《FeCoBCoFe2O4颗粒膜的软磁和高频特性研究》由会员分享，可在线阅读，更多相关《FeCoBCoFe2O4颗粒膜的软磁和高频特性研究（67页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、分类号： 密级： 单位代码：1 0 4 2 2 学号： 2 0 1 1 1 1 3 9 6 菇办i 硕士学位论文 论文题目：F e C o B C o F e 2 0 4 颗粒膜的软磁和高频特 性研究 S o f tM a g n e t i ca n dH i g h - f r e q u e n c yP r o p e r t i e so f ( F e C o B - - C o F e 2 0 4 ) G r a n u l a r F i l m s 作者姓名 学院名称 专业名称 指导教师 合作导师 潘微微 物理学院 材料物理与化学 颜世申教授 2 0 1 4 年5 月l8 日
2、 原创性声明 本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下， 独立进行研究所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论 文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的科研成果。对本 文的研究作出重要贡献的个人和集体，均己在文中以明确方式标 明。本声明的法律责任由本人承担。 论文作者签名：i 强写玺呈；之星 日期： 竺! 兰刍三堕! 墨j ；I 关于学位论文使用授权的声明 本人同意学校保留或向国家有关部门或机构送交论文的印刷件 和电子版，允许论文被查阅和借阅；本人授权山东大学可以将本学 位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影 印、缩印或其他复制手段保存论文和汇编本学位论
3、文。 ( 保密论文在解密后应遵守此规定) 论文作者签名：杂钕箪导师签 山东大学硕士学位论文 目录 摘要i A B S T R A C T i i i i 第一章绪论1 第一节研究背景1 第二节软磁材料2 1 2 1 软磁薄膜的分类2 1 2 2 磁性吸波材料的原理一4 第三节铁磁体绝缘体的颗粒膜6 1 3 1 铁磁性氧化物颗粒膜6 1 3 2 铁磁体绝缘体颗粒膜9 1 3 3 铁磁体绝缘体多层膜l O 第四节研究动机及研究内容1 2 第二章样品的制备方法及分析测试的技术1 4 第一节磁控溅射制备技术1 4 2 1 1 磁控溅射15 2 1 2 磁控溅射设备17 2 1 3 制备过程1 9 第二
4、节薄膜分析测试技术一2 0 2 2 1 交流梯度磁强计( A G M ) 2 0 2 2 2 超导量子干涉仪( S Q U I D ) 2 1 2 2 3X 射线衍射仪2 3 2 2 4 原子力显微镜2 4 2 2 5 四探针法2 5 2 2 6 复磁导率测量系统2 6 山东大学硕士学位论文 2 2 7 铁磁共振系统2 9 第三章柔性衬底上生长的F e C o B C o F e 2 0 4 颗粒膜的软磁特性和高频特性一3 0 第一节引言一3 0 第二节样品的制备一3 2 3 2 1 颗粒膜中C o F e 2 0 4 成分含量的确定3 2 3 2 2 制备方法3 4 第三节样品的形貌和结构一
5、3 4 第四节样品的静态磁性3 5 第五节样品的高频特性3 7 第六节实验结果与讨论3 8 第四章柔性衬底上生长的F e C o B C o F e 2 0 4 成分梯度颗粒膜的性能研究3 9 第一节引言3 9 第二节结构设计和样品制备3 9 第三节样品的形貌和结构4 l 第四节薄膜的静态磁性4 2 第五节铁磁共振谱4 3 第六节实验结果与讨论4 4 第五章总结与展望一4 6 致谢4 8 攻读硕士学位期间发表的论文一5 0 参考文献一51 山东大学硕士学位论文 C O N T E N T S C h i n e s ea b s t r a c t I A b s t r a c t I I
6、I C h a p e r1 I n t r o d u c t i o n 1 S e c t i o n1 R e s e a r c hb a c k g r o u n d 1 S e c t i o n2S o f tm a g n e t i cm a t e r i a l s 2 1 2 1T h ec l a s s i f i c a t i o no fs o f tm a g n e t i cf i l m s 2 1 2 2T h ep r i n c i p l eo fa b s o r b i n gm a t e r i a l 4 S e c t i o
7、n3M e t a l i n s u l a t o rg r a n u l a rf i l m s 6 1 3 1 F e r r o m a g n e t i co x i d eg r a n u l a rf i l m s 6 1 3 2 F e r r o m a g n e t i cm e t a l - i n s u l a t o rg r a n u l a rf i l m s 9 1 3 3 F e r r o m a g n e t i cm e t a l i n s u l a t o rm u l t i l a y e r e df i l m s
8、 1 0 S e c t i o n4M o t i v a t i o n so fo u rw o r k 1 2 C h a p t e r2P r e p a r a t i o nt e c h n o l o g ya n dm e a s u r i n gm e t h o d s 1 4 S e c t i o n1 M a g n e t r o ns u p t t e r i n gt e c h n o l o g y 14 2 1 1 M a g n e t r o ns p u u e r i n g 15 2 1 2T h ei n t r o d u c t
9、i o no fm a g n e t r o ns p u t t e r i n gs y s t e m 17 2 1 3 P r e p a r i n gp r o c e s s 19 S e c t i o n2T h ea n a l y s i sa n dm e a s u r em e t h o df o rs a m p l e s 2 0 2 2 1 A l t e r n a t i n gg r a d i e n tm a g n e t o m e t e r ( A G M ) 2 0 2 2 2 S u p e r c o n d u c t i n g
10、q u a n t u mi n t e r f e r e n c ed e v i c e ( S Q U I D ) 21 2 2 3 X r a yd i f f r a c t i o n ：1 3 2 2 4A t o m i cf o r c em i c r o s c o p e 2 4 2 2 5 F o u r p o i n tm e t h o d 2 5 2 2 6 C o m p l e xp e r m e a b i l i t ym e a s u r es y s t e m 2 6 2 2 7 F e r r o m a g n e t i cr e s o n a n c es y s t e m 2 9 C h a p t e r3 S o f tm a g n e t i cp r o p e r t i e sa n dh i g h f r e q u e n c ye l e c t r o m a g n e t i c p r o p e r t i e so f F e C o B - C o F e 2 0 4g r a
