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1、WI029,1,ESD量測方法 與步驟,Griss 07.10.3,WI029,2,適應範圍與目的,1. 適應範圍:適用于公司內部所有靜電防護措施的檢測 2.規范公司內部靜電防護用具測試方法,做到統一化管理.,WI029,3,內容摘要,標題 1 適應範圍與目的 2 靜電地板的測試 46 廠房靜電接地系統測試 78 靜電桌墊測試 911 機器/儀器/治具接地(用三腳插座的)靜電電壓測試 12 機器/儀器/治具/靜電桌墊接地線測量 1314 台車接地鐵鏈測試 15 靜電手環測試 1617 靜電手環/靜電鞋系統測試 1819 END 20,WI029,4,靜電地板的測試(一),1.使用設備:表面電阻
2、測試儀(3M #701 Test Kit) 2. 測試時間:每季度第一週 3. 測試步驟: a. 取出表面電阻測試儀,兩個地雷的底部用抹布擦拭干淨. 將接的兩端分 別插入地雷和測試儀.并將測試儀調至100V當.,WI029,5,b. 面對面測試:取靜電地板區域任意兩點(兩點間距离為0.91.5m)各放置 一地雷,按下TEST按鈕讀出儀器指針讀數,紀錄于“靜電地板測試紀錄表”; 如上方法再任意取與前面不相同的兩點進行測試,結果分別紀錄于表格中 面對面對應6個項次;,靜電地板的測試(二),WI029,6,c. 面對地測試:取靜電地板上任意一點及大地上任意一點,分別放置一地雷,按 下TEST按鈕進行
3、測試,讀出儀器指針讀數,紀錄于表格中面對地對應項.,d. 測試結果與相應項次SPEC值比對,若七項都在規格內則視為OK,在結果欄內 填寫“OK“,反之只要有一項不在規格之內就判為 “NG“ e. 維護課對結果NG的靜電地板作异常處理并將結果填寫于表格內,靜電地板的測試(三),WI029,7,廠房靜電接地系統測試(一),1. 使用設備:接地搖表 2.測試時間:每月第一週 3.測試步驟: a.將室外接地的二只銅棒插入地下0.5m ， 二只銅棒距離:2.5m.,b. 接地搖表接線:將搖表P,T:兩端子分別接室外接地銅棒,E:端接測試點,WI029,8,c. 一只手搖表 ，另一只手調節表值， 當指鐘為
4、”0”讀取數值,并紀錄于 “廠房靜電測試紀錄表“.,d. 測試結果于規格阻抗值不大于4ohm進行比對,不合格的由維護課對 接地系統進行檢查,對損坏部分進行更換,廠房靜電接地系統測試(二),WI029,9,靜電桌墊測試(一),1. 使用設備:表面電阻測試儀(3M #701 Test Kit) 2. 測試時間:每月第一週 3. 測試步驟: a.取出表面電阻測試儀,兩個地雷的底部用抹布擦拭干淨. 將接的兩端 分別插入地雷和測試儀.將測試儀調至10V當,WI029,10,b. 面對面測試:取靜電桌墊上任意兩點,兩點間距离為0.9m1.5m,各放置一地 雷,按下TEST按鈕讀出儀器指針讀數,紀錄于“ES
5、D桌墊靜電扣接地每月查 核紀錄表“;,靜電桌墊測試(二),WI029,11,c. 面對地測試:取靜電桌墊上任意一點及大地上任意一點,分別放置一地雷, 按下TEST按鈕進行測試,讀出儀器指針讀數,紀錄于表格中面對地對應項.,d. 測試結果與規格進行比對,兩項都在規格之內則為OK,有一項不在規格 之內則視為NG,NG的靜電桌墊須進行更換處理.,靜電桌墊測試(三),WI029,12,機器/儀器/治具接地(用三腳插 座的)靜電電壓測試,1. 使用設備:万用電表 2. 測試時間:每週第一個工作日 3. 測試步驟: a. 將万用電表調至AC擋 b.測試機器/儀器/治具金屬外殼對大地間的漏電電壓,將測試值填
