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1、测试规范 测试规范1. 外观的目检工作a) 检查管子、配件、阀头、法兰、螺钉、螺帽、垫片及其附件与工程图相符,以确定所完成的工作无误;而后,贴上一指示流动方向、气体名称的标签。b) 确定支撑管线的支架安置无误。c) 确定各气体的管线确实连接到生产机台设备的每一需求点。d) 确定配管的工作不会损害其本身维护能力及美观程度。e) 检试其检验报告及管线的标记以确认管线的确依照所设计的规格及标准配设。f) 以目视检查管子、配件、阀头、法兰、螺钉、螺帽、垫片及其附件之外表,以确定其没有遭受外来的损害、表面腐蚀或发生裂痕。2. 焊接点的目检工作a) 焊接部分不可过度凹陷于整个金属底部。b) 金属底部不可有
2、阶梯状凸起。3. 锁入配件的外观目检工作a) 确定锁头安装与规格相符无误。b) 确定所有的配件均正确地旋入无误。c) 确定锁入配件的配管其弯管的半径需足可容许其帽盖的移出。d) 确定任何一根短管均不会被过度地被安装。4. 保压测试a) 在测试时需安设一经0.01um过滤的氩气或氮气线。b) 保压测试时所使用的压力及充气时间需符合其所安装阀头的规格(如所附表三) 。c) 于保压测试中,压力的记录乃是藉由使用压力记录仪来完成。d) 在所规定的压力下充气达所规定的时间后,管线必须没有压降情形发生,也就是说,从压力记录仪中读取的压力,从开始测试到结束并没有明显变化。如果从压力记录仪中读取的压力从开始测
3、试到结束并不相符,但由开始测的室温并不同于结束时的温度,则需再考虑以下的一个温度校正公式,以决定此压力测试有无通过。通过此项测试的准则是 : 如果压力的变化在开始测试时压力值的98% 围内,则视其正常且通过测试。压力的保持率 (e)。 e = (P2 / T 2 ) (P1/ T1 ) X 100%所需 量测值转换值的计算测试时间压力(kg/cm2G)温度(C)压力(kg/cm2A)温度(K)10分p1t1p1=p1+1.033T1=t1+27324时p2t2p2=p2+1.033T2=t2+273表三 : GN2保压测试标准 测试项目规定气体测试压力测试时间气密压力测试氮气12.4 kg/c
4、m2G8小时强度压力测试氮气14.26 kg/cm2G15分钟PN2保压测试标准 测试项目规定气体测试压力测试时间气密压力测试氮气12.4kg/cm2G8小时强度压力测试氮气14.26 kg/cm2G15分钟G02/PO2保压测试标准 测试项目规定气体测试压力测试时间气密压力测试氮气9.8 kg/cm2G8小时强度压力测试氮气11.27 kg/cm2G15分钟PH2保压测试标准 测试项目规定气体测试压力测试时间气密压力测试氮气9.8kg/cm2G8小时强度压力测试氮气11.27 kg/cm2G15分钟PAr保压测试标准 测试项目规定气体测试压力测试时间气密压力测试氮气9.8 kg/cm2G8小
5、时强度压力测试氮气11.27 kg/cm2G15分钟PHe保压测试标准 测试项目规定气体测试压力测试时间气密压力测试氮气12 kg/cm2G8小时强度压力测试氮气13.8 kg/cm2G15分钟 所有的测试均需以最有效率的方式进行;譬如以几个邻近的管线为一组搭 配一个压力记录仪进行测试工作。5. 记录保压测试的结果a) 在进行保压测试之前,先将测试点拍照并记录之。b) 在开始记录压力之前,将欲测管线的名称、起始的压力读值、开始测试的时间、日期,以及开始测试时的室温。在完成测试时,务必记录结束的时间、日期、结束时压力读值及当时的室温。c) 站在客户一方的我方监督人员务必作确认及同意的签署后始完成
6、此项测试。d) 所有的测试点的决定均需先经客户的认可始可进行有效测试,而数据必须依照测试点的次序排放搜集。当测试的结果由客户认可签署后,与其相关的配管工作即视为验收通过。e) 若每项测试均需经客户一方的签署及见证,则在进行各项测试之前,己方应准备测试的流程窗体经对方许可,始可进行。依据每一流程,见证者的测试工作可由现场工作的完成前后陆续进行阶段式的验收。f) 由于有非常多的项目需进行测试,为避免因客户方面之见证者勘验不便而造成此合约性工作的延迟进行,可用拍照方式将需确认的位置存证以代替当场之见证。6. 氦测漏（He leak test） 在大气中氦的分子体积小，仅次于氢气。为测得细微之泄漏，则
7、使用氦测漏仪作分析。 一般较严谨的作法是在各焊接点、VCR接点等处包覆油纸袋。将氦气灌入袋中，使袋中含氦气持续数分钟，若有微漏可从氦测漏仪中测得。然而，这种作法一般较花费时 间相对成本也较高。另一种作法则是在各焊接点、VCR接点等处以氦气喷枪直接注入氦气。 GasPressure Resist Test * 15 min (Barg)Pressure Holding Test * 8 hrs (Barg)He Leak Test (atm.cc/sec), InboardOxygen (ppb)Moisture (ppb)Particles (pcs/scf =0.1 m)GN2NAPN21*
8、10E-9GO2NAPO21*10E-9PHe1*10E-9PAr1*10E-9PH21*10E-97. 纯度提升之过程1) 方法： 在完成气密试验后,为了提升管线内部的纯净度，可以经由下列程序进行： 所有的次主管均以纯氩气或氮气反复喷洗,其使用气体的流速约为1520 m/sec (见附表 四) 。 表四 : 管线直径及纯度提升所需之气体流速 管线直径气体流速时 间1/4”12N1/min24 hr3/8”45N1/min24 hr1/2”70N1/min24 hr3/4”200N1/min24 hr1”280N1/min24 hr3/8B (10A)150N1/min24 hr1/2B (1
9、5A)240N1/min24 hr3/4B (20A)410N1/min24 hr1B (25A)670N1/min24 hr1 3/4B (32A)1.1N m3/min24 hr1 1/2B (40A)1.5N m3/min24 hr2B (50A)2.3N m3/min24 hr2 1/2B (65A)3.7N m3/min24 hr3B (80A)5.1N m3/min24 hr4B (100A)8.6N m3/min24 hr2) 纯度测试： a) 微粒子测试（Particle）： 为了计算气体中所含的微粒数目,可于测试点出口处连接一微粒子分析仪（Particle counter）。
10、此微粒子分析仪一次印出计算数值约等于1立方英呎的气体所含微粒数；为确保数值可信,此数据需连续印出3次且其粒子大小之设定在规定范围内，若此数据中每一测试点的数值均在检定合格的标准以下,表示此微尘测试通过。 b) 水份子测试（H2O）： 水份子分析仪接在测试点出口处。若其数据中每一测试点的水份子数值均在检定合格的标准以下，表示此水份子测试通过。 c) 残余氧气分析（O2）： 氧气分析仪接在测试点出口处。若其数据中每一测试点的氧气浓度均在检定合格的 标准以下,表示此残余氧气分析通过。GasPressure Resist Test * 15 min (Barg)Pressure Holding Test * 8 hrs (Barg)He Leak Test (atm.cc/sec), InboardOxygen (ppb)Moisture (ppb)Particles (pcs/scf =0.1 m)GN210010010PN210105GO2NANANAPO2NA105PHe10105PAr10105PH2551
