压线端子用固定 PIN 安装（和胶皮垫子的连接 需要 2 个以上）页数 9/59利用凡用模具连接板的安装方法部品式样 1 地线用的线材（带有圆形压线端子） 1根1)准备地线圆形压线端子 2)端子固定 3)安装在连接板上4)用钉锤接合 5)安装孔定位 6)记入安装孔7)打孔 8)将固定 PIN 装在孔里 9)反转胶皮垫子合上连接板10)合上固定 PIN 11)接合固定 P
14、IN(使用钉锤) 12）反转胶皮垫子,外观检查注意胶皮垫子侧的固定 PIN 建议最少要 2 个,一般要用 3 个固定 PIN 没有松作成手顺表面（保护层） 里侧（导电材低电层面）固定 PIN 要装 2 颗以上一般推荐 3 颗固定 PIN L=9 凹凸 4(5)一组内有锯齿的座金(弹片垫圈也可)SUS 制 T 字摸具固定 PIN、垫圈固定 PIN、垫圈打孔治具为防止松掉建议使用垫圈页数 10/59 d)胶皮垫子和胶皮垫子时左图铺有 3 张胶皮垫子e)胶皮垫子、胶皮垫子连接用端子（3M 制）f)胶皮垫子、胶皮垫子连接用的端子（AKIRE 制） 贴在胶皮垫子低电阻层连接板单体（还有保护贴片的）g)胶皮垫子、胶皮垫子连接用的电极 SUS 带材 用带状长、SUS 制电极与低电阻导电层相接触使其导通实施方法关于胶皮垫子要在低电阻导电层装上专用电极和地线连接在胶皮垫子的低电阻导电层上装上胶皮垫子导电用的电极后再与地线接地.装电极的间隔为 5m,和地线连接.胶皮垫子胶皮垫子胶皮垫子连接用端子 连接用端子