6、寫于“儀器設備接地每週查核紀錄表“,c. 測量標準應小于5ACV,否則判為NG,對NG須重新檢查接地狀況,并維修.,WI029,13,機器/儀器/治具/靜電桌墊接地線測量(一),1. 使用設備:万用電表 2. 測試時間:每週第一個工作日 3.測試步驟: a.將万用電表調至歐姆擋 b.測試接地線兩端間的阻抗值,万用電表的黑表筆用靜電接地線的鱷魚夾 夾住,紅表筆接触靜電線靜電扣金屬部分,將測試值填寫于“儀器設備接地 每週查核紀錄表“(測試時需以45度角晃動靜電線,看測試值是否會因損坏 而跳變,若跳變在規格范圍1M+20%歐姆之間,表示正常,若超出此規格,則 視為NG) (如下圖),WI029,14
7、,c. 測量標準應在1M+20%歐姆之間,否則判為NG,對NG的接地線作更換處理.,機器/儀器/治具/靜電桌墊接地線測量(二),WI029,15,台車接地鐵鏈測試,使用設備:万用電表 2. 測試時間:每週第一個工作日 3. 測試步驟: a.將万用電表調至歐姆擋 b.測試接地鐵鏈兩端間的阻抗值,万用電表的黑表筆接触接地鐵鏈末端,紅色 表筆接触接地鐵鏈與台車的耦合處,黑色表筆將鐵鏈外拉,將鐵鏈拉直,將測 試值填寫于“儀器設備接地每週查核紀錄表“,c. 測量標準應不大于4歐姆,否則判為NG,對NG的接地鐵鏈作更換處理.,WI029,16,靜電手環測試(一),1. 使用設備:靜電環測試儀或万用電表 2
8、. 測試時間:每班開線前 3. 測試步驟: a.用靜電環測試儀測試步驟:將靜電手環正确佩戴于左手腕,手環的鱷魚夾 夾于測試儀的夾子上,用右手按測試儀的測試按鈕, 如果測試儀亮綠燈,表 示靜電手環靜電規格OK,否則為NG,(測試的同時晃動戴靜電手環的手,以 便檢測出接触不良),WI029,17,b. 用万用電表測試步驟:將万用電表調至歐姆檔, 万用電表的黑表筆與靜電手 環連接線鱷魚夾部分接触,万用電表的紅色表針與靜電手環的金屬須緊貼皮 膚的部分接触,如圖:若指針指示在0.935M內,表示靜電手環OK,否則為 NG.(測試時以45度角度晃動靜電扣,看万用電表顯示的阻值是否會變動,若 變動超出0.9
9、35M規格范圍則視為NG,用于測試靜電扣是否有接触不良 現象),靜電手環測試(二),WI029,18,靜電手環/靜電鞋系統測試(一),1. 使用設備:手環腳環測試器 2. 測試時間:每班開線前 3. 測試步驟: (參考生產線手環腳環測試器旁邊的操作手冊進行測試) a.正确佩帶靜電手環于一手,將靜電手環鱷魚夾測試點,用另一手食指 按TEST按鈕,若綠燈為PASS結果OK,反之為NG. (測試的同時晃動 戴靜電手環的手,若測試結果出現一會亮紅燈,一會亮綠燈代表靜電 手環NG),WI029,19,b. 穿上靜電鞋將右腳踩在金屬板上,手按TEST按鈕,若亮綠燈代表OK,再將 左腳踩在金屬板上,手按TEST按鈕,亮綠燈代表OK,否則為NG,靜電手環/靜電鞋系統測試(二),c. 將測試結果填寫于ESD靜電防護每日查核紀錄表中,并簽名. d. 生產線組長或領班對不合格的靜電手環進行更換. e. 由生產線組長或領班對本線人員的測試情況進行審核簽名.,WI029,20,END,知识回顾Knowledge Review,
